マスフローコントローラー マスフローメーター CS200
特徴
1. 高精度・高速応答
CS200 MFC の精度は SP の ±1.0% に向上し、最新モデルでは応答時間が 0.8 秒未満に短縮されています。
2. 低いゼロドリフトと温度係数
新しいセンサー技術の発明により、CS200 MFC は安定性を維持し、温度変動に耐えることができます。オートゼロアンプなしの場合、予想されるゼロドリフトは0.6%FS/年未満、温度係数は0.02%FS/℃(ゼロ)、0.05%FS/℃(スパン)未満です。
3. 金属封止モデルと高純度の特長
ライン CS200 MFC の接液流路は、表面不動態化ステンレス鋼で構成されています。すべての CS200 MFC は、SEMI 規格と ISO 9001 規格の両方に従って、セブンスターの超クリーンなクラス 100 クラスのクリーンルームで組み立てられます。
4. 互換性のあるインターフェース
CS200 MFC は、顧客が選択できる次のインターフェイスと互換性があります。±8V ～ ±16V ダブルエンド電源および +14V ～ +28V シングルエンド電源。デジタルまたはアナログ信号の入出力。SEMI標準の機械寸法。RS-485 または DeviceNet 通信モジュール。
5. その他の機能
各モデルには強力な顧客ソフトウェアが標準装備されていますが、マルチガス、マルチレンジ、オートゼロ、アラーム、ソフトスタート、遅延などの追加機能も顧客の選択として利用できます。
仕様
| CS200 | |||||||
| タイプ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| フルスケールレンジ(N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| 正確さ | ±1.0% SP (≧35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| 直線性 | ±0.5%FS | ||||||
| 再現性 | ±0.2%FS | ||||||
| 反応時間 | ≤1秒 | ≤0.8秒 (SEMI E17-0600) | |||||
| バルブ休止位置 | 通常閉または | バルブなし | 通常閉または | バルブなし | 通常閉または | バルブなし | |
| ノーマルオープン（100 sccm≦FS≦5 slm） | ノーマルオープン（100 sccm≦FS≦5 slm） | ノーマルオープン（100 sccm≦FS≦5 slm） | |||||
| 差圧 | 0.05～0.35MPa （流量≦10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35)MPa（≦10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35)MPa（≦10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜流量≦30slm） | (0.1～0.35)MPa（＞10slm） | (0.1～0.35)MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （流量＞30slm） | |||||||
| 最高使用圧力 | 0.45MPa | |||||
| 温度 | ゼロ:≤±0.05% FS/℃; | ゼロ:≤±0.02% FS/℃;スパン:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| 係数 | スパン: ≤±0.1% FS/℃（流量≤30slm） | |||||
| スパン: ≤±0.2% FS/℃（流量>30slm） | ||||||
| 耐圧力 | 3MPa(435pisg) | |||||
| ゼロドリフト | ＜オートゼロなしで年間 0.6%FS | |||||
| 漏れの完全性 | 1×10-9atm・cc/秒 He | 1×10-10atm・cc/秒 He | ||||
| 接液部材質 | バイトン; | 金属?(ステンレス鋼 V/V、5Ra) | 金属 | |||
| 表面化学 | —— | Cr/Fe比＞2.0;CrOの厚さ＞20オングストローム | ||||
| 表面仕上げ | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| 動作温度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| 入力信号 | デジタル: RS485 または ProfiBus | 該当なし | デジタル: RS485 または ProfiBus または DeviceNetTM | 該当なし | デジタル:RS485 または ProfiBus または DeviceNetTM | 該当なし |
| またはDeviceNetTM | アナログ:(0～5)VDC または (4～20)mA または (0～20)mA | アナログ:(0～5)VDC または (4～20)mA? または (0～20)mA | |||||
| アナログ:(0～5)VDC または (4～20)mA または (0～20)mA | |||||||
| 出力信号 | デジタル：RS485 または DeviceNetTM または ProfiBus アナログ：(0～5)VDC または (4～20)mA または (0～20)mA | ||||||
| 電源 | DC±8～±16VまたはDC+14～+28V(400mA) | ||||||
| 電子コネクタ | 9ピン オス サブD、15ピン オス サブD、DeviceNetTM、プロフィバス、アナログ | ||||||
| 継手 | VCR1/4”M； VCO1/4”M； | VCR1/4インチM; | |||||
| 圧縮継手Φ10;圧縮継手Φ6; | コンプレッションフィッティングΦ6、 | ||||||
| 圧縮フィッティング 3/8 インチ。圧縮フィッティング1/4”； | コンプレッションフィッティングΦ3、 | ||||||
| 圧縮フィッティング1/8インチ;コンプレッションフィッティングΦ3； | 圧縮フィッティング1/4”、 | ||||||
| Φ6(インナー)×1ホース;Φ5(インナー)×1.5ホース;Φ4(インナー)×1ホース; | Wシール、 | ||||||
| ア・サエル ; | Cシール | ||||||
| 重さ | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
