高真空用トリミングバルブ
特徴
調整精度の高い細ネジ構造を採用しています。
軸シールはフッ素ゴム、ヘアバーはステンレス溶接で漏れが少ないです。
ニードルとステムを別体設計とし、接続部にボールシートを設置することでニードルバルブとバルブシートの長寿命化、メンテナンスの容易化を実現しました。
技術的パラメータ
圧力範囲:1x10^(-5)Pa~1.2x10^(5)Pa 初回メンテナンスまでの寿命:3000回 最小調整流量:4.7x10^(-3)Pa.L/S 弁体ベーキング温度:≤150℃ 開口部圧力差:≤1.2x10^(5)Pa 任意 取付方向:任意
本体・シートリーク量:1.3x10^(-7)Pa.L/S バルブ位置表示:ダイヤル表示付き
トリミングバルブ外形寸法
モデル | DN | 接続フランジ | 寸法(mm) | |||||
1 | 2 | A | B | C | D | E | ||
EVGW-J2(KF) | 0.8 | KF16 | KF16 | 90 | 30 | 30 | 28 | 45 |
EVGW-J2(CF) | 0.8 | CF16 | CF16 | 98 | 34 | 35 | 28 | 52 |
EVGW-J2(GK) | 0.8 | KF16 | 配管継手 | 90 | 30 | 30 | 28 | 45 |
EVGW-J4(KF) | 1.2 | KF16 | KF16 | 93.2 | 30 | 30 | 28 | 45 |
EVGW-J4(CF) | 1.2 | CF16 | CF16 | 98 | 34 | 35 | 28 | 52 |
EVGW-J4(GK) | 1.2 | KF16 | 配管継手 | 90 | 30 | 30 | 28 | 45 |
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