Pengontrol Aliran Massa gas termal (MFC)
Iturmganggangmpantatfrendahmeter(MFM)adalahkindofaktatemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfkeberuntungantuatiotidakitemtapitureorpressya, tidak perluthehompensationoftemperatkamuadanpressure.
Model | SQC-100 |
Rentang Aliran (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Ketepatan | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Tipe Penggerak Katup | Biasa Tertutup |
Linearitas | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Pengulangan | ±0,2%FS |
Waktu merespon | ≤1 detik |
Sinyal masukan/keluaran | 0~5V |
Sambungan Listrik | Pin DB15 (jarum) |
Operasi Temp. | 5~45℃ |
Diferensial Pra. | 0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
Tingkat Kebocoran | 1×10-8SCCS (Dia) |
Maks.Tekanan | 3MPa |
Bahan Sedang | 316L SS dan bahan penyegel |
Bahan Penyegel | Viton, Karet silikon, NBR, Teflon, Segel logam. |
Ukuran Sambungan | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Sumber Daya listrik | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Rentang Aliran (N2) | MFC:0~20,30 ,50 ,100 ,150, 200SLM |
MFM:0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
Ketepatan | ±2%FS |
Tipe Penggerak Katup | Biasa Tertutup |
Linearitas | ±2%FS |
Pengulangan | ±0,2%FS |
Waktu merespon | ≤5 detik |
Sinyal masukan/keluaran | 1~5V;4~20mA |
Sambungan Listrik | Pin DB15 (jarum) |
Operasi Temp. | 5~45℃ |
Diferensial Pra. | 0,1~0,3MPa(MFC); 0,05~3,0MPa (MFM) |
Tingkat Kebocoran | 1×10-8SCCS (Dia) |
Maks.Tekanan | 3MPa |
Bahan Sedang | 316L SS dan bahan penyegel |
Bahan Penyegel | Viton, Karet silikon, NBR, ERP, Teflon |
Ukuran Sambungan | Swagelok 3/8” 、 1/2”; φ8、φ10、φ12mm |
Sumber Daya listrik | 24V,0,5A |
Tulis pesan Anda di sini dan kirimkan kepada kami