北京スーパー Q テクノロジー有限公司は、EV シリーズのオイル潤滑 600L、1200L、1600L 複合分子ポンプと 3600L タービン型分子ポンプを持っています。グリース潤滑の 300L、650L、1300L、2000L 複合分子ポンプ。この記事では、グリース潤滑化合物分子ポンプ EV-Z シリーズの特徴、設置方法、使用方法、メンテナンス方法を中心に説明します。
構造の特徴
EVシリーズグリース分子ポンプは、輸入された精密セラミックベアリング、ダイナミックバランスを介したポンプローター、安定性と信頼性の高い動作、モーターかご型三相モーター、グリース潤滑によるベアリング潤滑を採用しており、任意の方向に取り付けることができます。
インストールと使用
I. 到達圧力について
分子ポンプの「到達圧力」は、ISO国際規格「ターボ分子ポンプの性能試験方法」に基づき、ポンプ本体とテストカバーを完全ベーキング（48時間の乾燥・脱気）後、測定した最低圧力です。テストカバーを指定の位置にセットします。圧力値。実際の使用では、「限界圧力」の値は、構成された補助ポンプの作動圧力と有効ポンピング速度に関連します。より高い真空を獲得し、排気時間を短縮するには、より高性能の補助ポンプを選択することが非常に有益です。
さらに、分子ポンプの排気原理の特殊性により、ポンプの空気入口はできるだけ広くする必要があり、真空チャンバーから分子ポンプポートまでのガス経路はできるだけ回転しないようにする必要があります。分子ポンプの効率を最大限に発揮し、より高い到達真空度を保証します。
II.インストール
2.1 パッケージを開く
設置前に、輸送中に分子ポンプが損傷していないか確認してください。
方法は次のとおりです。分子ポンプの電源説明書を参照し、分子ポンプに正しく接続し、水を通す必要も真空にする必要もありません。分子ポンプを起動し、分子ポンプが動作しているかどうか、電源が入っているかどうかを確認します。異常音。異常がある場合は、停止スイッチを押してポンプを停止してください。注: 試運転中は電源周波数が 25Hz を超えないようにしてください。
2.2 高真空フランジの接続
分子ポンプの接続部は高真空フランジで吊り上げることも、ベースに固定することもできます。分子ポンプの高真空フランジが金属ベローズを介してシステムに接続されている場合、分子ポンプを固定する必要があります。
(フランジのシール面に傷がなく、シールリングにも何もないこと)
2.3 フォアライン真空接続
機械式ポンプがシャットダウン後にオイルを戻すのを防ぐために、フォアライン ポンプと分子ポンプの間に隔離およびベント バルブを取り付ける必要があります。
2.4 ガス充填装置の接続
クリーンな真空環境を実現するために、分子ポンプを停止した後、真空システム内を窒素または乾燥空気で満たすことができます。一般に、前段パイプラインにベント バルブを接続するか、高真空バルブを使用して高真空端でガスを排出します。
Ⅲ．冷却の接続
分子ポンプの動作中は、ベアリングの高速回転摩擦、ポンプ本体の発熱、モーターの温度上昇のため、ベアリングとモーターを冷却する必要があります。通常は空冷を使用し、周囲温度が38℃を超える場合は水冷を使用します。外径10mmの軟水パイプを分子ポンプの出入口に直接接続できます。純水循環水方式を採用しており、降水量の少ない水道水も使用可能です（水温28℃以下）。
偶発的な止水や水温の上昇により、分子ポンプ本体の温度センサーが作動し、直ちに電源が警報を発して出力を停止します。
予期せぬ水の停止または水温が高すぎる場合、分子ポンプが過熱により警報を発するまで、約 15 分間の間隔があります (具体的な時間は温度上昇率によって異なります)。
IV．ベーキング
到達圧力はポンプ内部および真空チャンバーを含む真空経路の清浄度によって決まります。最短時間で到達圧力を得るには、真空系と分子ポンプをベーキングする必要があります。ベーキングは分子ポンプを正常に作動させて実行する必要があります。
分子ポンプのベーキング温度は 80°C 未満である必要があり、ポンプポートに接続されている高真空フランジは 120°C を超えてはならず、真空システムのベーキング温度は通常 300°C 未満です。ダメージの。
ベーキング時間は、システムと分子ポンプの汚染度、および予想される限界作動圧力によって異なりますが、最小時間は 4 時間を下回ってはなりません。
10-4Paの真空度を得るには原理的にベーキングは必要ありません。10-5Paの真空を得るには、真空システム自体をベーキングするだけで十分です。超高真空を得るには、通常、真空システムと分子ポンプを同時にベーキングする必要があります。測定システムは完全にベークする必要があります。そうしないと、ガスの放出により測定データの精度に影響します。
V．手術
予真空が 15Pa 以上であることを確認し、RON キーを押して分子ポンプを開始し、使用後に STOP キーを押して停止します。注意！ソフトスタートキーは、初めて使用する場合、または長期間アイドル状態で使用した後の再使用時に使用する必要があります。ソフトスタート動作は次のとおりです。現在の段階の真空度が 15Pa よりも優れており、ソフトスタート キーが押されます。110 分後、分子ポンプは 550Hz の動作周波数に達します (550Hz は EV300Z 分子ポンプに対応し、400Hz は EV650Z、1300Z、2000 分子ポンプに対応します)。その後、ソフトスタート キーを押して (キーが上になっている)、ソフト スタート キーを押します。始める。
（分子ポンプの通常運転中は、持ち運び、移動、空気の充填は禁止です。）
VI．補修
6.1 ポンプの清掃
真空系のエア漏れや脱着速度が変わらず、長時間ベーキングしても真空性能が回復しない場合や、補助ポンプの油戻りがひどい場合には、ポンプの清掃が必要です。
（ポンプの修理や掃除が必要な場合は、専門の技術者による分解が必要です。訓練を受けずに分解した場合、その結果は自己責任となります。）
6.2 ベアリングの交換
ポンプはバランスを取る必要があるため、ユーザーによるベアリングの交換はできません。
6.3 衝撃保護
分子ポンプは高速回転する機械です。可動板と固定板の隙間は非常に小さく、過度の衝撃には耐えられません。移動キャリアと接触する移動キャリアの速度と加速度は制限される必要があります。さらに、分子ポンプの通常動作中の突然の大気体積の衝撃や外部の硬い物体の落下も、分子ポンプに重大な損傷を引き起こす可能性があります。
6.4 防振
通常、分子ポンプは厳密にテストされており、振動は非常に小さく、ポンプシステムに直接接続できます。高精度の機器アプリケーション (電子顕微鏡など) の場合は、機器への振動の影響を最小限に抑えるために防振装置を使用することをお勧めします。
6.5 強力な磁場シールド
回転するローターは磁界内に渦電流を生成し、これによりローターが加熱されます。アルミニウム材料は熱により強度が低下するため、磁場中での分子ポンプの適用はある程度制限されます。
6.6 電磁妨害
分子ポンプや周波数変換器などの特定の高周波機器は、周囲の環境に電磁干渉を引き起こす可能性があります。しかし、国際規格を満たす場合、分子ポンプの用途は制限されません。要件が満たされている場合は、対応する証明書も同時に発行される必要があります。
6.7 強力な放射能制限
ほとんどの材料、特に有機材料 (分子ポンプ オイル、シール リングなど) や半導体コンポーネントは、強い放射性環境でその特性が変化します。分子ポンプは105radの放射線強度に耐えることができます。耐放射線性材料の選択とモーター駆動電源の使用により、耐放射線強度を向上させることができます。トリチウムをポンプ輸送する場合、放射性元素トリチウムが大気中に漏れるのを防ぐために、分子ポンプ内のすべてのシールリングは金属材料で作られていなければなりません。
6.8 フォアラインポンプ
分子ポンプの性能曲線の高圧端では、入口圧力は約 200 Pa から 10-1 Pa の範囲で、3 桁にも及びます。気体分子の平均自由行程が小さくなり、ポンピング効果が低下し始めます。したがって、遷移ゾーンでは、補助ポンプの使用量が増えるほど、分子ポンプの排気速度が大きくなります。フォアライン ポンプは最低 3 L/S 以上である必要があります。
よくある障害とトラブルシューティング
EV-Zシリーズグリース潤滑複合分子ポンプは、多段の動・静タービンブレードを比較的高速回転させて空気の抽出を実現する機械式真空ポンプです。ターボ分子ポンプは、分子流領域での高い排気速度と高い圧縮比という特徴があり、拡散ポンプに比べて省エネであり、油や蒸気の汚染がありません。EVシリーズグリース潤滑複合分子ポンプは、中国最大の排気速度100口径の分子ポンプです。
この分子ポンプには選択性がなく、送り出されるガスに対するメモリー効果もありません。分子量の大きいガスの高い圧縮比により、コールドトラップやオイルバッフルなしでクリーンな高真空、超高真空が得られます。。エレクトロニクス、冶金、化学工業、科学研究、真空技術などのさまざまな分野で広く使用されています。
投稿時間: 2022 年 7 月 1 日