בקר זרימת גז תרמי (MFC)
הrmאצותmתַחַתfנָמוּךmeter(MFM)איזהkindofaccuratemeasuremאנטוףgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuatioנסיןטמפרהtureorpressבטח, לא צריךthecompensationoftאמפהratureandpressure.
דֶגֶם | SQC-100 |
טווחי זרימה (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
דיוק | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
סוג כונן שסתום | רגיל סגור |
ליניאריות | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
הֲדִירוּת | ±0.2%FS |
זמן תגובה | ≤1 שניות |
אות קלט/פלט | 0 ~ 5V |
ג'וינט חשמלי | פין DB15 (מחט) |
מבצע טמ. | 5 ~ 45℃ |
דיפרנציאל טרום. | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM) |
שיעור דליפה | 1×10-8SCCS (הוא) |
מקסימוםלַחַץ | 3MPa |
חומר בינוני | 316L SS וחומר איטום |
חומר איטום | ויטון, גומי סיליקון, NBR, טפלון, חותם מתכת. |
גודל מפרק | מכשיר וידאו 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
ספק כוח | +15V,50mA;-15V,200mA |
דֶגֶם | SQC-200 |
טווחי זרימה (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0–20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
דיוק | ±2%FS |
סוג כונן שסתום | רגיל סגור |
ליניאריות | ±2%FS |
הֲדִירוּת | ±0.2%FS |
זמן תגובה | ≤ 5 שניות |
אות קלט/פלט | 1~5V~4~20mA |
ג'וינט חשמלי | פין DB15 (מחט) |
מבצע טמ. | 5 ~ 45℃ |
דיפרנציאל טרום. | 0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa(MFM) |
שיעור דליפה | 1×10-8SCCS (הוא) |
מקסימוםלַחַץ | 3MPa |
חומר בינוני | 316L SS וחומר איטום |
חומר איטום | ויטון, גומי סיליקון, NBR, ERP, טפלון |
גודל מפרק | Swagelok 3/8 אינץ' 、1/2 אינץ'; φ8, φ10, φ12 מ"מ |
ספק כוח | 24V,0.5A |
כתבו כאן את הודעתכם ושלחו אותה אלינו