大排気量耐久性低騒音DRVロータリーベーンエアポンプ真空ポンプ
DRV シリーズ真空ポンプは、主に空気やその他の乾燥ガスを除去するために使用される、低真空および中真空用途に適した二段ロータリーベーン油封式真空ポンプです。低真空および中真空の主要な装置の 1 つであり、単独で使用することも、前段として使用することもできます。
他の真空ポンプのポンプ。
真空ポンプは信頼性の高い運転性能、摩耗部品の少なさ、低振動、低騒音、高効率という特徴を備えています。
SV シリーズ真空ポンプは海外の先進技術から輸入されており、主要なコンポーネントは輸入部品または輸入品です。
材料。DRV シリーズ真空ポンプは、同様の外国製品を完全に置き換えることができます。
分子ポンプ製品EVFBシリーズのパンフレット
モデル：
EVFB-100/301 複合一体型分子ポンプ
EVFB-160/401 複合一体型分子ポンプ
EVFB-160/450D 防振分子ポンプ
EVFB-160/701複合一体型分子ポンプ
EVFB-200/1401 複合一体型分子ポンプ
EVFB-250/2201 複合一体型分子ポンプ
EVFB-160/701複合分子ポンプ
EVFB-200/1401 複合分子ポンプ
EVFB-250/2201 複合分子ポンプ
EVFB-400/3600 ターボ分子ポンプ
EVFB-400/4500 ターボ分子ポンプ
製品の概要
分子ポンプは一種の高速回転運動量伝達真空ポンプであり、その作動圧力範囲は一般的に10です。-1パ～10-7Paは高真空や超高真空を実現するための重要な真空獲得装置の一つです。分子ポンプには、速い起動速度、広い動作範囲、低消費電力、高い清浄度、簡単なメンテナンスという利点があります。
この見本帳に掲載されている分子ポンプ製品は第2世代の製品です。
同社が新たに発売したこれらの製品は、統合コントローラと柔軟なアプリケーションシナリオを備えた最初の産業用真空分子ポンプ製品シリーズなど、主に産業用真空および科学研究分野向けに設計および最適化されています。口径に応じて、主にDN100、DN160、DN200、DN250、DN400およびその他の製品があります。
グリース潤滑一体型分子ポンプ
このシリーズ製品の主な特長:
（1） 統合コントローラ: 統合コントローラ設計、システム統合の促進、重要なスタートストップ；
（2） 精密ベアリング：グリース潤滑精密セラミックボールベアリング、任意の角度で設置;
（3） 高信頼性：ローター全体、BLDC駆動技術；
（4） 機能の多様性：豊富なアクセサリ、カスタマイズされたソリューションが利用可能;
（5） 調整可能な速度機能を提供し、さまざまな排気速度の要件に対応します。
このシリーズの製品は主に PVD、CVD、液晶プレートおよびその他の工業用コーティングに適しています。質量分析、高エネルギー物理学、真空リーク検出、医学、生物工学、その他の科学研究分野。
分子ポンプの技術仕様
| モデル | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（カスタムメイド） | ||||
| ☑の 真空 パラメーター | |||||||
| ポンピング スピード (L/秒) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| 究極の プレッシャー | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| 圧縮 比率 | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| 最大連続入力プレss うーん | 10Pa | 2Pa | 10Pa | 2Pa | 20 | 5Pa | |
| 最大連続フォアライン圧力 | 300 | 200 | 300 | 200Pa | 20 | 10Pa | |
| Maxforeline圧力耐性 | 1000 | 500 | 1000 | 500Pa | 50 | 20Pa | |
| ☑物理的な パラメータ | |||||||
| 入口 フランジ | DN100 ISO-K(LF) またはCF | DN160 ISO-K (LF) または CF | |||||
| フォアライン フランジ | DN25 ISO-KFまたはDN40KF（オプション） | ||||||
| パージ フランジ | DN16 ISO-KF | ||||||
| 重さ | 9.6kg（ISO-K） | 10kg（ISO-K） | |||||
| 10kg（CF） | 11kg（CF） | ||||||
| 振動 | ≤0.05μm | ||||||
| ノイズ | ≤55 dB（標準空冷） | ||||||
| ベアリング | グリース潤滑セラミックボールベアリング | ||||||
| オペレーティング 位置 | どれでも | ||||||
| オペラアンビエント 磁気 分野 | ≤3 mT（最大10mT、カスタマイズが必要） | ||||||
| オペラアンビー nt | 空冷 | 5～35℃ | |||||
| 水冷 | 5～40℃ | ||||||
| 冷却水の要件 | 水温：15-30℃；圧力：0.15Mpa；PH6~8、清澄、オイルフリー、流量：≧1L/min | ||||||
| 推奨 フォアポンプ | 2~6L/秒 | 3～8L/s | |||||
| ☑コントローラ パラメーター | |||||||
| コントローラ | EVFB-Ⅱ | ||||||
| 回転 スピード | 48000rp | 36000rpm | |||||
| 低い スピード | 33600rp | 25200rpm | |||||
| 起動する 時間 | ≤5分 | ||||||
| 電圧 | AC48V±2% | ||||||
| コミュニケーション モード | RS-485 | ||||||
| モデル | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑の 真空 パラメーター | |||||||
| 究極の 圧力(Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| ポンピング スピード (L/秒) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050年 | 1800 | ||
| 圧縮 比率 | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| 最大連続入力プレss 尿(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| 最大連続フォアライン圧力(Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| マックスフォアラインプレss 尿耐性(Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑物理的な パラメータ | |||||||
| 入口 フランジ | DN160 ISO-K（LF）またはCF | DN200 ISO-K （LF）またはCF | DN250 ISO-K （LF）または | ||||
| フォアライン フランジ | DN25 ISO-KFまたはKF40(オプション) | DN40 ISO-KFまたはKF50(オプション) | |||||
| パージ フランジ | DN16 ISO-KF | ||||||
| 推奨 フォアポンプ(L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| 重さ（kg） | 20ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40ISO-K(LF) | ||||
| 23(CF) | 34 | 45(CF) | |||||
| 振動 | ≤ | ||||||
| 騒音(dB) | ≤ | ||||||
| ベアリング | グリース潤滑セラミックボールベアリング | ||||||
| オペレーティング 位置 | どれでも | ||||||
| 磁気 分野 強度(mT) | ≤3（最大10mT、カスタマイズが必要） | ||||||
| オペラアンビエント 温度 | 空気 冷却 | 5～35℃ | |||||
| 水 冷却 | 5～40℃ | ||||||
| 冷却 水 要件 | 水温：15～25℃；圧力：0.15Mpa；PH6～8、清澄、オイルフリー ；流量：≧1.5L/min | ||||||
| ☑コントローラ パラメーター | |||||||
| コントローラ | EVFB-III-A | ||||||
| コミュニケーション モード | RS-485 | ||||||
| 電圧（V） | AC220V±10% | ||||||
| 頻度（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| 最大 入力 力（W） | 100 | ||||||
| 起動停止 コントロール モード | コントローラボタンで開始と停止を制御 /RS485 コントローラで開始と停止を制御 /DB15 コントローラで開始と停止を制御 | ||||||
| 保護 | コントローラー過電流、過電圧、不足電圧、過熱保護、分子ポンプ過電流、過負荷、過熱保護など | ||||||
| 回転 スピード (r/分) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | ||||
| 低い スピード (r/分) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| 現在（A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| 保護 ヒューズ（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| 起動時間（分） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| ダウンタイム（分） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
全体寸法
| モデル | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| モデル | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
注文 情報
| 番号 | 製品 モデル | 製品 コード | アクセサリー | 注文番号 | 説明する |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | 標準分子ポンプ | A3123 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3123-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3123-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 （小流量）、水冷部品 | A3123-C | 標準ポンプ + パージバルブ付属品（小流量） + 水冷部品（空冷部品と交換） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | 標準分子ポンプ | A3124 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3124-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3124-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 （小流量）、水冷部品 | A3124-C | 標準ポンプ + パージバルブ付属品（小流量） + 水冷部品（空冷部品と交換） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | 標準分子ポンプ | A3127 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3127-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3127-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 （小流量）、水冷部品 | A3127-C | 標準ポンプ + パージバルブ付属品（小流量） + 水冷部品（空冷部品と交換） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | 標準分子ポンプ | A3128 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3128-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3128-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 | A3128-C | 標準ポンプ＋パージバルブ |
| （小流量）、水冷部品 | 付属品（小流量）＋水冷部品（交換）空冷部品） | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | 標準分子ポンプ | A3129 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3129-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3129-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 （小流量）、水冷部品 | A3129-C | 標準ポンプ + パージバルブ付属品（小流量） + 水冷部品（空冷部品と交換） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | 標準分子ポンプ | A3130 | 標準ポンプ（標準は空冷） |
| パージバルブ付属品（流量が少ない） | A3130-A | 標準ポンプ＋パージバルブ付属品（小流量） | |||
| 水冷コンポーネント | A3130-B | 標準ポンプ＋水冷部品（空冷部品から置き換え） | |||
| パージバルブ付属品 （小流量）、水冷部品 | A3130-C | 標準ポンプ + パージバルブ付属品（小流量） + 水冷部品（空冷部品と交換） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | 標準分子ポンプ | A3139 | 標準ポンプ（水冷）デフォルトでは標準です） |
| パージバルブ付属品 | A3139-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3139-B | 標準ポンプ＋ファン | |||
| パージバルブ付属品、ファンコンポーネント | A3139-C | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | 標準分子ポンプ | A3140 | 標準ポンプ（水冷）デフォルトでは標準です） |
| パージバルブ付属品 | A3140-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3140-B | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファンコンポーネント | A3140-C | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | 標準分子ポンプ | A3135 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3135-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3135-B | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、 | A3135-C | 標準ポンプ＋パージバルブ |
| ファンコンポーネント | アクセサリ + ファンコンポーネント | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | 標準分子ポンプ | A3136 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3136-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3136-B | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、 | A3136-C | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | 標準分子ポンプ | A3141 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3141-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3141-B | 標準ポンプ＋ファン | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3141-C | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | 標準分子ポンプ | A3142 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3142-A | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリー | |||
| ファンコンポーネント | A3142-B | 標準ポンプ＋ファン | |||
| パージバルブ付属品、 | A3142-C | 標準ポンプ＋パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
| 13 | EVFB-Ⅱ | A3261 | - | A3261 | 分子ポンプコントローラー（EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450Dなどの分子ポンプに最適） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | 分子ポンプコントローラー（EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-などの分子ポンプに最適）250/2201） |
分離された化合物分子ポンプ
このシリーズ製品の主な特長：
（1） 分離コントローラ：AC220V電源、キースタートストップ；
（2） 高信頼性：ローター全体、BLDC駆動技術；
（3） 精密ベアリング：精密セラミックボールベアリング、任意の角度で取り付け可能（グリース潤滑モデルのみ）；
（4） 機能の多様性：豊富なアクセサリ、カスタマイズされたソリューションが利用可能;
（5） 調整可能な速度機能を提供し、さまざまな排気速度の要件を満たすため、このシリーズの製品は主にPVD、CVD、液晶プレートなどに適用できます。
工業用コーティング、科学研究、その他の分野。
分子ポンプの技術パラメータ
| モデル | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑の 真空 パラメーター | ||||||||||
| 到達圧力(Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| ポンピング スピード (L/秒) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050年 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| 圧縮率 | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| 最大 継続的な 入口圧力(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| 最大継続的な フォアライン | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| マックスフォアライン耐圧(Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑物理的な パラメータ | ||||||||||
| 入口 フランジ | DN160 ISO-K（LF）orCF | DN200 ISO-K（LF）orCF | DN250 ISO-K（LF）orCF | DN400 ISO-K（LF）orCF | DN400 ISO-K（LF）orCF | |||||
| フォアライン フランジ | DN25 ISO-KF、KF40（オプション） | DN40 ISO-KF、KF50（オプション） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）orKF50（オプション） | ||||||
| パージ フランジ | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| 推奨 | 4～10L/秒 | 8～16L/s | 16～24L/s | 30～70L/s | ||||||
| 重さ（kg） | 20ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40ISO-K(LF) | ≒ 100 ISO-K(LF) | ≒ 83 ISO-K(LF) | |
| 23(CF) | 34（CF） | 45(CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| 振動 | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| ノイズ (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| ベアリング | グリース潤滑セラミックボールベアリング | セラミックボールベアリング | ||||
| オペレーティング 位置 | どれでも | 垂直±5° | ||||
| オペラ・アンビエント 磁場 | ≤ 3mT（最大10mT、カスタマイズが必要） | ≤ 3mT | ||||
| オペラ。アンビエント 温度 | 空気 冷却 | 5～35℃ | / | / | ||
| 水冷 | 5～40℃ | |||||
| 冷却 水 要件 | 水温：15-25℃；圧力：0.15Mpa；流量：≧1.5L/min | 流量：≧3L/min | ||||
| ☑コントローラ パラメーター | ||||||
| 別れた コントローラ | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| リモート コントロール | 超距離制御（当社技術者にご相談ください） | |||||
| コミュニケーション モード | RS-485 | |||||
| 電圧（V） | AC100～240V（± | AC220V（±10％） | ||||
| 頻度（Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| 最大入力電力（W） | 1000 | 1500 | ||||
| 起動停止 コントロール モード | コントローラボタンで開始と停止を制御 /RS485 コントローラで開始と停止を制御 /DB15 コントローラで開始と停止を制御 | |||||
| 保護 | コントローラー過電流、過電圧、不足電圧、過熱保護、分子ポンプ過電流、過負荷、過熱保護など | |||||
| 回転 スピード (r/分) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| 低い スピード (r/分) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| 現在（A） | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| 保護 ヒューズ（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| 起動する 時間（分） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| ダウンタイム（分） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| オペラ。 アンビエント 状態 | 腐食性ガスや塵埃のないこと；環境温度：-10℃～50℃；環境湿度：≤ 90%、振動強度：≤ 0.5g | |||||
0全体の次元
| モデル | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 ターボ分子ポンプの寸法
EVFB-400/4500 ターボ分子ポンプの寸法
分離型コントローラーの外観
EVFB-III-B（2U）コントローラ分離型
EVFB-VI（4U）セパレートコントローラ
注文 情報
| 番号 | 製品 モデル | 製品 コード | アクセサリー | 注文 番号 | 説明する |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | 標準分子ポンプ | A3139-F | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3139-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3139-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3139-FC | 標準ポンプ + パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | 標準分子ポンプ | A3140-F | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3140-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3140-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3140-FC | 標準ポンプ + パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
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3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | 標準分子ポンプ | A3135-F | 標準ポンプ（水冷式） デフォルトでは標準） |
| パージバルブ付属品 | A3135-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3135-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3135-FC | 標準ポンプ + パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
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4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | 標準分子ポンプ | A3136-F | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3136-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3136-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3136-FC | 標準ポンプ + パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
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5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | 標準分子ポンプ | A3141-F | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3141-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3141-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品、ファン部品 | A3141-FC | 標準ポンプ + パージバルブアクセサリ + ファンコンポーネント | |||
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6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | 標準分子ポンプ | A3142-F | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3142-FA | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
| ファンコンポーネント | A3142-FB | 標準ポンプ+ファンコンポーネント | |||
| パージバルブ付属品 | A3142-FC | 標準ポンプ＋パージバルブ |
| ファンコンポーネント | アクセサリ + ファンコンポーネント | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | 標準分子ポンプ | A3187 | 標準ポンプ（水冷） デフォルトでは標準です） |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | 標準分子ポンプ | A3188 | 標準ポンプ（水冷） デフォルトでは標準です） |
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9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | 標準分子ポンプ | A3185 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3185-A | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
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10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | 標準分子ポンプ | A3186 | 標準ポンプ（標準は水冷） |
| パージバルブ付属品 | A3186-A | 標準ポンプ + パージバルブ付属品 | |||
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11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
手動パネル |
A3261-1 | 顧客オプション、EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201などの分子ポンプに適しています |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | コントローラ別体 （4U） | A3270 | EVFB-400/3600、EVFB-400/450などのターボ分子ポンプに最適 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | コントローラ別体 （2U） | A3264 | EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201などの分子ポンプに最適 (セパレートタイプ) |
