Ponp yo souvan itilize nan sistèm vakyòm ultra-wo

I. Ponp mekanik
Fonksyon prensipal ponp mekanik la se bay vakyòm pre-etap ki nesesè pou kòmanse ponp turbomolekilè a.Souvan itilize ponp mekanik yo enkli sitou toubiyon sèk ponp, ponp dyafram ak lwil oliv sele ponp mekanik.
Ponp dyafram yo gen vitès ponpe ki ba epi yo jeneralman yo itilize pou ti seri ponp molekilè akòz ti gwosè a.
Ponp mekanik lwil oliv-sele se ponp mekanik ki pi itilize nan tan lontan an, karakterize pa gwo vitès ponpe ak bon vakyòm ultim, dezavantaj la se egzistans jeneral nan retounen lwil oliv, nan sistèm vakyòm ultra-segondè jeneralman bezwen ekipe ak valv solenoid. (pou anpeche echèk pouvwa aksidan ki te koze pa retounen lwil oliv) ak molekilè Van (efè adsorption).
Nan dènye ane yo, plis itilize se ponp sèk woulo liv la. Avantaj la se senp pou itilize epi li pa retounen nan lwil oliv, jis vitès ponpe ak vakyòm final la se yon ti kras pi mal pase sa yo ki nan ponp mekanik lwil oliv sele.
Ponp mekanik yo se yon sous prensipal bri ak Vibration nan laboratwa a epi li pi bon pou chwazi yon ponp bri ki ba epi mete l ant ekipman kote sa posib, men lèt la souvan pa fasil pou reyalize akòz restriksyon distans k ap travay.
II.Ponp turbomolekilè
Turbo molekilè ponp konte sou gwo vitès wotasyon vanes (anjeneral alantou 1000 revolisyon pou chak minit) pou reyalize yon koule nan direksyon gaz.Pwopòsyon presyon echapman ponp lan ak presyon inlet la rele rapò konpresyon.Rapò a konpresyon an gen rapò ak kantite etap nan ponp lan, vitès la ak kalite gaz la, pwa molekilè jeneral konpresyon gaz la relativman wo.Vakyòm ultim nan yon ponp turbomolekilè jeneralman konsidere kòm 10-9-10-10 mbar, ak nan dènye ane yo, ak pwogrè kontinyèl nan teknoloji ponp molekilè, vakyòm nan ultim te amelyore plis.
Kòm avantaj ki genyen nan yon ponp turbomolekilè yo reyalize sèlman nan yon eta koule molekilè (yon eta koule nan ki ranje gratis mwayèn nan molekil gaz yo pi gran pase gwosè maksimòm nan seksyon transvèsal kanal), yon ponp vakyòm pre-etap. ak yon presyon opere nan 1 a 10-2 Pa obligatwa.Akòz gwo vitès wotasyon van yo, ponp molekilè a ka domaje oswa detwi pa objè etranje, jitter, enpak, sonorite oswa chòk gaz.Pou débutan, kòz ki pi komen nan domaj se chòk gaz ki te koze pa erè opere.Domaj nan yon ponp molekilè ka koze tou pa sonorite deklanche pa yon ponp mekanik.Kondisyon sa a se relativman ra men li mande atansyon espesyal paske li pi trètr epi li pa fasil detekte.

III.Sputtering ion ponp
Prensip la k ap travay nan ponp lan iyon sputtering se sèvi ak iyon yo ki te pwodwi pa egzeyat la Penning bonbade plak la Titàn nan katod la yo fòme yon fim fre Titàn, konsa adsorbing gaz yo aktif epi ki gen yon efè antèman sèten sou gaz yo inaktif tou. .Avantaj ki genyen nan ponp ion sputtering yo se bon vakyòm ultim, pa gen okenn Vibration, pa gen okenn bri, pa gen okenn polisyon, yon pwosesis ki gen matirite ak ki estab, pa gen okenn antretyen ak nan menm vitès la ponpe (eksepte pou gaz inaktif), pri yo se pi ba anpil pase ponp molekilè, ki fè yo trè lajman itilize nan sistèm vakyòm ultra-wo.Anjeneral sik operasyon nòmal nan ponp ion sputtering se plis pase 10 ane.
Ponp iyon jeneralman bezwen pi wo pase 10-7 mbar pou yo travay byen (k ap travay nan pi mal vakyòm siyifikativman diminye lavi yo) ak Se poutèt sa mande pou yon seri ponp molekilè bay yon bon vakyòm pre-etap.Li se pratik komen yo sèvi ak yon ponp ion + TSP nan chanm prensipal la ak yon ti ponp molekilè mete nan chanm inlet la.Lè boulanjri, louvri tiyo insert konekte epi kite ti ponp molekilè a bay vakyòm devan an.
Li ta dwe remake ke ponp ion yo gen mwens kapab adsorption nan gaz inaktif ak vitès maksimòm ponpe yo diferan yon ti jan ak sa yo ki nan ponp molekilè, se konsa ke pou gwo komèsan degassaj oswa gwo kantite gaz inaktif, se yon seri ponp molekilè obligatwa.Anplis de sa, ponp iyon an jenere yon jaden elektwomayetik pandan operasyon, ki ka entèfere ak sistèm patikilyèman sansib.
IV.Titàn sublimasyon ponp
Ponp sublimasyon Titàn travay pa repoze sou evaporasyon metalik Titàn pou fòme yon fim Titàn sou mi chanm yo pou chemisorption.Avantaj ki genyen nan ponp sublimasyon Titàn yo se konstriksyon senp, pri ki ba, antretyen fasil, pa gen radyasyon ak pa gen okenn bri Vibration.
Ponp sublimasyon Titàn anjeneral konpoze de 3 filaman Titàn (pou anpeche boule) epi yo itilize nan konbinezon ak ponp molekilè oswa ion pou bay ekselan retire idwojèn.Yo se ponp vakyòm ki pi enpòtan nan seri 10-9-10-11 mbar epi yo ekipe nan pifò chanm vakyòm ultra-wo kote yo mande nivo vakyòm segondè.
Dezavantaj nan ponp sublimasyon Titàn se bezwen pou sputtering regilye nan Titàn, vakyòm nan deteryore pa apeprè 1-2 lòd nan grandè pandan sputtering (nan kèk minit), Se poutèt sa sèten chanm ak bezwen espesifik mande pou itilize NEG.tou, pou echantiyon/aparèy sansib Titàn, yo ta dwe pran swen pou evite kote ponp sublimasyon Titàn lan.
V. Ponp kriyojenik
Ponp kriyojenik sitou konte sou adsorption fizik tanperati ki ba pou jwenn vakyòm, ak avantaj ki genyen nan gwo vitès ponpe, pa gen okenn polisyon ak vakyòm final segondè.Faktè prensipal yo ki afekte vitès ponp kriyojenik yo se tanperati ak sifas ponp lan.Nan gwo sistèm epitaksi gwo molekilè, ponp kriyojenik yo lajman itilize akòz kondisyon yo vakyòm segondè.
Dezavantaj yo nan ponp kriyojenik yo se gwo konsomasyon nan nitwojèn likid ak gwo depans fonksyònman.Sistèm ki gen chillers recirculation ka sèvi san konsome bon jan kantite nitwojèn likid, men, sa pote ak pwoblèm korespondan konsomasyon enèji, Vibwasyon ak bri.Pou rezon sa a, ponp kriyojenik yo mwens souvan itilize nan ekipman laboratwa konvansyonèl yo.
VI.Ponp aspiratè (NEG)
Ajan pou aspirasyon ponp se youn nan ponp vakyòm ki pi itilize nan dènye ane yo, avantaj li yo se itilizasyon konplè adsorption chimik, pa gen okenn plak vapè ak polisyon elektwomayetik, souvan yo itilize ansanm ak ponp molekilè pou pran plas ponp sublimasyon Titàn ak ion sputtering. ponp, dezavantaj la se pri a wo ak kantite limite nan rejenerasyon, anjeneral yo itilize nan sistèm ki gen gwo kondisyon pou estabilite vakyòm oswa trè sansib a jaden elektwomayetik.
Anplis de sa, kòm ponp lan aspiratè mande pou pa gen okenn koneksyon ekipman pou pouvwa adisyonèl pi lwen pase aktivasyon inisyal la, li se tou souvan itilize nan sistèm gwo kòm yon ponp oksilyè ogmante vitès la ponpe ak amelyore nivo a vakyòm, ki ka efektivman senplifye sistèm nan.

Figi: Presyon travay pou diferan kalite ponp.Flèch mawon yo montre ranje presyon opere maksimòm akseptab ak pati vèt fonse yo montre ranje presyon k ap travay komen.