オイルフリー中間シールの使用複数のシール方法によりローターチャンバー内の高清浄真空環境を確保高度な処理により、ローターの良好な幾何学的対称性、低騒音、長寿命を確保します。特殊シャフトシールの採用により、油漏れがなく長時間安定した運転を実現します。コンパクトな構造、軽量、小容積。コーティング、スパッタリング、イオンプレーティング、液晶注入。真空乾燥、凍結乾燥、真空脱泡。分析機器、密封装置。真空熱処理炉溶解炉。その他各種真空装置。
