Misuratore di portata massica del regolatore di flusso di massa CS200
Caratteristiche
1. Alta precisione e risposta rapida
La precisione del CS200 MFC è stata migliorata a ±1,0% dell'SP e i modelli più avanzati hanno un tempo di risposta ridotto inferiore a 0,8 secondi.
2. Bassa deriva dello zero e coefficiente di temperatura
L'invenzione di una nuova tecnologia dei sensori consente al CS200 MFC di mantenere la stabilità e resistere alle fluttuazioni di temperatura.Senza un amplificatore di auto-zero, la deriva dello zero prevista è inferiore allo 0,6% FS/anno e il coefficiente di temperatura è inferiore allo 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/℃ (intervallo).
3. Modelli con tenuta metallica e caratteristica di elevata purezza
Il percorso del flusso bagnato della linea CS200 MFC è costruito in acciaio inossidabile con superficie passivata.Tutti gli MFC CS200 sono assemblati nelle camere bianche ultrapulite di classe 100 di Sevenstar in conformità agli standard SEMI e ISO 9001.
4. Interfacce compatibili
Il CS200 MFC è compatibile con le seguenti interfacce, che possono essere selezionate dal cliente: alimentatore double-end ±8V-±16V e alimentatore single-end +14V-+28V;ingresso e uscita del segnale digitale o analogico;Dimensioni meccaniche standard SEMI;e modulo di comunicazione RS-485 o DeviceNet.
5. Funzioni varie
Il potente software del cliente viene fornito di serie con ogni modello, mentre funzioni aggiuntive come multi-gas, multi-gamma, zero automatico, allarmi, avvio graduale e ritardo sono disponibili come selezioni del cliente.
Specifica
| CS200 | |||||||
| Tipo | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Intervallo di fondo scala (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precisione | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Linearità | ±0,5% FS | ||||||
| Ripetibilità | ±0,2% FS | ||||||
| Tempo di risposta | ≤1sec | ≤0,8 secondi (SEMI E17-0600) | |||||
| Posizione di riposo della valvola | Normalmente chiuso o | Nessuna valvola | Normalmente chiuso o | Nessuna valvola | Normalmente chiuso o | Nessuna valvola | |
| Normalmente aperto（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aperto（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aperto（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Pressione differenziale | 0,05～0,35MPa （Flusso ≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Flusso≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Flusso＞30slm） | |||||||
| Pressione operativa massima | 0,45MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0,05% FS/℃; | Zero: ≤±0,02% FS/℃;Intervallo: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coefficiente | Intervallo: ≤±0,1% FS/℃（Flusso≤30slm） | |||||
| Intervallo: ≤±0,2% FS/℃（Flusso>30slm） | ||||||
| Pressione di prova | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Deriva zero | ＜0,6%FS all'anno senza autozero | |||||
| Integrità delle perdite | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc/sec He | ||||
| Materiali bagnati | Vitone; | Metallo?(Acciaio inossidabile V/V, 5Ra) | Metallo | |||
| Chimica delle superfici | —— | Rapporto Cr/Fe >2,0;Spessore CrO >20 Angstrom | ||||
| Finitura superficiale | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Temperatura di funzionamento | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Segnale di input | Digitale: RS485 o ProfiBus | N / A | Digitale: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N / A | Digitale:RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N / A |
| o DeviceNet™ | Analogico: (0~5) V CC o (4 ~ 20) mA o (0 ~ 20) mA | Analogico: (0～5) V CC o (4 ~ 20) mA? o (0 ~ 20) mA | |||||
| Analogico: (0~5) V CC o (4 ~ 20) mA o (0 ~ 20) mA | |||||||
| Segnale di uscita | Digitale: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analogico: (0～5)VDC o (4～20)mA o (0～20)mA | ||||||
| Alimentazione elettrica | ±8 ~ ±16 VCC o +14 ~ +28 VCC (400 mA) | ||||||
| Connettore elettronico | Sub-D maschio a 9 pin, Sub-D maschio a 15 pin, DeviceNetTM,ProfiBus, analogico | ||||||
| Raccordi | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | Videoregistratore 1/4"M; | |||||
| Raccordo a compressioneΦ10;Raccordo a compressioneΦ6; | Raccordo a compressioneΦ6, | ||||||
| Raccordo a compressione 3/8”;Raccordo a compressione 1/4”； | Raccordo a compressioneΦ3, | ||||||
| Raccordo a compressione1/8”;Raccordo a compressioneΦ3; | Raccordo a compressione 1/4", | ||||||
| Ф6(interno)×1 tubo;ф5(interno)×1,5 tubo;ф4(interno)×1 tubo; | Guarnizione a W, | ||||||
| A-Sael; | Sigillo C | ||||||
| Peso | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
