I. Kynning á ventil
Tómarúmsloki er tómarúmskerfishluti sem notaður er til að breyta stefnu loftflæðis, stilla stærð gasflæðis, skera af eða tengja leiðsluna í lofttæmiskerfinu.Lokunarhlutar tómarúmslokans eru innsiglaðir með gúmmíþéttingu eða málmþéttingu.
II.Algengar tómarúm lokar forrit.
Tómarúm lokar
Notað í há- eða ofurháu lofttæmikerfisbúnaði þegar lofttæmi verður að vera í lokuðu lofttæmi meðhöndlunarkerfi.Tómarúmslokar eru notaðir til að stjórna loftstreymi inn í lofttæmishólfið, einangra, loftræsta, veita þrýstingslækkun eða stjórna leiðni.Hliðarlokar, Inline lokar og hornlokar eru algengustu gerðir tómarúmsloka sem notaðar eru fyrir háa eða ofurháa lofttæmisnotkun.Fleiri gerðir ventla eru fiðrildalokar, flutningslokar, kúluventlar, pendúlventlar, alhliða lokar úr málmi, lofttæmisventlar, álhornlokar, teflonhúðaðar lofttæmisventlar og beintengdar lokar.
Fiðrildalokar
eru hraðopnanlegir lokar sem samanstanda af málmskífum eða blöðrum sem snúast hornrétt á stefnu flæðis í leiðslunni og þegar þeim er snúið um ás þeirra, þéttir ventilinn sætið í ventilhúsinu.
Flutningslokar (rétthyrndir hliðarlokar)
Aðskilnaðarlokar sem henta til notkunar á milli álagslæstra lofttæmishólfa og flutningshólfa og á milli flutningshólfa og vinnsluhólfa í hálfleiðaraframleiðslubúnaði.
Tómarúm kúluventlar
eru kvartsnúninga beinir flæðislokar með hringlaga lokunarsamsetningu með samsvarandi hringlaga sætum fyrir samræmda þéttingarálag.
Pendul lokar
er stór inngjöfarventill sem er komið fyrir á milli vinnslutæmishólfsins og inntaks túrbósameindadælunnar.Þessir lofttæmisventillokar eru venjulega hannaðir sem hliðar- eða pendúllokar fyrir forrit þar á meðal OLED, FPD og PV iðnaðarframleiðslukerfi.
Lokar úr málmi
Hannað til notkunar í umhverfi með ofurháu lofttæmi þar sem hátt hitastig leyfir ekki notkun teygjanlegra þéttingarmálma og þéttingarmálma.Bakanlegir málmlokar veita áreiðanlega háhitaþéttingu frá andrúmsloftsþrýstingi niður í 10-11 mbar.
Tómarúm lokar
Starfa á áreiðanlegan hátt í hálfleiðaraframleiðslukerfum og í forritum með efna- og agnamengun.Þeir geta verið notaðir í gróft lofttæmi, mikið lofttæmi eða mjög hátt lofttæmi.
Hornlokar úr áli
Inntak og úttak þessara loka eru hornrétt á hvert annað.Þessir hornlokar eru úr áli A6061-T6 og eru notaðir í hálfleiðara- og tækjaframleiðslu, R&D og iðnaðar tómarúmskerfi fyrir gróft til mikið lofttæmi.
Teflon húðaður lofttæmisventillinn er fullhannaður ryðfríu stáli tómarúmsíhluti með endingargóðri og mjög efnaþolinni húðun.
III.Eiginleikar tómarúmsloka.
Þrýstingurinn er undir andrúmsloftsþrýstingi og þrýstingsfallið yfir ventillokann má ekki fara yfir 1 kg kraft/cm.Vinnuhitastig miðilsins fer eftir ferli tækisins sem notað er.Hitastigið fer yfirleitt ekki yfir bilið -70 ~ 150°C.Grunnkrafan fyrir slíka loka er að tryggja mikla þéttleika tengingarinnar og þéttleika uppbyggingar og þéttingarefnis.
Samkvæmt miðlungs þrýstingi tómarúm lokar má skipta í fjóra hópa.
1) Lág lofttæmi lokar: miðlungs þrýstingur p=760~1 mmHg.
2） Miðlungs lofttæmi lokar: p=1×10-3 mmHg.
3）Hátt lofttæmi lokar: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Hátt lofttæmisventill: p≤1×10-8 mmHg.
Sem lokaður hringrás loki með þvermál yfirferðar sem er minna en 250 mm, er mikið notaður stilkur tómarúmsbelg loki með línulegri hreyfingu.Hliðlokar eru hins vegar takmarkaðari, en þetta er aðallega fyrir stóra þvermál.Einnig eru til kúlulaga lokar (kúluventlar), stimpilventlar og fiðrildalokar.Stapplokur fyrir lofttæmisventla hafa ekki verið kynntar vegna þess að þeir krefjast olíusmurningar, sem gerir það að verkum að olíugufa kemst inn í lofttæmiskerfið, sem er ekki leyfilegt.Hægt er að stjórna tómarúmslokum handvirkt og fjarstýrt á vettvangi, auk rafmagns, rafseguls (segulloka), pneumatic og vökva.
Pósttími: 11. ágúst 2022