Pengontrol Aliran Massa（MFC) memberikan pengukuran dan kontrol aliran massa gas yang tepat.
I. Apa perbedaan antara MFC dan MFM?
Pengukur aliran massa (MFM) adalah sejenis instrumen yang mengukur aliran gas secara akurat, dan nilai pengukurannya tidak akurat karena fluktuasi suhu atau tekanan, dan tidak memerlukan kompensasi suhu dan tekanan. Pengontrol aliran massa (MFC) tidak hanya memiliki fungsi sebagai pengukur aliran massa, namun yang lebih penting, dapat mengontrol aliran gas secara otomatis, yaitu pengguna dapat mengatur aliran sesuai kebutuhannya, dan MFC secara otomatis menjaga aliran tetap konstan pada nilai yang ditetapkan, meskipun tekanan sistem Fluktuasi atau perubahan suhu lingkungan tidak akan menyebabkannya menyimpang dari nilai yang ditetapkan.Pengontrol aliran massa adalah perangkat aliran tunak, yaitu perangkat aliran tunak gas yang dapat diatur secara manual atau dikontrol secara otomatis melalui koneksi dengan komputer.Pengukur aliran massa hanya mengukur tetapi tidak mengontrol.Pengontrol aliran massa memiliki katup kontrol, yang dapat mengukur dan mengontrol aliran gas.
II.Bagaimana struktur danprinsip operasi?
1[UNK] Struktur
2, Prinsip Operasi
Ketika aliran masuk ke pipa intake, sebagian besar aliran melewati saluran pengalih, sebagian kecil masuk ke tabung kapiler di dalam sensor.Karena struktur khusus
saluran pengalih, kedua bagian aliran gas dapat berbanding lurus.Sensor dipanaskan dan dipanaskan terlebih dahulu, dan suhu di dalam lebih tinggi dari suhu udara masuk.Pada saat ini, aliran massa sebagian kecil gas diukur dengan prinsip perpindahan panas melalui tabung kapiler dan prinsip kalorimetri perbedaan suhu.Aliran gas yang diukur dengan cara ini dapat mengabaikan pengaruh suhu dan tekanan.Sinyal pengukur aliran yang terdeteksi oleh sensor dimasukkan ke papan sirkuit dan diperkuat serta dikeluarkan, dan fungsi MFM selesai.Menambahkan fungsi kontrol otomatis loop tertutup PID ke papan sirkuit, Bandingkan sinyal pengukuran aliran yang diukur oleh sensor dengan sinyal yang ditetapkan yang diberikan oleh pengguna.Berdasarkan hal tersebut, katup kontrol dikontrol sehingga sinyal deteksi aliran sama dengan sinyal yang disetel, sehingga mewujudkan fungsi MFC.
AKU AKU AKU.Aplikasi dan fitur.
MFC, yang diterapkan secara luas di bidang-bidang seperti: fabrikasi semikonduktor dan IC, ilmu material khusus, industri kimia, industri petrolik, industri farmasi, perlindungan lingkungan dan penelitian sistem vakum, dll. Aplikasi yang umum meliputi: peralatan proses mikroelektronik seperti difusi , oksidasi, epitaksi, CVD, etsa plasma, sputtering, implantasi ion;peralatan pengendapan vakum, peleburan serat optik, peralatan reaksi mikro, sistem pencampuran & pencocokan gas, sistem kontrol aliran kapiler, kromatografi gas dan instrumen analitik lainnya.
MFC menghadirkan akurasi tinggi, kemampuan pengulangan yang luar biasa, respons cepat, soft-start, keandalan yang lebih baik, beragam rentang tekanan operasi (pengoperasian yang baik dalam situasi tekanan tinggi dan vakum), pengoperasian yang mudah dan mudah, pemasangan yang fleksibel, kemungkinan koneksi dengan PC untuk melakukan operasi otomatis kontrol ke sistem pengguna.
IV.Cara menentukan dan menangani fpenyakit?
Perusahaan kami memiliki insinyur purna jual profesional, dapat membantu Anda memecahkan masalah dalam pemasangan dan penggunaan.
Waktu posting: 29 Juli-2022