משאבת ואקום היא מכשיר שיוצר, משפר ושומר על ואקום בחלל סגור בשיטות שונות.משאבת ואקום יכולה להיות מוגדרת כמכשיר או ציוד המשתמשים בשיטות מכניות, פיזיקליות, כימיות או פיזיקוכימיות כדי לשאוב את הכלי הנשאב כדי להשיג ואקום.עם התפתחות יישומי ואקום, פותח מגוון רחב של משאבות ואקום, עם קצבי שאיבה הנעים בין ליטרים בודדים לשנייה ועד למאות אלפי ומיליוני ליטרים בשנייה.הלחץ האולטימטיבי (וואקום אולטימטיבי) נע בין ואקום גס לשואקים גבוהים מאוד מעל 10-12 Pa.
חלוקת הוואקום
סיווג משאבות ואקום
על פי עקרון העבודה של משאבות ואקום, ניתן לחלק בעצם את משאבות הוואקום לשני סוגים, כלומר משאבות ואקום בנפח משתנה ומשאבות העברת מומנטום.משאבת ואקום בנפח משתנה היא משאבת ואקום המשתמשת בשינוי המחזורי של נפח תא המשאבה לביצוע שאיבה ופריקה למטרות שאיבה.הגז נדחס לפני השחרור מתא המשאבה.משאבות העברת מומנטום (משאבות ואקום מולקולריות) מסתמכות על שבבים מסתובבים במהירות גבוהה או סילוני מהירות גבוהה כדי להעביר מומנטום לגז או למולקולות הגז כך שהגז מועבר ברציפות מכניסת המשאבה לשקע.(מבוא בפסקה נפרדת) משאבות ואקום בנפח משתנה מחולקות ל: הדדיות, סיבוביות (שבשבת סיבובית, שסתום החלקה, טבעת נוזל, שורשים, ספירלה, רוטור טופר), סוגים אחרים.
טווח לחץ הפעלה לכל סוגי משאבות ואקום
זמן פרסום: נובמבר-02-2022