Pengetahuan – Katup Vakum

I. Pengenalan katup
Vacuum valve merupakan komponen sistem vakum yang digunakan untuk mengubah arah aliran udara, mengatur besar kecilnya aliran gas, memutus atau menyambung pipa pada sistem vakum.Bagian penutup katup vakum disegel dengan segel karet atau segel logam.

II.Aplikasi katup vakum umum.
Katup vakum
Digunakan pada peralatan sistem vakum tinggi atau ultra-tinggi ketika vakum harus dipertahankan dalam sistem penanganan vakum tertutup.Katup vakum digunakan untuk mengontrol aliran udara ke dalam ruang vakum, mengisolasi, melampiaskan, memberikan pengurangan tekanan atau mengontrol konduksi.Katup gerbang, katup inline, dan katup sudut adalah jenis katup vakum yang paling umum digunakan untuk aplikasi vakum tinggi atau ultra-tinggi.Jenis katup tambahan termasuk katup kupu-kupu, katup transfer, katup bola, katup pendulum, katup semua logam, katup vakum, katup sudut aluminium, katup vakum berlapis Teflon, dan katup lurus.

Katup kupu-kupu
adalah katup bukaan cepat yang terdiri dari cakram atau baling-baling logam yang berputar tegak lurus terhadap arah aliran dalam pipa dan bila diputar pada porosnya, katup akan menutup dudukan pada badan katup.

Katup transfer (katup gerbang persegi panjang)
Katup pemisah cocok untuk digunakan antara ruang vakum yang dikunci dengan beban dan ruang transfer, dan antara ruang transfer dan ruang pemrosesan pada peralatan manufaktur semikonduktor.

Katup Bola Vakum
adalah katup aliran lurus seperempat putaran dengan rakitan penutup melingkar dengan dudukan melingkar yang serasi untuk tekanan penyegelan yang seragam.

Katup pendulum
adalah katup throttle besar yang dipasang di antara ruang vakum proses dan saluran masuk pompa turbomolekuler.Katup pendulum vakum ini biasanya dirancang sebagai katup gerbang atau pendulum untuk aplikasi termasuk sistem manufaktur industri OLED, FPD, dan PV.

Katup seluruhnya terbuat dari logam
Dirancang untuk digunakan di lingkungan vakum ultra-tinggi di mana suhu tinggi tidak memungkinkan penggunaan elastomer dan logam paking kriogenik.Katup berbahan logam yang dapat dipanggang memberikan penyegelan suhu tinggi yang andal mulai dari tekanan atmosfer hingga di bawah 10-11 mbar.

Katup vakum
Beroperasi dengan andal dalam sistem produksi semikonduktor dan dalam aplikasi dengan kontaminasi bahan kimia dan partikulat.Mereka dapat digunakan di lingkungan vakum kasar, vakum tinggi, atau vakum sangat tinggi.

Katup sudut aluminium
Saluran masuk dan keluar katup ini tegak lurus satu sama lain.Katup sudut ini terbuat dari aluminium A6061-T6 dan digunakan dalam manufaktur semikonduktor dan instrumentasi, R&D, dan sistem vakum industri untuk aplikasi vakum kasar hingga tinggi.

Katup vakum berlapis Teflon adalah perangkat komponen vakum baja tahan karat yang dirancang sepenuhnya dengan lapisan tahan lama dan sangat tahan bahan kimia.

AKU AKU AKU.Karakteristik katup vakum.
Tekanan berada di bawah tekanan atmosfer dan penurunan tekanan pada tutup katup tidak boleh melebihi 1 kg gaya/cm.Temperatur kerja medium tergantung pada proses alat yang digunakan.Suhu umumnya tidak melebihi kisaran -70 ~ 150°C.Persyaratan paling mendasar untuk katup tersebut adalah untuk memastikan tingkat kekencangan sambungan yang tinggi dan kepadatan struktur serta bahan paking.

Menurut katup vakum bertekanan sedang dapat dibagi menjadi empat kelompok.
1) Katup vakum rendah: tekanan sedang p=760~1 mmHg.
2）Katup vakum sedang: p=1×10-3 mmHg.
3）Katup vakum tinggi: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Katup vakum ultra-tinggi: p≤1×10-8 mmHg.

Sebagai katup sirkuit tertutup dengan diameter saluran kurang dari 250 mm, batang yang banyak digunakan adalah katup penutup bellow vakum dengan gerakan linier.Namun, katup gerbang lebih dibatasi, tetapi ini terutama untuk diameter besar.Juga tersedia katup sumbat bulat (katup bola), katup pendorong, dan katup kupu-kupu.Katup sumbat untuk katup vakum belum dipromosikan karena memerlukan pelumasan oli, sehingga memungkinkan uap oli masuk ke sistem vakum, padahal hal ini tidak diperbolehkan.Katup vakum dapat dikontrol secara manual dan jarak jauh di lapangan, serta secara elektrik, elektromagnetik (katup solenoid), secara pneumatik dan hidrolik.