בקר זרימת מסה מד זרימת מסה CS200
מאפיינים
1. דיוק גבוה ותגובה מהירה
הדיוק של ה-CS200 MFC שופר ל-±1.0% מ-SP, ולדגמים המתקדמים ביותר יש זמן תגובה מופחת של פחות מ-0.8 שניות.
2. אפס סחיפה ומקדם טמפרטורה נמוך
המצאת טכנולוגיית החיישנים החדשה מאפשרת ל-CS200 MFC לשמור על יציבות ולעמוד בתנודות טמפרטורה.ללא מגבר אפס אוטומטי, סחף האפס הצפוי הוא פחות מ-0.6%FS/שנה, ומקדם הטמפרטורה נמוך מ-0.02%FS/℃(אפס)，0.05%FS/℃ (טווח).
3. דגמים אטומים מתכת ותכונת טוהר גבוה
נתיב הזרימה הרטוב של CS200 MFC בנוי מפלדת אל-חלד מפוזרת על פני השטח.כל CS200 MFCs מורכבים בחדרי הניקיון האולטרה-נקיים Class 100 של Sevenstar בהתאם לתקני SEMI וגם ISO 9001.
4. ממשקים תואמים
ה-CS200 MFC תואם לממשקים הבאים, העשויים להיבחר על ידי הלקוח: ±8V-±16V ספק כוח כפול ו-+14V-+28V יחיד קצה;קלט ופלט של אות דיגיטלי או אנלוגי;מידות מכניות בתקן SEMI;ומודול תקשורת RS-485 או DeviceNet.
5. פונקציות שונות
תוכנת לקוח רבת עוצמה מגיעה כסטנדרט עם כל דגם, בעוד שפונקציות נוספות כגון ריבוי גז, ריבוי טווחים, אפס אוטומטי, אזעקות, התחלה רכה ועיכוב זמינות כבחירת הלקוח.
מִפרָט
| CS200 | |||||||
| סוּג | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| טווח קנה מידה מלא (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| דיוק | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| ליניאריות | ±0.5% FS | ||||||
| הֲדִירוּת | ±0.2% FS | ||||||
| זמן תגובה | ≤1 שניות | ≤0.8 שניות (SEMI E17-0600) | |||||
| מצב מנוחה של שסתום | בדרך כלל סגור או | אין שסתום | בדרך כלל סגור או | אין שסתום | בדרך כלל סגור או | אין שסתום | |
| פתוח בדרך כלל（100 sccm≤FS≤5 slm） | פתוח בדרך כלל（100 sccm≤FS≤5 slm） | פתוח בדרך כלל（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| לחץ דיפרנציאלי | 0.05~0.35MPa （זרימה≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ~ 0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ~ 0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1~0.35MPa（10slm＜זרימה≤30slm） | (0.1 ~ 0.35) MPa（＞10slm） | (0.1 ~ 0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2 ~ 0.45MPa （זרימה＞30 slm） | |||||||
| לחץ הפעלה מקסימלי | 0.45MPa | |||||
| טֶמפֶּרָטוּרָה | אפס: ≤±0.05% FS/℃; | אפס: ≤±0.02% FS/℃;טווח: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| מְקַדֵם | טווח: ≤±0.1% FS/℃（זרימה≤30slm） | |||||
| טווח: ≤±0.2% FS/℃（זרימה>30slm） | ||||||
| לחץ הוכחה | 3MPa (435pisg) | |||||
| אפס סחיפה | ＜0.6%FS לשנה ללא אפס אוטומטי | |||||
| שלמות דליפה | 1×10-9 atm·cc/sek He | 1×10-10atm·cc/sek He | ||||
| חומרים רטובים | ויטון; | מתכת? (פלדת אל חלד V/V, 5Ra) | מַתֶכֶת | |||
| כימיה של פני השטח | —— | יחס Cr/Fe ＞2.0;עובי CrO ＞20 אנגסטרום | ||||
| גימור פני השטח | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| טמפרטורת פעולה | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| אות כניסה | דיגיטלי: RS485 או ProfiBus | לא | דיגיטלי: RS485 או ProfiBus או DeviceNetTM | לא | דיגיטלי: RS485 או ProfiBus או DeviceNetTM | לא |
| או DeviceNetTM | אנלוגי: (0~5)VDC או (4~20)mA או (0~20)mA | אנלוגי:(0～5)VDC או (4～20)mA? או (0～20)mA | |||||
| אנלוגי:(0～5)VDC או (4～20)mA או(0～20)mA | |||||||
| אות פלט | דיגיטלי: RS485 או DeviceNetTM או ProfiBus אנלוגי:(0~5)VDC או (4~20)mA או (0~20)mA | ||||||
| ספק כוח | ±8 ~ ±16 VDC או +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| מחבר אלקטרוני | 9 פינים זכר תת-D ，15 פינים זכר תת-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，אנלוגי | ||||||
| אביזרי | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4 אינץ' M; | |||||
| התאמה דחיסהΦ10; התאמה דחיסהΦ6； | התאמה דחיסהΦ6, | ||||||
| התאמה דחיסה 3/8 אינץ';התאמת דחיסה 1/4 אינץ'； | התאמת דחיסהΦ3, | ||||||
| התאמת דחיסה 1/8 אינץ';התאמת דחיסהΦ3； | התאמה דחיסה 1/4 אינץ', | ||||||
| Ф6(פנימי)×1צינור;ф5(פנימי)×1.5צינור;ф4(פנימי)×1צינור; | חותם W, | ||||||
| א-סאאל ; | חותם סי | ||||||
| מִשׁקָל | 1 ק"ג | 0.8 ק"ג | 1.2 ק"ג | 1 ק"ג | 1.2 ק"ג | 1 ק"ג | |
