一般的な真空用語

今週は、真空技術をより深く理解できるよう、いくつかの一般的な真空用語のリストをまとめました。

1、真空度

真空中の気体の薄さの度合いで、通常「高真空」「低真空」で表されます。高い真空レベルは「良好な」真空レベルを意味し、低い真空レベルは「悪い」真空レベルを意味します。

2、真空ユニット

通常はTorr（トル）が単位として使われますが、近年国際的にはPa（Pa）が単位として使われています。

1 Torr = 1/760 atm = 1 mmHg 1 Torr = 133.322 Pa または 1 Pa = 7.5×10^-3トル。

3. 平均自由距離

不規則な熱運動におけるガス粒子の 2 回の連続衝突によって移動する平均距離。記号「λ」で表されます。

4、到達真空度

真空容器は完全に排気された後、到達真空と呼ばれる特定の真空レベルで安定します。通常、真空容器を12時間精製し、その後12時間排気し、最後の1時間を10分ごとに測定し、10回の平均値が到達真空値となります。

5. 流量

単位時間当たりに任意のセクションを流れるガスの量。「Q」で表され、Pa-L/s (Pa-L/s) または Torr-L/s (Torr-L/s) で表されます。

6、流れコンダクタンス

真空配管がガスを通過させる能力を示します。単位はリットル/秒 (L/s) です。定常状態では、パイプの流れコンダクタンスは、パイプの流れをパイプの両端間の圧力差で割ったものに等しくなります。これを表す記号は「U」です。

U = Q/(P2-P1)

7、ポンプ速度

特定の圧力と温度において、単位時間内にポンプ入口から送り出されるガスは、ポンピング速度またはポンピング速度と呼ばれます。つまり、Sp = Q / (P – P0)

8、戻り流量

ポンプが指定された条件に従って動作するとき、ポンプ入口の単位面積およびポンピングの反対方向の単位時間を通るポンプ液体の質量流量、その単位は g/(cm2-s) です。

9、コールドトラップ（水冷バッフル）

真空容器とポンプの間に設置され、ガスを吸着したり油蒸気を捕捉したりする装置。

10、ガスバラストバルブ

油封式メカニカル真空ポンプの圧縮室には小さな穴が開けられており、調整弁が取り付けられています。バルブが開いて吸気量が調整されると、ローターが一定の位置に回転し、この穴から空気が圧縮室に混合され、蒸気の大部分が凝縮せずにガスが混入しないように圧縮比を下げます。一緒にポンプから除外されます。

11、真空凍結乾燥

真空凍結乾燥、昇華乾燥とも呼ばれます。その原理は、材料を凍結させてその中に含まれる水分を氷にし、真空下で氷を昇華させて乾燥目的を達成することです。

12、真空乾燥

沸点が低いという特性を利用し、真空中で乾燥させる方法。

13、真空蒸着

真空環境下で材料を加熱し、真空蒸着または真空コーティングと呼ばれる基板上にメッキします。

14. 漏れ率

単位時間当たりに漏れ穴を通って流れる物質の分子の質量または数。当社の漏れ率の法定単位はPa・mです。³/秒。

15. 背景

それが置かれている環境によって生成される、より安定した放射線または音のレベルまたは量。

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