A Beijing Super Q Technology Co., Ltd. EV sorozatú olajkenésű 600 literes, 1200 literes, 1600 literes összetett molekuláris szivattyúkkal és 3600 literes turbinás típusú molekuláris szivattyúkkal rendelkezik;zsírkenésű 300L, 650L, 1300L, 2000L összetett molekulaszivattyúk.Ez a cikk az EV-Z sorozatú zsír-kenőanyag molekulaszivattyúk jellemzőinek, telepítésének, használatának és karbantartásának ismertetésére összpontosít.
Szerkezeti jellemzők
Az EV sorozatú zsírmolekuláris szivattyú importált precíziós kerámia csapágyakat alkalmaz, a szivattyú forgórésze a dinamikus egyensúly révén, stabil és megbízható működés, a motor mókusketreces háromfázisú motorja, csapágykenés zsírkenéssel, bármilyen irányban felszerelhető.
telepítése és használata
I. Az Ultimate Pressure-ról
A molekuláris szivattyú „végső nyomása” a „Test method for performance of turbomolecular pumps” ISO nemzetközi szabványon alapul. a tesztfedél meghatározott helyzetét.nyomásérték.A tényleges használat során a 'határnyomás' értéke a konfigurált ellenszivattyú üzemi nyomásához és effektív szivattyúzási sebességéhez kapcsolódik.A nagyobb teljesítményű szivattyú kiválasztása nagyon előnyös a nagyobb vákuum elérése és a kipufogógáz idő csökkentése érdekében.
Ezenkívül a molekulaszivattyú kipufogógáz-elvének sajátosságai miatt a szivattyú levegőbemenetének a lehető legszélesebbnek kell lennie, és a vákuumkamrából a molekulaszivattyú nyílásáig vezető gázútnak el kell kerülnie a lehető legnagyobb mértékben az elfordulást. lehetséges, hogy a molekulaszivattyú legjobb hatásfokát, és garantáltan magasabb végső vákuumot érje el.
II.Telepítés
2.1 Nyissa meg a csomagot
Beszerelés előtt ellenőrizze, hogy a molekulaszivattyú nem sérült-e meg szállítás közben.
A módszer a következő: olvassa el a molekulaszivattyú tápellátási útmutatóját, csatlakoztassa megfelelően a molekulaszivattyúhoz, ne kelljen vizet vagy vákuumot engedni, indítsa el a molekulaszivattyút, és ellenőrizze, hogy működik-e és van-e abnormális hang.Ha bármilyen rendellenességet észlel, nyomja meg időben a leállító kapcsolót a szivattyú leállításához.Megjegyzés: A teljesítményfrekvencia próbaüzem közben nem lehet nagyobb 25 Hz-nél
2.2 A nagyvákuumú karima csatlakoztatása
A molekulaszivattyú csatlakozása a nagyvákuumú karimával felemelhető vagy az alapra rögzíthető.A molekulaszivattyút akkor kell rögzíteni, ha a molekulaszivattyú nagyvákuumú karimája fémharangon keresztül csatlakozik a rendszerhez.
(A karima tömítőfelületén nincsenek karcolások, és semmi sem lehet a tömítőgyűrűn)
2.3 Foreline vákuum csatlakozás
Az elülső szivattyú és a molekuláris szivattyú közé leválasztó- és légtelenítő szelepet kell felszerelni, hogy megakadályozza, hogy a mechanikus szivattyú leállítás után visszajuttassa az olajat.
2.4 A gáztöltő készülék csatlakoztatása
A tiszta vákuumkörnyezet érdekében a molekulaszivattyú leállítása után a vákuumrendszer feltölthető nitrogénnel vagy száraz levegővel.Általában egy légtelenítő szelep csatlakoztatható az elülső szakasz csővezetékéhez, vagy egy nagy vákuum szelep használható a gáz légtelenítésére a nagy vákuum végén.
III．A hűtés csatlakoztatása
A csapágy nagy fordulatszámú forgó súrlódása, a szivattyútest felmelegedése és a motor hőmérséklet-emelkedése miatt a csapágyat és a motort le kell hűteni, amikor a molekulaszivattyú működik.Általában léghűtést, vízhűtést pedig akkor alkalmaznak, ha a környezeti hőmérséklet 38°C-nál magasabb.A 10 mm-es külső átmérőjű lágyvízcső közvetlenül csatlakoztatható a molekulaszivattyú vízbemenetéhez és kimenetéhez.Tiszta vízzel keringtetett vízrendszert használnak, és alacsony csapadéktartalmú csapvíz is használható (a víz hőmérséklete ≤28°C legyen).
Véletlen vízleállás vagy magas vízhőmérséklet hatására a molekuláris szivattyútest hőmérséklet-érzékelője működésbe lép, és a tápegység azonnal riaszt és leállítja a kimenetet.
A váratlan vízleállás vagy túl magas vízhőmérséklet után körülbelül 15 perc telik el (a specifikus idő a hőmérséklet-emelkedés mértékétől függ), amíg a molekulaszivattyú túlmelegedés miatt riaszt.
IV．Sütés
A végső nyomás a szivattyú belsejének tisztaságától és a vákuumúttól, beleértve a vákuumkamrát is, függ.Annak érdekében, hogy a legrövidebb idő alatt elérjük a végső nyomást, a vákuumrendszert és a molekulaszivattyút át kell sütni.A sütést úgy kell végezni, hogy a molekulaszivattyú normálisan működik.
A molekuláris szivattyú sütési hőmérsékletének 80 °C-nál alacsonyabbnak kell lennie, a szivattyúnyíláshoz csatlakoztatott nagyvákuumú karima nem lehet magasabb, mint 120 °C, és a vákuumrendszer sütési hőmérséklete általában 300 °C-nál alacsonyabb.a károsodástól.
A sütési idő a rendszer és a molekulaszivattyú szennyezettségi fokától és a várható határértéktől függ, de a minimális idő nem lehet kevesebb 4 óránál.
10-4Pa vákuum eléréséhez elvileg nincs szükség sütésre;10-5Pa vákuum eléréséhez csak magának a vákuumrendszernek a sütése elegendő;ultra-nagy vákuum eléréséhez a vákuumrendszert és a molekulaszivattyút általában egyszerre kell sütni.A mérőrendszert teljesen át kell sütni, különben kigázosodása miatt befolyásolja a mérési adatok pontosságát.
V．Művelet
Győződjön meg arról, hogy az elővákuum jobb, mint 15 Pa, nyomja meg a RON gombot a molekulaszivattyú elindításához, és nyomja meg a STOP gombot a használat utáni leállításhoz.Figyelem!A lágyindító gombot kell használni az első használathoz, vagy a hosszan tartó üresjárati használat utáni ismételt használathoz.A lágyindító művelet a következő: az aktuális fokozat vákuumja jobb, mint 15 Pa, és a lágyindító gomb meg van nyomva.110 perc elteltével a molekulaszivattyú eléri az 550 Hz-es működési frekvenciát (550 Hz az EV300Z molekulaszivattyúnak, 400 Hz az EV650Z, 1300Z, 2000 molekulaszivattyúnak felel meg), majd nyomja meg a lágyindító gombot (a gomb felfelé áll) a lágy indítás leállításához. Rajt.
(A molekulaszivattyú normál működése során tilos szállítani, mozgatni vagy levegővel feltölteni.)
VI．Karbantartás és javitás
6.1 A szivattyú tisztítása
Ha a vákuumrendszer légszivárgása és deszorpciós sebessége nem változik, és a vákuumteljesítmény hosszú sütés után sem állítható vissza, vagy ha a visszacsapó szivattyú komolyan visszavezeti az olajat, a szivattyút meg kell tisztítani.
(Ha a szivattyú javításra és tisztításra szorul, szakképzett szakembereknek kell szétszerelnie.Ha képzés nélkül szerelik szét, a következmények az Ön felelősségére válnak.)
6.2 Csapágyak cseréje
Mivel a szivattyút ki kell egyensúlyozni, a csapágyat a felhasználó nem cserélheti ki.
6.3 Ütésvédelem
A molekuláris szivattyú egy nagy sebességű forgó gép.A mozgó lemez és a statikus lemez közötti rés nagyon kicsi, és nem bírja a túlzott ütéseket.A vele érintkező mozgó hordozó sebességét és gyorsulását korlátozni kell.Ezenkívül a légköri térfogat hirtelen becsapódása és a külső kemény tárgyak leesése a molekulaszivattyú normál működése során szintén súlyos károsodást okoz a molekulaszivattyúban.
6.4 Rezgésszigetelés
Általában a molekuláris szivattyút szigorúan tesztelték, és a vibráció nagyon kicsi, és közvetlenül csatlakoztatható a szivattyúzott rendszerhez.Nagy pontosságú műszeralkalmazásokhoz (például elektronmikroszkópokhoz stb.) ajánlott rezgésszigetelőket használni, hogy minimalizáljuk a rezgés hatását a műszerre.
6.5 Erős mágneses mező árnyékolás
A forgó rotor örvényáramot hoz létre a mágneses térben, ami a forgórész felmelegedését okozza.Mivel a hő gyengíti az alumínium szilárdságát, a molekulaszivattyú alkalmazása a mágneses térben bizonyos mértékig korlátozott.
6.6 elektromágneses interferencia
Bizonyos nagyfrekvenciás műszerek, például molekulaszivattyúk és frekvenciaváltók elektromágneses interferenciát okozhatnak a környező környezetben.De a nemzetközi szabványok teljesítése esetén a molekuláris pumpák alkalmazása nem lesz korlátozva.Ha a követelmények teljesülnek, a megfelelő tanúsítványokat egyidejűleg ki kell adni.
6.7 Erős radioaktivitás-korlátozás
A legtöbb anyag megváltoztatja tulajdonságait erős radioaktív környezetben, különösen a szerves anyagok (például molekuláris szivattyúolaj, tömítőgyűrűk) és a félvezető alkatrészek.A molekuláris pumpa 105rad sugárzási intenzitást képes ellenállni.Az antiradioaktív anyagok kiválasztásával és a motoros tápegység használatával a sugárzás elleni szilárdság javítható.A trícium szivattyúzásakor, hogy a trícium radioaktív elem ne kerüljön ki a légkörbe, a molekulaszivattyúban lévő összes tömítőgyűrűt fémből kell készíteni.
6.8 Foreline pumpa
A molekuláris szivattyú teljesítménygörbéjének nagynyomású végén a bemeneti nyomás körülbelül 200 Pa és 10-1 Pa között mozog, három nagyságrendet felölelve.A gázmolekulák átlagos szabad útja kisebb lesz, és a pumpáló hatás romlani kezd.Ezért az átmeneti zónában minél nagyobb a háttérszivattyú használata, annál nagyobb a molekulaszivattyú szivattyúzási sebessége.Az elülső szivattyúnak legalább 3 l/s-nak kell lennie.
Gyakori hibák és hibaelhárítás
Az EV-Z sorozat zsírkenésű összetett molekuláris szivattyúja egy mechanikus vákuumszivattyú, amely többfokozatú dinamikus és statikus turbinalapátok viszonylag nagy sebességű forgatásával valósítja meg a levegő elszívását.A turbomolekuláris szivattyú jellemzője a nagy szivattyúzási sebesség és a nagy kompressziós arány a molekuláris áramlási tartományban, és energiatakarékosabb, mint a diffúziós szivattyú, és nincs olaj- és gőzszennyezés.Az EV sorozatú zsírkenésű összetett molekuláris szivattyú a legnagyobb, 100 kaliberű szivattyúzási sebességgel rendelkező molekulaszivattyú Kínában.
Ennek a molekuláris szivattyúnak nincs szelektivitása és nincs memóriahatása a szivattyúzandó gázra.A nagy molekulatömegű gáz nagy kompressziós aránya miatt a szivattyú tiszta nagyvákuumot és ultramagas vákuumot tud elérni hidegcsapdák és olajterelők nélkül..Széles körben használják az elektronika, a kohászat, a vegyipar, a tudományos kutatás és a vákuumtechnológia különböző területein.
Feladás időpontja: 2022-01-01