I controllori del flusso di massa (MFC) forniscono misurazioni e controlli precisi del flusso di massa dei gas.
I. Qual è la differenza tra un MFC e un MFM?
Il misuratore di flusso di massa (MFM) è un tipo di strumento che misura accuratamente il flusso di gas e il suo valore di misurazione non è impreciso a causa delle fluttuazioni di temperatura o pressione e non richiede compensazione di temperatura e pressione. Il regolatore di flusso di massa (MFC) non solo ha la funzione di un flussometro di massa, ma, cosa più importante, può controllare automaticamente il flusso di gas, ovvero l'utente può impostare il flusso in base alle proprie esigenze e l'MFC mantiene automaticamente il flusso costante al valore impostato, anche se la pressione del sistema Le fluttuazioni o i cambiamenti della temperatura ambiente non la faranno deviare dal valore impostato.Il regolatore di flusso di massa è un dispositivo a flusso costante, ovvero un dispositivo a flusso costante di gas che può essere impostato manualmente o controllato automaticamente tramite la connessione a un computer.I misuratori di portata massica misurano solo ma non controllano.Il regolatore di flusso di massa è dotato di una valvola di controllo che può sia misurare che controllare il flusso di gas.
II.Qual è la struttura eprincipio di funzionamento?
1、Struttura
2、Principio di funzionamento
Quando il flusso entra nel tubo di aspirazione, la maggior parte del flusso passa attraverso il canale deviatore, una piccola parte del quale entra nel tubo capillare interno al sensore.A causa della struttura speciale di
il canale deviatore, le due parti del flusso di gas possono essere direttamente proporzionali.Il sensore è preriscaldato e riscaldato e la temperatura interna è superiore alla temperatura dell'aria in ingresso.In questo momento, il flusso di massa della piccola parte del gas viene misurato secondo il principio del trasferimento di calore tramite il tubo capillare e il principio della calorimetria della differenza di temperatura.Il flusso di gas misurato in questo modo può ignorare gli effetti della temperatura e della pressione.Il segnale di misurazione del flusso rilevato dal sensore viene immesso nel circuito stampato, amplificato e emesso e la funzione dell'MFM è completata.Aggiungendo la funzione di controllo automatico PID ad anello chiuso al circuito, confrontare il segnale di misurazione del flusso misurato dal sensore con il segnale impostato fornito dall'utente.Sulla base di ciò, la valvola di controllo viene controllata in modo che il segnale di rilevamento del flusso sia uguale al segnale impostato, realizzando così la funzione dell'MFC.
III.Applicazioni e funzionalità.
MFC, che trova ampia applicazione in settori quali: fabbricazione di semiconduttori e circuiti integrati, scienza dei materiali speciali, industria chimica, industria petrolifera, industria farmaceutica, protezione ambientale e ricerca di sistemi per vuoto, ecc. Le applicazioni tipiche includono: apparecchiature di processo microelettronico come la diffusione , ossidazione, epitassia, CVD, attacco al plasma, sputtering, impiantazione ionica;apparecchiature per la deposizione sotto vuoto, fusione di fibre ottiche, apparecchiature per microreazioni, sistemi di miscelazione e abbinamento del gas, sistema di controllo del flusso capillare, gascromatografo e altri strumenti analitici.
MFC offre elevata precisione, eccellente ripetibilità, risposta rapida, avvio graduale, migliore affidabilità, ampia gamma di pressioni operative (buon funzionamento in situazioni di alta pressione e vuoto), funzionamento semplice e conveniente, installazione flessibile, possibile connessione con PC per eseguire operazioni automatiche controllo al sistema degli utenti.
IV.Come determinare e gestire fdisturbi?
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Orario di pubblicazione: 29 luglio 2022