Mass Flow Controllers (MFC) bay mezi egzak ak kontwòl sou koule mas gaz yo.
I. Ki diferans ki genyen ant yon MFC ak yon MFM?
Mass flow meter (MFM) se yon kalite enstriman ki byen mezire koule gaz, ak valè mezi li yo pa kòrèk akòz fluctuations nan tanperati oswa presyon, epi li pa mande pou tanperati ak konpansasyon presyon. gen fonksyon an nan yon mèt koule mas, men sa ki pi enpòtan, li ka otomatikman kontwole koule gaz la, se sa ki, itilizatè a ka mete koule a selon bezwen yo, ak MFC a otomatikman kenbe koule a konstan nan valè a mete, menm si presyon nan sistèm Fluctuations oswa chanjman nan tanperati anbyen pa pral lakòz li devye de valè a mete.Kontwolè koule mas la se yon aparèy koule fiks, ki se yon aparèy koule gaz fiks ki ka manyèlman mete oswa otomatikman kontwole pa koneksyon ak yon òdinatè.Mèt koule mas sèlman mezire men pa kontwole.Kontwolè koule mas la gen yon valv kontwòl, ki ka tou de mezire ak kontwole koule gaz la.
II.Ki sa ki estrikti a akprensip operasyon?
1 、 Estrikti
2 、 Prensip Operasyon
Lè koule a antre nan tiyo a konsomasyon, pi fò nan koule a pase nan kanal la diverter, yon ti pati nan ki antre nan tib la kapilè andedan Capteur a.Akòz estrikti espesyal la nan
chanèl la diverter, de pati yo nan koule gaz la ka dirèkteman pwopòsyonèl.Capteur a prechofe ak chofe, ak tanperati anndan an pi wo pase tanperati lè inlet la.Nan moman sa a, koule mas ti pati gaz la mezire pa prensip transfè chalè pa tib kapilè a ak prensip kalorimetri diferans tanperati a.Koule gaz ki mezire nan fason sa a ka inyore efè tanperati ak presyon.Siyal la mezire koule detekte pa Capteur a se opinyon nan tablo sikwi a ak anplifye ak pwodiksyon, epi fonksyon MFM la fini.Ajoute PID fèmen bouk fonksyon kontwòl otomatik nan tablo sikwi a, Konpare siyal la mezi koule mezire pa Capteur a ak siyal la mete bay pa itilizatè a.Ki baze sou sa a, se tiyo kontwòl la kontwole pou ke siyal la deteksyon koule egal a siyal la mete, kidonk reyalize fonksyon an nan MFC la.
III.Aplikasyon ak karakteristik.
MFC, ki lajman aplike nan domèn tankou: semi-conducteurs ak IC fabwikasyon, syans materyèl espesyal, endistri chimik, endistri petwòl, endistri pharmaceutique, pwoteksyon anviwònman ak rechèch sistèm vakyòm, elatriye. Aplikasyon tipik yo enkli: ekipman pwosesis mikwo-elektwonik tankou difizyon. , oksidasyon, epitaksi, CVD, plasma grave, sputtering, enplantasyon ion;ekipman depo vakyòm, fib optik k ap fonn, ekipman mikwo-reaksyon, melanje & matche sistèm gaz, sistèm kontwòl koule kapilè, gaz chromatograph ak lòt enstriman analyse.
MFC pote presizyon segondè, repetibilite ekselan, repons rapid, demaraj mou, pi bon fyab, gwo varyete presyon operasyon (bon operasyon nan presyon wo ak sitiyasyon vakyòm), operasyon senp, enstalasyon fleksib, posib konekte ak PC pote soti nan otomatik. kontwòl nan sistèm itilizatè yo.
IV.Ki jan yo detèmine ak fè fas ak failures?
Konpayi nou an gen pwofesyonèl apre-sale enjenyè, ka ede w rezoud pwoblèm nan enstalasyon ak itilizasyon.
Tan poste: 29-Jul-2022