משאבת ואקום שורשים מסדרת ZJ

משאבת ואקום מסדרת ZJ Roots

לא ניתן להשתמש בסדרה זו של משאבות ואקום מסוג Roots לבד.יש להשתמש בו בסדרה עם משאבת הוואקום הקדם-שלבית כדי להגביר את קצב השאיבה של משאבת הוואקום הקדם-שלבית כאשר הלחץ נמוך מ-1.3×103~1.3×10-1 Pa. המבנה מורכב משני 8 -חלקי רוטור בצורת ומעטפת רוטור, ושני הרוטורים אינם נוגעים זה בזה ומסתובבים בכיוונים מנוגדים בסנכרון זה עם זה.

משאבות ואקום מסדרת ZJ מיושמות בעיקר על:

ציפוי PVD, קיצוץ מגנטרון, ציפוי יונים, ציפוי אופטי וכו';

תנור גביש יחיד, תנור רב גבישי, תנור סינטר, תנור חישול, תנור מרווה וכו';

ייבוש ואקום, ייבוש בהקפאה, מערכת איתור דליפות, מערכת שחזור גז, הזרקת גביש נוזלי וכו';

תעשיית ואקום כגון מקררים, מזגנים ביתיים, מזגנים מרכזיים, קווי פינוי אוטומטיים לתאורה אחורית וציוד פליטה.