ZJ Series Roots Vacuum Pump
ZJ röð Roots tómarúmdæla
Ekki er hægt að nota þessa röð af Roots-gerð tómarúmdælum ein og sér.Það þarf að nota í röð með forstigs lofttæmisdælunni til að auka dæluhraða forstigs lofttæmisdælunnar þegar þrýstingurinn er lægri en 1,3 × 103 ~ 1,3 × 10-1 Pa. Uppbyggingin er samsett úr tveimur 8 -laga snúningshluta og snúningshlíf, og tveir snúningar snerta ekki hvor annan og snúast í gagnstæðar áttir í samstillingu við hvert annað.
ZJ röð Roots tómarúmdælur eru aðallega notaðar á:
PVD húðun, magnetron sputtering, jónhúðun, sjónhúðun osfrv;
Einkristallaofn, fjölkristallaður ofn, sintunarofn, glæðingarofn, slökkviofn osfrv;
Tómarúmþurrkun, frostþurrkun, lekaleitarkerfi, gasendurheimtingarkerfi, fljótandi kristal innspýting osfrv;
Tómarúmiðnaður eins og ísskápar, loftræstingar til heimilisnota, miðlægar loftræstir, sjálfvirkar rýmingarlínur fyrir bakljós og útblástursbúnað.
Fyrirmynd | ZJ-30 | ZJ-70 | ZJ-150 | ZJ-300 | ||
Dælingartíðni3/klst(l/mín) | 50HZ | 100(1667) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) | |
60HZ | 120(2000) | 330(5500) | 600(1000) | 1200(20000) | ||
Hámarkinntaksþrýstingur (þegar stöðugt er unnið) | 50HZ | 1,2X103 | 1,3X103 | |||
60HZ | 9,3X102 | 1,1X103 | ||||
Hámarks leyfilegur þrýstingsmunur (Pa) | 50HZ | 4X103 | 7,3X103 | |||
60HZ | 3,3X103 | 6x103 | ||||
Fullkominn þrýstingur (Pa) | 1X10-1 | |||||
Hefðbundin grófdæla m3/h | 16 | 40, 60 | 90, 150 | 150, 240 | ||
Mótor (2 pólar) KW | 0.4 | 0,75 | 2.2 | 3.7 | ||
Smurolíulýsing | TómarúmsdælaOlía | |||||
Olíugeta L | 0.4 | 0,8 | 1.6 | 2.0 | ||
Kælivatn | Rennsli l/mín | / | 2*1 | 2 | 3 | |
Þrýstimunur MPa | / | 0.1 | ||||
Vatnshiti0C | / | 5-30*2 | ||||
Þyngd Kg | 30 | 51 | 79,5 | 115 | ||
Inntak Dia.mm | 50 | 80 | 80 | 100 | ||
OutletDia.mm | 50 | 80 | 80 | 80 |