Pompa turbomolecolare serie EV
Dimensioni del profilo e attacchi di montaggio delle pompe turbomolecolari
La curva di velocità della pompa turbomolecolare
pompare azoto e idrogeno
La curva di velocità del turbomolecolare
pompa nell'atmosfera
Dati tecnici dell'EV-3600
Flangia di ingresso (mm) | 400ISO-K | |
Flangia di uscita (mm) | 100ISO-K | |
Tasso di pompaggio (L/S) | 3600 | |
Rapporto di compressione | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Pressione finale (Pa) | <2X10-6 | |
Velocità nominale (rpm) | 13500 | |
Vibrazione | ≤0,15μm | |
Orario di inizio (minuti) | <11 | |
Tempo di arresto (minuti) | <20 | |
Pompa rotativa consigliata | 30-70 litri/s | |
Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua | |
Temperatura del raffreddamento ad acqua (℃) | ≤25 | |
Il flusso di raffreddamento ad acqua (l/min) | 2 | |
Temperatura di cottura del corpo pompa | <120℃ | |
Modalità di installazione | Verticale ±5° | |
Peso (kg) | ≈100 |
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