ידע - שסתומי ואקום

I. הכנסת שסתום
שסתום ואקום הוא רכיב מערכת ואקום המשמש לשינוי כיוון זרימת האוויר, התאמת גודל זרימת הגז, ניתוק או חיבור הצינור במערכת הוואקום.החלקים הסוגרים של שסתום הוואקום אטומים על ידי אטם גומי או אטם מתכת.

II.יישומי שסתום ואקום נפוצים.
שסתומי ואקום
משמש בציוד מערכת ואקום גבוה או אולטרה גבוה כאשר יש לשמור על ואקום במערכת טיפול בוואקום סגורה.שסתומי ואקום משמשים לשליטה בזרימת האוויר לתוך תא הוואקום, לבודד, לאוורר, לספק הפחתת לחץ או לשלוט בהולכה.שסתומי שער, שסתומים מוטבעים ושסתומי זווית הם הסוגים הנפוצים ביותר של שסתומי ואקום המשמשים ליישומי ואקום גבוה או גבוה במיוחד.סוגי שסתומים נוספים כוללים שסתומי פרפר, שסתומי העברה, שסתומי כדור, שסתומי מטוטלת, שסתומי מתכת, שסתומי ואקום, שסתומי זווית אלומיניום, שסתומי ואקום מצופים בטפלון ושסתומים ישרים.

שסתומי פרפר
הם שסתומים לפתיחה מהירה המורכבים מדיסקיות מתכת או שבבים המסתובבים בזוית ישרה לכיוון הזרימה בצינור וכאשר מסובבים על צירם, השסתום אוטם את המושב בגוף השסתום.

שסתומי העברה (שסתומי שער מלבניים)
שסתומי הפרדה המתאימים לשימוש בין תאי ואקום נעולים בעומס ותאי העברה, ובין תאי העברה ותאי עיבוד בציוד לייצור מוליכים למחצה.

שסתומי כדור ואקום
הם שסתומי זרימה ישרים של רבע סיבוב עם מכלול סגירה עגול עם מושבים עגולים תואמים ללחץ אטימה אחיד.

שסתומי מטוטלת
הוא שסתום מצערת גדול המותקן בין תא ואקום התהליך לבין כניסת המשאבה הטורבומולקולרית.שסתומי מטוטלת ואקום אלה מתוכננים בדרך כלל כשסתומי שער או מטוטלת עבור יישומים הכוללים מערכות ייצור תעשייתיות OLED, FPD ו-PV.

שסתומי מתכת לחלוטין
מיועד לשימוש בסביבות ואקום גבוה במיוחד, בהן טמפרטורות גבוהות אינן מאפשרות שימוש באלסטומרים ומתכות אטם קריוגניות.שסתומי מתכת הניתנים לאפייה מספקים איטום אמין בטמפרטורה גבוהה מלחץ אטמוספרי עד מתחת ל-10-11 mbar.

שסתומי ואקום
פעל באופן אמין במערכות ייצור מוליכים למחצה וביישומים עם זיהום כימי וחלקיקים.ניתן להשתמש בהם בסביבות ואקום גס, ואקום גבוה או ואקום גבוה במיוחד.

שסתומי זווית אלומיניום
הכניסה והיציאה של שסתומים אלה נמצאים בזווית ישרה זה לזה.שסתומי זווית אלה עשויים מאלומיניום A6061-T6 ומשמשים בייצור מוליכים למחצה ומכשור, מחקר ופיתוח ומערכות ואקום תעשייתיות ליישומי ואקום מחוספסים עד גבוהים.

שסתום הוואקום מצופה טפלון הוא מכשיר רכיב ואקום מנירוסטה מהונדס במלואו עם ציפוי עמיד ועמיד במיוחד בפני כימיקלים.

III.מאפיינים של שסתומי ואקום.
הלחץ נמוך מהלחץ האטמוספרי וירידה בלחץ על דש השסתום לא יכולה לעלות על 1 ק"ג כוח/ס"מ.טמפרטורת העבודה של המדיום תלויה בתהליך של המכשיר המשמש.הטמפרטורה בדרך כלל אינה עולה על הטווח של -70 ~ 150 מעלות צלזיוס.הדרישה הבסיסית ביותר עבור שסתומים כאלה היא להבטיח רמה גבוהה של אטימות של החיבור ואת הצפיפות של המבנה וחומר האטם.

על פי שסתומי ואקום בלחץ בינוני ניתן לחלק לארבע קבוצות.
1) שסתומי ואקום נמוך: לחץ בינוני p=760~1 מ"מ כספית.
2） שסתומי ואקום בינוניים: p=1×10-3 מ"מ כספית.
3） שסתומי ואקום גבוה: p=1×10-4 ~1×10-7 מ"מ כספית.
4） שסתום ואקום אולטרה-גבוה: p≤1×10-8 מ"מ כספית.

כשסתום במעגל סגור עם קוטר מעבר של פחות מ-250 מ"מ, הגזע בשימוש נרחב הוא שסתום סגירה מפוח ואקום עם תנועה ליניארית.שסתומי שער, לעומת זאת, מוגבלים יותר, אך זה מיועד בעיקר לקטרים ​​גדולים.זמינים גם שסתומי תקע כדוריים (שסתומי כדור), שסתומי בוכנה ושסתומי פרפר.שסתומי תקע לשסתומי ואקום לא זכו לקידום מכיוון שהם דורשים שימון שמן, מה שמאפשר כניסה של אדי שמן למערכת הוואקום, מה שאסור.שסתומי ואקום ניתנים לשליטה ידנית ומרחוק בשטח, כמו גם חשמלית, אלקטרומגנטית (שסתומי סולנואיד), פנאומטית והידראולית.