משאבות מולקולריות מורכבות מסדרת EV
נתונים טכניים מסדרת EV
דֶגֶם | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
אוגן כניסה (מ"מ) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
אוגן יציאה (מ"מ) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
מהירות שאיבה (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
יחס דחיסה | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
ואקום אולטימטיבי (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
מהירות סיבוב (סל"ד) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
רֶטֶט | ≤0.1 מיקרומטר | ≤0.1 מיקרומטר | ≤0.15 מיקרומטר | ||||
זמן הרצה (דקות) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
משאבת גיבוי | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
שיטת קירור | קירור מים (אוויר). | קירור מים (אוויר). | קירור מים (אוויר). | ||||
טמפרטורת מי קירור (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
טמפרטורת סביבה (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
כמות זרימת מי קירור | 1-2 ליטר לדקה | 1-2 ליטר לדקה | 1-2 ליטר לדקה | ||||
טמפרטורת אפייה (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
כוח מחמם (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
מתח כניסה לחימום (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
הַרכָּבָה | אנכי ±5° | אנכי ±5° | אנכי ±5° | ||||
משקל (ק"ג) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
עקומת שאיבה אטמוספרית של תרכובת
משאבה מולקולרית
עקומת יחס דחיסה של חנקן ומימן
באמצעות משאבה מולקולרית מורכבת
טבלת מימדים של התקנת סדרת EV של משאבה מולקולרית מורכבת
דֶגֶם | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
אוגן כניסה (מ"מ) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
חור בורג רגל משאבה | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
אוגן יציאה (מ"מ) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
משאבות מולקולריות של תרכובת קירור אוויר מסדרת EV
משאבה מולקולרית מורכבת מסדרת EV מורכבת ממשאבה טורבומולקולרית ומשאבת מתיחה דיסק.יש לו את המאפיינים של מהירות שאיבה גבוהה ויחס דחיסה עבור זרימה מולקולרית של משאבה טורבומולקולרית, מהירות שאיבה גבוהה ויחס דחיסה עבור לחץ גבוה של משאבת מתיחה, ומרחיב את היקף היישום של משאבה מולקולרית.
למשאבה המולקולרית המורכבת אין סלקטיביות והשפעת זיכרון על הגז הנשאב.בגלל יחס הדחיסה הגבוה שלה לגז בעל משקל מולקולרי גדול, המשאבה יכולה להשיג ואקום נקי גבוה ואולטרה גבוה ללא מלכודת קור ומבלת שמן.הוא נמצא בשימוש נרחב בתחומים שונים של אלקטרוניקה, מתכות, תעשייה כימית, מחקר מדעי וטכנולוגיית ואקום.
דֶגֶם | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
אוגן כניסה (מ"מ) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
חור בורג רגל משאבה | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |