Pompa per vuoto con pompa ad aria rotativa a palette DRV a bassa rumorosità e grande velocità di pompaggio
La pompa per vuoto della serie DRV è una pompa per vuoto rotativa a palette con tenuta a olio a doppio stadio adatta per applicazioni a basso e medio vuoto, utilizzata principalmente per rimuovere aria e altri gas secchi.E' una delle principali attrezzature per il basso e medio vuoto, può essere utilizzata da sola o come avancarica
pompa di altre pompe per vuoto.
La pompa per vuoto ha le caratteristiche di prestazioni di funzionamento affidabili, meno parti soggette ad usura, basse vibrazioni, bassa rumorosità ed elevata efficienza.
La pompa per vuoto della serie SV è importata da tecnologia avanzata straniera e i componenti chiave sono componenti importati o importati
materiali.La pompa per vuoto della serie DRV può sostituire completamente prodotti stranieri simili.
Brochure per il prodotto della pompa molecolare della serie EVFB
Modello:
EVFB-100/301 Pompa molecolare integrata per composto
EVFB-160/401 Pompa molecolare integrata per composto
EVFB-160/450D Pompa molecolare antivibrante
EVFB-160/701Pompa molecolare integrata del composto
EVFB-200/1401 Pompa molecolare integrata per composto
EVFB-250/2201 Pompa molecolare integrata per composto
EVFB-160/701Pompa molecolare composta
EVFB-200/1401 Pompa molecolare composta
EVFB-250/2201 Pompa molecolare composta
EVFB-400/3600 Pompa turbomolecolare
EVFB-400/4500 Pompa turbomolecolare
Panoramica del Prodotto
La pompa molecolare è una sorta di pompa per vuoto a trasferimento di momento rotante ad alta velocità, il suo intervallo di pressione di esercizio è generalmente 10-1Pa~10-7Pa, è una delle apparecchiature di acquisizione del vuoto più importanti per ottenere l'alto vuoto e l'ultra-alto vuoto.La pompa molecolare presenta i vantaggi di una rapida velocità di avvio, un ampio campo di lavoro, un basso consumo energetico, un'elevata pulizia e una semplice manutenzione.
I prodotti per pompe molecolari descritti in questo campionario rappresentano la seconda generazione di prodotti
recentemente lanciati dall'azienda, progettati e ottimizzati principalmente per i campi del vuoto industriale e della ricerca scientifica, inclusa la prima serie di prodotti per pompe molecolari per vuoto industriale con controller integrati e scenari applicativi flessibili.A seconda del calibro, ci sono principalmente DN100, DN160, DN200, DN250 e DN400 e altri prodotti.
Pompa molecolare integrale lubrificata a grasso
Caratteristiche principali di questa serie di prodotti:
(1) Controller integrato: progettazione del controller integrato, facilita l'integrazione del sistema, un tasto start-stop;
(2) Cuscinetto di precisione: cuscinetto a sfere in ceramica di precisione con lubrificazione a grasso, installato a qualsiasi angolazione;
(3) Elevata affidabilità: rotori complessivi, tecnologia di guida BLDC;
(4) Diversità funzionale: gamma completa di accessori, sono disponibili soluzioni personalizzate;
(5) Fornisce la funzione di velocità regolabile, per soddisfare i requisiti di una varietà di velocità di pompaggio;
Questa serie di prodotti è adatta principalmente per PVD, CVD, lastre a cristalli liquidi e altri rivestimenti industriali;Spettrometria di massa, fisica delle alte energie, rilevamento di perdite di vuoto, medicina e ingegneria biologica e altri campi di ricerca scientifica.
Specifiche tecniche della pompa molecolare
Modello | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(fatto su misura) | ||||
☑IL vuoto parametri | |||||||
Pompaggio velocità (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
Definitivo pressione | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (FC) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (FC) | |||||
Compressione rapporto | > | > | > | > | >1×108 | >1×10 3 | |
Prevalenza ingresso continua massimass ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
Pressione massima continua della linea di alimentazione | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
Tolleranza massima della pressione di linea | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
☑Fisico parametro | |||||||
Ingresso flangia | DN100 ISO-K (LF) o CF | DN160 ISO-K (LF) o CF | |||||
Linea principale flangia | DN25 ISO-KF o DN40KF(Opzionale) | ||||||
Epurazione flangia | DN16 ISO-KF | ||||||
Peso | 9,6 kg(ISO-K | 10 kg(ISO-K) | |||||
10 kg(CF) | 11 kg(CF) | ||||||
Vibrazione | ≤0,05μm | ||||||
Rumore | ≤55 dB(Il raffreddamento ad aria standard) | ||||||
Cuscinetto | Cuscinetto a sfere in ceramica lubrificato a grasso | ||||||
Operativo posizione | Qualunque | ||||||
Opera.ambient Magnetico campo | ≤3 mT(Il più grande 10mT, è necessario personalizzare) | ||||||
Opera.ambie nt | Aria condizionata | 5 ~ 35 ℃ | |||||
Raffreddamento ad acqua | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
Requisiti dell'acqua di raffreddamento | Temperatura dell'acqua: 15-30 ℃; pressione: 0,15 MPa; PH6 ~ 8, chiaramente, senza olio; flusso: ≥ 1 l/min | ||||||
Consigliato pompa anteriore | 2~6 l/sec | 3~8 l/s | |||||
☑Controllore parametri | |||||||
Controllore | EVFB-II | ||||||
Rotazionale velocità | 48000 giri/min | 36000 giri/min | |||||
Basso velocità | 33600 giri/min | 25200 giri/min | |||||
Avviare tempo | ≤5min | ||||||
Voltaggio | 48 VCA±2% | ||||||
Comunicazione modalità | RS-485 |
Modello | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
☑IL vuoto parametri | |||||||
Definitivo pressione(Pa) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | ||||||
Pompaggio velocità (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
Compressione rapporto | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
Prevalenza ingresso continua massimass ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
Pressione massima continua della linea principale (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
Maxforelinepress uretolleranza (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
☑Fisico parametro | |||||||
Ingresso flangia | DN160 ISO-K(LF)o CF | DN200 ISO-K (LF)或 CF | DN250 ISO-K (LF)o | ||||
Linea principale flangia | DN25 ISO-KF o KF40 (opzionale) | DN40 ISO-KF o KF50 (opzionale) | |||||
Epurazione flangia | DN16 ISO-KF | ||||||
Consigliato pompa anteriore (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
Peso(kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
23 (FC) | 34 | 45 (FC) | |||||
Vibrazione | ≤ | ||||||
Rumore (dB) | ≤ | ||||||
Cuscinetto | Cuscinetto a sfere in ceramica lubrificato a grasso | ||||||
Operativo posizione | Qualunque | ||||||
Magnetico campo intensità(mT) | ≤3(Il più grande 10mT, da personalizzare) | ||||||
Opera.ambient temperatura | Aria raffreddamento | 5~35℃ | |||||
Acqua raffreddamento | 5~40℃ | ||||||
Raffreddamento acqua requisiti | Temperatura dell'acqua: 15-25 ℃; pressione: 0,15 MPa; PH6 ~ 8, chiaramente, senza olio ;flusso:≥1,5 l/min | ||||||
☑Controllore parametri | |||||||
Controllore | EVFB-III-A | ||||||
Comunicazione modalità | RS-485 | ||||||
Voltaggio(V) | 220 V CA±10% | ||||||
Frequenza(Hz) | 50/60±5% | ||||||
Massimo ingresso Energia(W) | 100 | ||||||
Avvia/arresta controllo modalità | I pulsanti del controller controllano l'avvio e l'arresto /Avvio e arresto del controller RS485 /DB15 Controllo l'avvio e l'arresto | ||||||
Protezioni | Sovracorrente, sovratensione, sottotensione, protezione da surriscaldamento, sovracorrente della pompa molecolare, sovraccarico, protezione da surriscaldamento, ecc. | ||||||
Rotazionale velocità (giri/min) | 36000±0,1% | 30.000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
Basso velocità (giri/min) | 25200±0,1% | 21.000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
Attuale(A) | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
Protezione fusibile(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
Tempo di avvio(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
Tempi di inattività(min) | ~5 | ~10 | ~12 |
La dimensione complessiva
Modello | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
EVFB-100/301 | 100LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
EVFB-160/401 | 160LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
EVFB-160/450D | 160LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
Modello | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
EVFB-160/700 | 160LF | 180 | 218,5 | 241.8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
EVFB-160/701 | 160 CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224.8 | 124.8 |
EVFB-200/1400 | 200LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
EVFB-200/1401 | 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
EVFB-250/2200 | 250LF | 290 | 296 | 229,8 | 324.8 | 203,8 | 165.3 |
EVFB-250/2201 | 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Ordinare Informazione
Numero | Prodotto modello | Prodotto codice | Accessori | Ordinenumero | Spiegare |
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | pompa molecolare standard | A3123 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3123-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3123-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo (piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | A3123-C | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | pompa molecolare standard | A3124 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3124-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3124-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo (piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | A3124-C | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | pompa molecolare standard | A3127 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3127-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3127-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo (piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | A3127-C | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | pompa molecolare standard | A3128 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3128-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3128-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo | A3128-C | La pompa standard + valvola di spurgo |
(piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | accessori (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituirecomponenti raffreddati ad aria) | ||||
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | pompa molecolare standard | A3129 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3129-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3129-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo (piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | A3129-C | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | pompa molecolare standard | A3130 | La pompa standard (il raffreddamento ad aria è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo(piccolo flusso) | A3130-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) | |||
Componenti per il raffreddamento ad acqua | A3130-B | La pompa standard + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
Accessori per valvole di spurgo (piccolo flusso)、Componenti di raffreddamento ad acqua | A3130-C | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo (flusso ridotto) + componenti di raffreddamento ad acqua (sostituire i componenti raffreddati ad aria) | |||
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | pompa molecolare standard | A3139 | La pompa standard (raffreddamento ad acquaè standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3139-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3139-B | La pompa standard + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、Componenti del ventilatore | A3139-C | La pompa standard + valvola di spurgoaccessori + Componenti per ventilatori | |||
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | pompa molecolare standard | A3140 | La pompa standard (raffreddamento ad acquaè standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3140-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3140-B | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、Componenti del ventilatore | A3140-C | La pompa standard + valvola di spurgoaccessori + Componenti per ventilatori | |||
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | pompa molecolare standard | A3135 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3135-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3135-B | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、 | A3135-C | La pompa standard + valvola di spurgo |
Componenti del ventilatore | accessori + Componenti per ventilatori | ||||
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | pompa molecolare standard | A3136 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3136-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3136-B | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、 | A3136-C | La pompa standard + valvola di spurgoaccessori + Componenti per ventilatori | |||
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | pompa molecolare standard | A3141 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3141-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3141-B | La pompa standard + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、Componenti della ventola | A3141-C | La pompa standard + valvola di spurgoaccessori + Componenti per ventilatori | |||
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | pompa molecolare standard | A3142 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3142-A | La pompa standard + valvola di spurgoAccessori | |||
Componenti del ventilatore | A3142-B | La pompa standard + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo、 | A3142-C | La pompa standard + valvola di spurgoaccessori + Componenti per ventilatori | |||
13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Controller per pompe molecolari( Adatto per pompe molecolari come EVFB- 100/301、EVFB- 160/401、EVFB-100/450D) |
14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Controller per pompe molecolari( Adatto per pompe molecolari come EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201) |
Pompe molecolari per composti separati
Caratteristiche principali di questa serie di prodotti:
(1) Controller separato: alimentazione AC220V, tasto start-stop;
(2) Elevata affidabilità: rotori complessivi, tecnologia di guida BLDC;
(3) Cuscinetto di precisione: Cuscinetto a sfere in ceramica di precisione, Installato a qualsiasi angolazione(Solo modelli lubrificati a grasso);
(4) Diversità funzionale: gamma completa di accessori, sono disponibili soluzioni personalizzate;
(5) Fornisce la funzione di velocità regolabile, per soddisfare i requisiti di una varietà di velocità di pompaggio; Questa serie di prodotti è applicabile principalmente a PVD, CVD, lastre a cristalli liquidi e altri
rivestimento industriale, ricerca scientifica e altri campi.
Parametri tecnici della pompa molecolare
Modello | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
☑IL vuoto parametri | ||||||||||
Pressione finale (Pa) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | |||||||||
Pompaggio velocità (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
Rapporto di compressione | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
Massimo continuo ingressopressione(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
Massimocontinuo Linea principale | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
Tolleranza massima della pressione di linea (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
☑Fisico parametro | ||||||||||
Ingresso flangia | DN160 ISO-K(LF)oCF | DN200 ISO-K(LF)oCF | DN250 ISO-K(LF)oCF | DN400 ISO-K(LF)oCF | DN400 ISO-K(LF)oCF | |||||
Linea principale flangia | DN25 ISO-KF,KF40(Opzionale) | DN40 ISO-KF, KF50 (opzionale) | DN100 ISO-K(LF) | DN100 ISO-K(LF)oKF50(Opzionale) | ||||||
Epurazione flangia | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
Consigliato | 4~10 l/sec | 8~16 l/sec | 16~24 l/s | 30~70 l/s |
Peso(kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
23 (FC) | 34 (FC) | 45 (FC) | ≈ 105 (FC) | ≈ 88 (FC) | ||
Vibrazione | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
Rumore (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
Cuscinetto | Cuscinetto a sfere in ceramica lubrificato a grasso | Cuscinetto a sfere in ceramica | ||||
Operativo posizione | Qualunque | Verticale±5° | ||||
Oper.Ambiente Campo magnetico | ≤ 3mT(Il più grande 10mT, da personalizzare) | ≤ 3mT | ||||
Opera.ambientale temperatura | Aria raffreddamento | 5~35°C | / | / | ||
Raffreddamento ad acqua | 5~40°C | |||||
Raffreddamento acqua requisiti | Temperatura dell'acqua: 15-25 ℃; pressione: 0,15 MPa; flusso: ≥ 1,5 l/min | flusso: ≥ 3 l/min | ||||
☑Controllore parametri | ||||||
Separato controllore | EVFB-III-B(2U) | EVFB-VI(4U) | ||||
A distanza controllo | Controllo a distanza ultra (consultare i nostri ingegneri) | |||||
Comunicazione modalità | RS-485 | |||||
Voltaggio(V) | Da 100 a 240 VCA(± | 220 VCA(±10%) | ||||
Frequenza(Hz) | 50/60 Hz±5% | |||||
Massima potenza in ingresso(W) | 1000 | 1500 | ||||
Avvia/arresta controllo modalità | I pulsanti del controller controllano l'avvio e l'arresto /Avvio e arresto del controller RS485 /DB15 Controllo l'avvio e l'arresto | |||||
Protezioni | Protezione da sovracorrente, sovratensione, sottotensione, surriscaldamento, sovracorrente della pompa molecolare, controllersovraccarico, protezione da surriscaldamento, ecc | |||||
Rotazionale velocità (giri/min) | 36000±0,1% | 30.000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
Basso velocità (giri/min) | 25200±0,1% | 21.000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
Attuale(A) | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
Protezione fusibile(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
Avviare tempo(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
Tempi di inattività(min) | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
Opera. ambientale condizione | Nessun gas corrosivo e particelle di polvere evidenti; temperatura ambientale: -10 ℃ ~ 50 ℃; ambienteumidità: ≤ 90%, intensità di vibrazione: ≤ 0,5 g |
0dimensione generale
Modello | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160LF | 180 | 218,5 | 241.8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
160 CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224.8 | 124.8 | |
EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250LF | 290 | 296 | 229,8 | 324.8 | 203,8 | 165.3 |
250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Dimensioni della pompa turbomolecolare EVFB-400/3600
Dimensioni della pompa turbomolecolare EVFB-400/4500
Aspetto del controller separato
Controller separato EVFB-III-B(2U)
Controller separato EVFB-VI(4U)
Ordine Informazione
numero | Prodotto modello | Prodotto codice | Accessori | Ordine numero | Spiegare |
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Pompa molecolare standard | A3139-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3139-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3139-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo, componenti per ventole | A3139-FC | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo + componenti della ventola | |||
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | pompa molecolare standard | A3140-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3140-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3140-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo, componenti per ventole | A3140-FC | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo + componenti della ventola | |||
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | pompa molecolare standard | A3135-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3135-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3135-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo, componenti per ventole | A3135-FC | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo + componenti della ventola | |||
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | pompa molecolare standard | A3136-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3136-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3136-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo, componenti per ventole | A3136-FC | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo + componenti della ventola | |||
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | pompa molecolare standard | A3141-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3141-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3141-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo, componenti per ventole | A3141-FC | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo + componenti della ventola | |||
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | pompa molecolare standard | A3142-F | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3142-FA | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
Componenti del ventilatore | A3142-FB | I componenti standard della pompa + ventola | |||
Accessori per valvole di spurgo | A3142-FC | La pompa standard + valvola di spurgo |
Componenti del ventilatore | accessori + Componenti per ventilatori | ||||
7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | pompa molecolare standard | A3187 | La pompa standard (raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | pompa molecolare standard | A3188 | La pompa standard (raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | pompa molecolare standard | A3185 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3185-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | pompa molecolare standard | A3186 | La pompa standard (il raffreddamento ad acqua è standard per impostazione predefinita) |
Accessori per valvole di spurgo | A3186-A | La pompa standard + accessori della valvola di spurgo | |||
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Pannello a comando manuale |
A3261-1 | Opzionale per il cliente, adatto per pompe molecolari come EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
12 | EVFB-VI | A3270 | Controller separato (4U) | A3270 | Adatto per pompe turbomolecolari come EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
13 | EVFB-III-B | A3264 | Controller separato (2U) | A3264 | Adatto per pompe molecolari come EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、 EVFB-250/2201 (tipo separato) |