よくある質問、MFC について詳しく知る

マスフローコントローラー（MFC）は、ガスの質量流量の正確な測定と制御を提供します。

I. MFC と MFM の違いは何ですか?

マスフローメータ(MFM)はガス流量を正確に測定する機器の一種であり、その測定値は温度や圧力の変動による不正確さがなく、温度や圧力の補償を必要としません。マスフローコントローラ(MFC)は単なる測定器ではありません。質量流量計の機能がありますが、さらに重要なのは、ガス流量を自動的に制御できることです。つまり、ユーザーが必要に応じて流量を設定でき、MFC が自動的に流量を設定値で一定に保ちます。システム圧力 周囲温度の変動や変化によって設定値から逸脱することはありません。マスフローコントローラーは定常流量装置であり、手動で設定したり、コンピュータと接続して自動制御したりするガスの定常流量装置です。質量流量計は測定するだけで制御はしません。マスフローコントローラーには制御バルブがあり、ガス流量の測定と制御の両方が可能です。

II.どのような構造になっているのか、そして動作原理？

1、構造

2、動作原理

流れが吸気管に入るとき、流れの大部分は分流チャネルを通過し、その一部がセンサー内の毛細管に入ります。特殊な構造により、

ダイバータチャネルでは、ガス流の 2 つの部分は正比例する可能性があります。センサーは予熱されて加熱されており、内部の温度は吸気温度よりも高くなります。このとき、毛細管による熱伝達の原理と温度差熱量測定の原理により、ごく一部のガスの質量流量が測定されます。この方法で測定されたガスの流れは、温度と圧力の影響を無視できます。センサーで検出した流量計測信号は基板に入力され増幅されて出力され、MFMの機能が完成します。基板にPID閉ループ自動制御機能を追加し、センサーで計測した流量計測信号とユーザーが与えた設定信号を比較します。これにより、流量検出信号が設定信号と等しくなるように制御弁が制御され、ＭＦＣの機能が実現される。

Ⅲ．アプリケーションと機能。

MFCは、半導体およびIC製造、特殊材料科学、化学産業、石油産業、製薬産業、環境保護および真空システム研究などの分野で広く応用されています。代表的な用途には、拡散などのマイクロ電子プロセス装置が含まれます。 、酸化、エピタキシー、CVD、プラズマエッチング、スパッタリング、イオン注入。真空蒸着装置、光ファイバー溶解装置、マイクロ反応装置、ミキシング＆マッチングガスシステム、キャピラリー流量制御システム、ガスクロマトグラフ、その他分析機器。

MFC は、高精度、優れた再現性、素早い応答、ソフトスタート、優れた信頼性、幅広い動作圧力範囲 (高圧および真空状況でも良好な動作)、簡単で便利な操作、柔軟な設置、PC との接続による自動実行が可能です。ユーザーのシステムを制御します。

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