EV sorozatú összetett molekulaszivattyúk
EV-sorozat Műszaki adatok
Modell | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Bemeneti karima (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Kimeneti karima (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Szivattyúzási sebesség (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Tömörítési arány | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Végső vákuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Forgási sebesség (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Rezgés | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Felfutási idő (perc) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Hátsó szivattyú | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Hűtési módszer | Víz (levegő) hűtés | Víz (levegő) hűtés | Víz (levegő) hűtés | ||||
Hűtővíz hőmérséklet (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Környezeti hőmérséklet (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Hűtővíz Átfolyási mennyiség | 1-2 l/perc | 1-2 l/perc | 1-2 l/perc | ||||
Sütési hőmérséklet (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Fűtőteljesítmény (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Fűtés bemeneti feszültsége (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Beépítési | Függőleges ±5° | Függőleges ±5° | Függőleges ±5° | ||||
Súly (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
A vegyület légköri szivattyúzási görbéje
Molekuláris szivattyú
A nitrogén és a hidrogén összenyomódási arányának görbéje
összetett molekulaszivattyúval
EV sorozatú beépítési mérettáblázat az összetett molekuláris szivattyúhoz
Modell | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Bemeneti karima (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Szivattyú láb csavar furata | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Kimeneti karima (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV sorozatú léghűtő keverék molekuláris szivattyúk
Az EV sorozatú léghűtéses összetett molekuláris szivattyú turbomolekuláris szivattyúból és tárcsás vontatószivattyúból áll.Jellemzői a nagy szivattyúzási sebesség és a kompressziós arány a turbomolekuláris szivattyú molekuláris áramlásához, a nagy szivattyúzási sebesség és a kompressziós arány a vontatási szivattyú nagy nyomásához, és kiterjeszti a molekuláris szivattyú alkalmazási körét.
Az összetett molekuláris pumpának nincs szelektivitása és memória hatása a szivattyúzott gázra.A nagy molekulatömegű gázhoz viszonyított nagy kompressziós aránya miatt a szivattyú tiszta nagy és ultramagas vákuumot tud elérni hidegcsapda és olajterelő nélkül.Széles körben használják az elektronika, a kohászat, a vegyipar, a tudományos kutatás és a vákuumtechnológia különböző területein.
Modell | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Bemeneti karima (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Szivattyú láb csavar furata | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |