Conoscenza – Valvole per vuoto

I. Introduzione della valvola
La valvola del vuoto è un componente del sistema del vuoto utilizzato per modificare la direzione del flusso d'aria, regolare la dimensione del flusso di gas, interrompere o collegare la tubazione nel sistema del vuoto.Le parti di chiusura della valvola del vuoto sono sigillate mediante guarnizione in gomma o guarnizione metallica.

II.Applicazioni comuni delle valvole per vuoto.
Valvole per vuoto
Utilizzato in apparecchiature per sistemi ad alto o ultra-alto vuoto quando è necessario mantenere il vuoto in un sistema di movimentazione a vuoto chiuso.Le valvole del vuoto vengono utilizzate per controllare il flusso d'aria nella camera del vuoto, isolare, sfiatare, fornire riduzione della pressione o controllare la conduzione.Valvole a saracinesca, valvole in linea e valvole ad angolo sono i tipi più comuni di valvole per vuoto utilizzate per applicazioni ad alto o ultra-alto vuoto.Altri tipi di valvole includono valvole a farfalla, valvole di trasferimento, valvole a sfera, valvole a pendolo, valvole interamente in metallo, valvole per vuoto, valvole ad angolo in alluminio, valvole per vuoto rivestite in teflon e valvole dirette.

Valvole a farfalla
sono valvole ad apertura rapida costituite da dischi o palette metalliche che ruotano ad angolo retto rispetto alla direzione del flusso nella tubazione e quando ruotate sul proprio asse, la valvola sigilla la sede nel corpo valvola.

Valvole di trasferimento (valvole a saracinesca rettangolari)
Valvole di separazione adatte per l'uso tra camere a vuoto con carico bloccato e camere di trasferimento e tra camere di trasferimento e camere di lavorazione in apparecchiature per la produzione di semiconduttori.

Valvole a sfera per vuoto
sono valvole a flusso diritto a un quarto di giro con un gruppo di chiusura circolare con sedi circolari abbinate per una sollecitazione di tenuta uniforme.

Valvole a pendolo
è una grande valvola a farfalla montata tra la camera del vuoto di processo e l'ingresso della pompa turbomolecolare.Queste valvole a pendolo per vuoto sono generalmente progettate come valvole a saracinesca o a pendolo per applicazioni che includono sistemi di produzione industriale OLED, FPD e fotovoltaici.

Valvole interamente in metallo
Progettato per l'uso in ambienti ad altissimo vuoto dove le alte temperature non consentono l'uso di elastomeri e metalli per guarnizioni criogeniche.Le valvole interamente in metallo termoadesive garantiscono una tenuta affidabile alle alte temperature, dalla pressione atmosferica fino a valori inferiori a 10-11 mbar.

Valvole per vuoto
Operare in modo affidabile nei sistemi di produzione di semiconduttori e in applicazioni con contaminazione chimica e particellare.Possono essere utilizzati in ambienti con vuoto spinto, alto vuoto o ultra-alto vuoto.

Valvole ad angolo in alluminio
L'ingresso e l'uscita di queste valvole sono ad angolo retto tra loro.Queste valvole ad angolo sono realizzate in alluminio A6061-T6 e vengono utilizzate nella produzione di semiconduttori e strumentazione, ricerca e sviluppo e sistemi di vuoto industriale per applicazioni con vuoto da grezzo a elevato.

La valvola per vuoto rivestita in Teflon è un dispositivo per vuoto completamente progettato in acciaio inossidabile con un rivestimento durevole e altamente resistente agli agenti chimici.

III.Caratteristiche delle valvole per vuoto.
La pressione è inferiore a quella atmosferica e la caduta di pressione attraverso l'aletta della valvola non può superare 1 kg forza/cm.La temperatura di lavoro del mezzo dipende dal processo del dispositivo utilizzato.La temperatura generalmente non supera l'intervallo compreso tra -70 ~ 150°C.Il requisito fondamentale per tali valvole è garantire un elevato grado di tenuta della connessione e la densità della struttura e del materiale della guarnizione.

Secondo la media pressione le valvole del vuoto possono essere divise in quattro gruppi.
1) Valvole a basso vuoto: media pressione p=760~1 mmHg.
2）Valvole per vuoto medio: p=1×10-3 mmHg.
3）Valvole per alto vuoto: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Valvola per vuoto ultraelevato: p≤1×10-8 mmHg.

Come valvola a circuito chiuso con un diametro di passaggio inferiore a 250 mm, lo stelo ampiamente utilizzato è una valvola di intercettazione a soffietto sottovuoto con movimento lineare.Le valvole a saracinesca, invece, sono più limitate, ma soprattutto per i diametri grandi.Sono disponibili anche valvole a maschio sferico (valvole a sfera), valvole a stantuffo e valvole a farfalla.Le valvole a maschio per le valvole del vuoto non sono state promosse perché richiedono lubrificazione con olio, rendendo possibile l'ingresso del vapore d'olio nel sistema del vuoto, cosa non consentita.Le valvole del vuoto possono essere controllate manualmente e a distanza sul campo, nonché elettricamente, elettromagneticamente (elettrovalvole), pneumaticamente e idraulicamente.