בקרי זרימת מסה (MFC) מספקים מדידה ובקרה מדויקת של זרימת המונית של גזים.
א. מה ההבדל בין MFC ל- MFM?
מד זרימת מסה (MFM) הוא סוג של מכשיר שמודד במדויק את זרימת הגז, וערך המדידה שלו אינו מדוייק עקב תנודות בטמפרטורה או לחץ, ואינו דורש פיצוי טמפרטורה ולחץ. בקר זרימת המונים (MFC) לא רק יש פונקציה של מד זרימת מסה, אך חשוב מכך, הוא יכול לשלוט אוטומטית על זרימת הגז, כלומר, המשתמש יכול להגדיר את הזרימה בהתאם לצרכיו, וה-MFC שומר אוטומטית על הזרימה קבועה בערך שנקבע, גם אם לחץ המערכת תנודות או שינויים בטמפרטורת הסביבה לא יגרמו לה לסטות מהערך שנקבע.בקר זרימת המונים הוא התקן זרימה קבועה, שהוא התקן זרימה קבועה של גז שניתן להגדיר ידנית או לשלוט אוטומטית על ידי חיבור למחשב.מדי זרימת המונים רק מודדים אך אינם שולטים.לבקר זרימת המונים יש שסתום בקרה, שיכול גם למדוד וגם לשלוט על זרימת הגז.
II.מה המבנה ועקרון הפעולה?
1、 מבנה
2, עקרון הפעולה
כאשר הזרימה נכנסת לצינור היניקה, רוב הזרימה עוברת דרך תעלת ההסחה, שחלק קטן ממנה נכנס לצינור הנימים בתוך החיישן.בשל המבנה המיוחד של
בערוץ ההסבה, שני החלקים של זרימת הגז יכולים להיות פרופורציונליים.החיישן מחומם ומחומם מראש, והטמפרטורה בפנים גבוהה מטמפרטורת אוויר הכניסה.בשלב זה, זרימת המסה של החלק הקטן של הגז נמדדת על ידי עקרון העברת החום על ידי הצינור הנימים ועיקרון הקלורימטריה של הפרש הטמפרטורה.זרימת הגז הנמדדת בדרך זו יכולה להתעלם מהשפעות הטמפרטורה והלחץ.אות מדידת הזרימה שזוהה על ידי החיישן מוזנת ללוח המעגלים ומוגברת ויוצאת, והפונקציה של ה- MFM הושלמה.הוספת פונקציית בקרה אוטומטית בלולאה סגורה של PID ללוח המעגלים, השווה את אות מדידת הזרימה שנמדדה על ידי החיישן עם האות שנקבע על ידי המשתמש.בהתבסס על זה, שסתום הבקרה נשלט כך שאות זיהוי הזרימה שווה לאות שנקבע, ובכך מממש את הפונקציה של ה-MFC.
III.יישומים ותכונות.
MFC, אשר מיושם באופן נרחב בתחומים כמו: ייצור מוליכים למחצה ו-IC, מדעי חומרים מיוחדים, תעשייה כימית, תעשיית דלק, תעשיית התרופות, הגנה על הסביבה וחקר מערכות ואקום וכו'. היישומים האופייניים כוללים: ציוד תהליך מיקרו-אלקטרוני כגון דיפוזיה , חמצון, אפיטקסיה, CVD, תחריט פלזמה, התזת, השתלת יונים;ציוד לתצהיר ואקום, המסת סיבים אופטיים, ציוד מיקרו-תגובה, מערכת ערבוב והתאמת גז, מערכת בקרת זרימה נימית, כרומטוגרף גז ומכשירים אנליטיים אחרים.
MFC מביא את הדיוק הגבוה, יכולת החזרה מעולה, תגובה מהירה, התחלה רכה, אמינות טובה יותר, מגוון רחב של טווחי לחץ פעולה (פעולה טובה במצבי לחץ גבוה ואקום), פעולה פשוטה נוחה, התקנה גמישה, חיבור אפשרי למחשב לביצוע אוטומטי שליטה למערכת של המשתמשים.
IV.כיצד לקבוע ולהתמודד עם וailures?
לחברה שלנו יש מהנדס מקצועי לאחר המכירה, שיכול לעזור לך לפתור בעיות בהתקנה ובשימוש.
זמן פרסום: 29 ביולי 2022