真空ビューポートとは何ですか?1 つの記事ですべてを読む

ビューポートは、真空チャンバーの壁に取り付けられた窓コンポーネントであり、紫外、可視、赤外などのさまざまな光や電磁波が透過します。真空用途では、多くの場合、窓を通して真空チャンバの内部を観察したり、光学テスト窓として使用したりする必要があります。クォーツ、コディアルホウケイ酸ガラス、サファイア、その他の貴重な材料を含む、真空システム用のガラスおよびコーティング材料の KF、ISO、CF フランジ付きウィンドウ。

真空装置のビューポートはシールの種類により着脱式と非着脱式に分けられます。

取り外し可能な接続タイプは、高真空システムおよび低真空システムに一般的に使用されます。低真空要件の場合は、ガラスパネルの代わりに透明なプレキシガラスパネルを使用できます。

超高真空システムでは非着脱式が一般的です。一般的には300℃～450℃の高温焼成に耐えることが要求されます。無酸素高導電性銅とガラスの不一致のシール、または脆弱なものとガラスの一致したシールが使用されています。

光を透過するビューポートには光学ガラスや石英ガラスが使用されます。以下は、光学ビューポートに一般的に使用されるマテリアルの一部です。

一部の高温または低温機器で使用されるビューポートの場合、シール構造の使用温度範囲も考慮する必要があります。

上記の石英ガラス ビューポートに加えて、ホウケイ酸ガラス ビューポート、サファイア ガラス ビューポート、K9 ガラス ビューポートも提供できます。