Regulator masenog protoka toplinskog plina (MFC)
Thermalgemdupefnizakmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressnaravno, ne trebathecompensationoftemperatureandpressure.
Model | SQC-100 |
Rasponi protoka (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Točnost | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Vrsta pogona ventila | Normalno zatvoreno |
Linearnost | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Ponovljivost | ±0,2% FS |
Vrijeme odziva | ≤1 s |
Ulazni/izlazni signal | 0~5V |
Električni spoj | DB15 igla (igla) |
Operacija Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Diferencijalni pre | 0,05~0,5 MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
Stopa curenja | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Pritisak | 3 MPa |
Srednji materijal | 316L SS i materijal za brtvljenje |
Materijal za brtvljenje | Viton, Silikonska guma, NBR, Teflon, Metalna brtva. |
Veličina zgloba | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Napajanje | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Rasponi protoka (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150,200SLM |
MFM: 0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
Točnost | ±2% FS |
Vrsta pogona ventila | Normalno zatvoreno |
Linearnost | ±2% FS |
Ponovljivost | ±0,2% FS |
Vrijeme odziva | ≤5 sekundi |
Ulazni/izlazni signal | 1~5V;4~20mA |
Električni spoj | DB15 igla (igla) |
Operacija Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Diferencijalni pre | 0,1~0,3MPa(MFC); 0,05~3,0MPa(MFM) |
Stopa curenja | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Pritisak | 3 MPa |
Srednji materijal | 316L SS i materijal za brtvljenje |
Materijal za brtvljenje | Viton, Silikonska guma, NBR, ERP, Teflon |
Veličina zgloba | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12 mm |
Napajanje | 24 V, 0,5 A |
Ovdje napišite svoju poruku i pošaljite nam je