Dælur sem almennt eru notaðar í ofurháu lofttæmikerfi

I. Vélrænar dælur
Meginhlutverk vélrænni dælunnar er að veita nauðsynlegt forstigs lofttæmi fyrir ræsingu túrbósameindadælunnar.Algengar vélrænar dælur innihalda aðallega vortex þurrdælur, þinddælur og olíuþéttar vélrænar dælur.
Þinddælur hafa lágan dæluhraða og eru almennt notaðar fyrir lítil sameindadælusett vegna smæðar.
Olíulokaða vélræna dælan er mest notaða vélræna dælan í fortíðinni, sem einkennist af miklum dæluhraða og góðu endanlegu lofttæmi, ókosturinn er almenn tilvist olíuskila, í ofurháu lofttæmiskerfum þarf almennt að vera búinn segulloka loki (til að koma í veg fyrir rafmagnsbilun fyrir slysni af völdum olíuskila) og sameindasigti (aðsogsáhrif).
Undanfarin ár, því meira notað er scroll þurrdælan. Kosturinn er einfaldur í notkun og fer ekki aftur í olíu, bara dæluhraðinn og endanlegt lofttæmi er aðeins verra en olíulokaðar vélrænar dælur.
Vélrænar dælur eru aðal uppspretta hávaða og titrings á rannsóknarstofunni og er betra að velja hávaðasnauða dælu og setja hana á milli búnaðar þar sem hægt er, en hið síðarnefnda er oft ekki auðvelt að ná vegna takmarkana á vinnufjarlægð.
II.Turbomolecular dælur
Túrbó sameindadælur treysta á háhraða snúningssnúna (venjulega um 1000 snúninga á mínútu) til að ná fram stefnubundnu gasflæði.Hlutfall útblástursþrýstings dælunnar og inntaksþrýstings er kallað þjöppunarhlutfall.Þjöppunarhlutfallið er tengt fjölda þrepa dælunnar, hraða og gerð gass, almenn mólþungi gasþjöppunar er tiltölulega hár.Fullkomið lofttæmi túrbósameindadælu er almennt talið vera 10-9-10-10 mbar og á undanförnum árum, með stöðugri framþróun sameindadælutækni, hefur fullkomið lofttæmi verið bætt enn frekar.
Þar sem kostir túrbósameindadælu koma aðeins fram í sameindaflæðisástandi (flæðisástand þar sem meðallaust svið gassameindanna er miklu meira en hámarksstærð þversniðs rásarinnar), er forþreps lofttæmdæla með vinnuþrýstingi 1 til 10-2 Pa þarf.Vegna mikils snúningshraða laufanna getur sameindadælan skemmst eða eyðilagst af aðskotahlutum, titringi, höggi, ómun eða gaslosi.Fyrir byrjendur er algengasta orsök tjóns gaslost af völdum notkunarvillna.Skemmdir á sameindadælu geta einnig stafað af ómun sem kveikt er af vélrænni dælu.Þetta ástand er tiltölulega sjaldgæft en krefst sérstakrar athygli vegna þess að það er skaðlegra og ekki auðvelt að greina það.

III.Sputtering jónadæla
Virka reglan um sputtering jónadæluna er að nota jónirnar sem myndast við Penning losunina til að sprengja títanplötu bakskautsins til að mynda ferska títanfilmu og gleypa þannig virku lofttegundirnar og hafa einnig ákveðin grafaráhrif á óvirku lofttegundirnar. .Kostir sputtering jónadæla eru gott endanlegt lofttæmi, enginn titringur, enginn hávaði, engin mengun, þroskað og stöðugt ferli, ekkert viðhald og á sama dæluhraða (nema óvirkar lofttegundir), kostnaður þeirra er mun lægri en sameindadælur, sem gerir þá mjög mikið notaða í ofurháu lofttæmikerfi.Venjulega er venjuleg rekstrarlota sputtering jónadæla meira en 10 ár.
Jónadælur þurfa almennt að vera yfir 10-7 mbar til að virka rétt (að vinna við verra lofttæmi dregur verulega úr líftíma þeirra) og þurfa því sameindadælusett til að veita gott forstigs lofttæmi.Algengt er að nota jónadælu + TSP í aðalhólfinu og lítið sameindadælusett í inntakshólfinu.Þegar þú bakar skaltu opna tengda innskotsventilinn og láta litla sameindadælusettið sjá um lofttæmið að framan.
Það skal tekið fram að jónadælur eru síður færar um aðsog óvirkra lofttegunda og hámarksdæluhraði þeirra er nokkuð frábrugðinn því sem er á sameindadælum, þannig að fyrir mikið útgasmagn eða mikið magn af óvirkum lofttegundum þarf sameindadælusett.Að auki myndar jónadælan rafsegulsvið við notkun sem getur truflað sérstaklega viðkvæm kerfi.
IV.Títan sublimation dælur
Títan sublimation dælur virka með því að reiða sig á uppgufun títan úr málmi til að mynda títan filmu á veggjum hólfsins fyrir efnasog.Kostir títan sublimation dælur eru einföld smíði, litlum tilkostnaði, auðvelt viðhald, engin geislun og enginn titringshljóð.
Títan sublimation dælur samanstanda venjulega af 3 títan þráðum (til að koma í veg fyrir að brenna af) og eru notaðar ásamt sameinda- eða jónadælum til að veita framúrskarandi vetnisfjarlægingu.Þær eru mikilvægustu lofttæmdælurnar á bilinu 10-9-10-11 mbar og eru settar í flest ofurhá lofttæmishólf þar sem mikils lofttæmis er krafist.
Ókosturinn við títan sublimation dælur er þörfin fyrir reglulega sputtering á títan, tómarúmið versnar um 1-2 stærðargráður við sputtering (innan nokkurra mínútna), því þarf að nota NEG til ákveðin hólf með sérstakar þarfir.Einnig, fyrir títannæm sýni/tæki, ætti að gæta þess að forðast staðsetningu títan sublimation dælunnar.
V. Cryogenic dælur
Cryogenic dælur treysta aðallega á lágt hitastig líkamlegt aðsog til að fá lofttæmi, með kostum mikils dæluhraða, engin mengun og mikið endanlegt lofttæmi.Helstu þættirnir sem hafa áhrif á dæluhraða frostdælna eru hitastig og yfirborð dælunnar.Í stórum sameindageislaeðliskerfum eru frostdælur mikið notaðar vegna mikillar endanlegrar tómarúmskröfur.
Ókostirnir við frostdælur eru mikil neysla á fljótandi köfnunarefni og hár rekstrarkostnaður.Hægt er að nota kerfi með endurrásarkælum án þess að neyta fljótandi köfnunarefnis, en því fylgir samsvarandi vandamál með orkunotkun, titringi og hávaða.Af þessum sökum eru frostdælur sjaldnar notaðar í hefðbundnum rannsóknarstofubúnaði.
VI.Aspirator dælur (NEG)
Sogefnisdæla er ein af meira notuðu tómarúmdælunum á undanförnum árum, kostur hennar er fullkomin notkun efnaaðsogs, engin gufuhúðun og rafsegulmengun, oft notuð í tengslum við sameindadælur til að koma í stað títan sublimation dælur og sputtering jón dælur, ókosturinn er mikill kostnaður og takmarkaður fjöldi endurnýjunar, venjulega notuð í kerfum með miklar kröfur um stöðugleika í lofttæmi eða mjög viðkvæm fyrir rafsegulsviðum.
Þar að auki, þar sem sogdælan þarfnast engrar viðbótar aflgjafatengingar umfram upphaflega virkjun, er hún einnig oft notuð í stórum kerfum sem hjálpardæla til að auka dæluhraðann og bæta lofttæmisstigið, sem getur í raun einfaldað kerfið.

Mynd: Vinnuþrýstingur fyrir mismunandi gerðir dæla.Brúnu örvarnar sýna hámarks leyfilegt rekstrarþrýstingssvið og feitletruðu grænu hlutarnir sýna algengt vinnuþrýstingssvið.