Pengontrol Aliran Massa Pengukur Aliran Massa CS200
Fitur
1. Akurasi Tinggi dan Respon Cepat
Akurasi MFC CS200 telah ditingkatkan hingga ±1,0% SP, dan model paling canggih memiliki waktu respons yang berkurang kurang dari 0,8 detik.
2. Koefisien Penyimpangan Nol dan Suhu Rendah
Penemuan teknologi sensor baru memungkinkan CS200 MFC menjaga stabilitas dan menahan fluktuasi suhu.Tanpa penguat nol otomatis, penyimpangan nol yang diharapkan kurang dari 0,6%FS/tahun, dan koefisien suhu kurang dari 0,02%FS/℃(nol),0,05%FS/ ℃ (rentang).
3. Model Tersegel Logam dan Fitur Kemurnian Tinggi
Jalur aliran basah MFC CS200 lini dibuat dari baja tahan karat yang dipasivasi permukaan.Semua MFC CS200 dirakit di ruang bersih kelas 100 ultrabersih Sevenstar sesuai dengan standar SEMI dan ISO 9001.
4. Antarmuka yang Kompatibel
CS200 MFC kompatibel dengan antarmuka berikut, yang dapat dipilih oleh pelanggan: catu daya ujung ganda ±8V-±16V dan catu daya ujung tunggal +14V-+28V;masukan dan keluaran sinyal digital atau analog;Dimensi mekanis standar SEMI;dan modul komunikasi RS-485 atau DeviceNet.
5. Fungsi Lain-Lain
Perangkat lunak pelanggan yang kuat hadir sebagai standar pada setiap model, sementara fungsi tambahan seperti multi-gas, multi-range, auto-zero, alarm, soft start, dan penundaan tersedia sebagai pilihan pelanggan.
Spesifikasi
| CS200 | |||||||
| Jenis | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Rentang skala penuh (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Ketepatan | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearitas | ±0,5% FS | ||||||
| Pengulangan | ±0,2% FS | ||||||
| Waktu merespon | ≤1 detik | ≤0,8 detik (SEMI E17-0600) | |||||
| Posisi Istirahat Katup | Biasanya Tertutup atau | Tanpa Katup | Biasanya Tertutup atau | Tanpa Katup | Biasanya Tertutup atau | Tanpa Katup | |
| Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | Biasanya Terbuka（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Tekanan Diferensial | 0,05～0,35MPa （Aliran≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Aliran≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Aliran＞30slm） | |||||||
| Tekanan Operasi Maksimum | 0,45MPa | |||||
| Suhu | Nol:≤±0,05% FS/℃; | Nol:≤±0,02% FS/℃;Rentang:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koefisien | Rentang: ≤±0,1% FS/℃（Aliran≤30slm） | |||||
| Rentang: ≤±0,2% FS/℃（Aliran>30slm） | ||||||
| Tekanan Bukti | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Nol Melayang | ＜0,6%FS per tahun tanpa autozero | |||||
| Integritas kebocoran | 1×10-9 atm·cc / detik Dia | 1×10-10atm·cc / detik Dia | ||||
| Bahan yang Dibasahi | Viton; | Logam?(Baja Tahan Karat V/V, 5Ra) | Logam | |||
| Kimia Permukaan | —— | Rasio Cr/Fe ＞2,0;Ketebalan CrO ＞20 Angstrom | ||||
| Permukaan Selesai | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Suhu Operasi | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Sinyal Masukan | Digital: RS485 atau ProfiBus | T/A | Digital: RS485 atau ProfiBus atau DeviceNetTM | T/A | Digital:RS485 atau ProfiBus atau DeviceNetTM | T/A |
| atau DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA?atau (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau(0～20)mA | |||||||
| Sinyal Keluaran | Digital: RS485 atau DeviceNetTM atau ProfiBus Analog:(0～5)VDC atau (4～20)mA atau (0～20)mA | ||||||
| Sumber Daya listrik | ±8 ~ ±16 VDC atau +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Konektor Elektronik | 9 pin sub-D jantan, 15 pin sub-D jantan, DeviceNetTM,ProfiBus ,Analog | ||||||
| Perlengkapan | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Pemasangan KompresiΦ10; Pemasangan KompresiΦ6； | Pemasangan KompresiΦ6, | ||||||
| Pemasangan Kompresi 3/8”;Pemasangan Kompresi1/4”； | Pemasangan KompresiΦ3, | ||||||
| Pemasangan Kompresi1/8”;Pemasangan KompresiΦ3； | Pemasangan Kompresi1/4”, | ||||||
| Ф6(dalam)×1selang;ф5(dalam)×1,5selang;ф4(dalam)×1selang; | Segel W, | ||||||
| A-sael ; | C-segel | ||||||
| Berat | 1kg | 0,8kg | 1,2kg | 1kg | 1,2kg | 1kg | |
