Massaflæðisstýring Massflæðismælir CS200
Eiginleikar
1. Mikil nákvæmni og hröð svörun
Nákvæmni CS200 MFC hefur verið bætt í ±1,0% af SP og fullkomnustu gerðirnar hafa styttri viðbragðstíma sem er innan við 0,8 sekúndur.
2. Low Zero Drift og Hitastuðull
Uppfinning nýrrar skynjaratækni gerir CS200 MFC kleift að viðhalda stöðugleika og standast hitasveiflur.Án sjálfvirkan núllmagnara er væntanlegt núllrek minna en 0,6%FS/ár og hitastuðullinn er minni en 0,02%FS/℃(núll)，0,05%FS/℃ (span).
3. Metal-Sealed Models og High Purity Feature
Bleikt flæðisleið CS200 MFC-línunnar er smíðaður úr yfirborðsvirku ryðfríu stáli.Allar CS200 MFC-vélar eru settar saman í ofurhreinum Class 100-flokks hreinherbergjum Sevenstar í samræmi við bæði SEMI og ISO 9001 staðla.
4. Samhæft tengi
CS200 MFC er samhæft við eftirfarandi tengi, sem viðskiptavinurinn getur valið: ±8V-±16V tvíhliða aflgjafi og +14V-+28V einhliða aflgjafi;stafrænt eða hliðrænt merki inntak og úttak;SEMI staðlaðar vélrænar stærðir;og RS-485 eða DeviceNet fjarskiptaeiningu.
5. Ýmsar aðgerðir
Öflugur viðskiptahugbúnaður er staðalbúnaður með hverri gerð, en viðbótaraðgerðir eins og multi-gas, multi-range, sjálfvirkt núll, viðvörun, mjúk byrjun og seinkun eru fáanlegar sem val viðskiptavina.
Forskrift
| CS200 | |||||||
| Gerð | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Heildarskalasvið (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Nákvæmni | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Línulegleiki | ±0,5% FS | ||||||
| Endurtekningarhæfni | ±0,2% FS | ||||||
| Viðbragðstími | ≤1 sek | ≤0,8 sekúndur (SEMI E17-0600) | |||||
| Hvíldarstaða ventils | Venjulega lokað eða | Enginn ventill | Venjulega lokað eða | Enginn ventill | Venjulega lokað eða | Enginn ventill | |
| Venjulega opið（100 sccm≤FS≤5 slm） | Venjulega opið（100 sccm≤FS≤5 slm） | Venjulega opið（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Mismunaþrýstingur | 0,05 ~ 0,35 MPa （Flæði≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1~0,35MPa（10slm＜Flæði≤30slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2~0.45MPa (flæði＞30slm) | |||||||
| Hámarksrekstrarþrýstingur | 0,45MPa | |||||
| Hitastig | Núll: ≤±0,05% FS/℃; | Núll: ≤±0,02% FS/℃;Spönn: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Stuðull | Spönn: ≤±0,1% FS/℃（Flæði≤30slm） | |||||
| Spönn: ≤±0,2% FS/℃（Flæði>30slm） | ||||||
| Sönnunarþrýstingur | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6%FS á ári án sjálfvirkrar núllstillingar | |||||
| Leka heilindi | 1×10-9 atm·cc/sek He | 1×10-10atm·cc / sek Hann | ||||
| Vætt efni | Viton; | Málmur? (Ryðfrítt stál V/V, 5Ra) | Málmur | |||
| Yfirborðsefnafræði | —— | Cr/Fe hlutfall ＞2,0;CrO þykkt ＞20 Angström | ||||
| Yfirborðsfrágangur | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Rekstrarhitastig | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Inntaksmerki | Stafrænt: RS485 eða ProfiBus | N/A | Stafrænt: RS485 eða ProfiBus eða DeviceNetTM | N/A | Stafrænt:RS485 eða ProfiBus eða DeviceNetTM | N/A |
| eða DeviceNetTM | Analog: (0~5)VDC eða (4~20)mA eða (0~20)mA | Analog: (0~5)VDC eða (4~20)mA?eða (0~20)mA | |||||
| Analog: (0~5)VDC eða (4~20)mA eða (0~20)mA | |||||||
| Úttaksmerki | Stafrænt: RS485 eða DeviceNetTM eða ProfiBus Analog:(0～5)VDC eða (4～20)mA eða (0～20)mA | ||||||
| Aflgjafi | ±8 ~ ±16 VDC eða +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Rafræn tengi | 9 pinna karlkyns undir-D ，15 pinna karlkyns undir-D ，DeviceNetTM，ProfiBus ， Analog | ||||||
| Innréttingar | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| ÞjöppunarbúnaðurΦ10; ÞjöppunarbúnaðurΦ6； | ÞjöppunarbúnaðurΦ6, | ||||||
| Þjöppunarbúnaður 3/8”;Þjöppunarfesting 1/4”； | ÞjöppunarbúnaðurΦ3, | ||||||
| Þjöppunarbúnaður 1/8”;ÞjöppunarbúnaðurΦ3； | Þjöppunarfesting 1/4”， | ||||||
| Ф6(innri)×1slönga;ф5(innri)×1,5slönga;ф4(innri)×1slönga; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | C-innsigli | ||||||
| Þyngd | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
