真空ポンプは、さまざまな方法で密閉空間内に真空を生成、改善、維持する装置です。真空ポンプは、機械的、物理的、化学的、または物理化学的方法を使用して、真空を得るためにポンプで汲み上げられる容器をポンピングするデバイスまたは機器として定義できます。真空アプリケーションの発展に伴い、排気量が毎秒数リットルから数十万、数百万リットルに及ぶ幅広い真空ポンプが開発されました。到達圧力 (到達真空度) は、低真空から 10 ～ 12 Pa を超える非常に高い真空までの範囲に及びます。
真空の分割
真空ポンプの分類
真空ポンプの動作原理によれば、真空ポンプは基本的に可変容積真空ポンプと運動量伝達ポンプの 2 種類に分類できます。可変容積型真空ポンプは、ポンプ室の容積の周期的な変化を利用して吸入と吐出を行い、排気を行う真空ポンプです。ガスはポンプ室から排出される前に圧縮されます。運動量移送ポンプ (分子真空ポンプ) は、高速回転羽根または高速ジェットを利用して運動量をガスまたはガス分子に伝達し、ガスがポンプ入口から出口まで連続的に移送されます。（別段落の紹介） 可変容量真空ポンプは、往復式、回転式（ロータリーベーン、スライドバルブ、液封、ルーツ式、スパイラル式、クローローター）、その他のタイプに分類されます。
各種真空ポンプの使用圧力範囲
投稿日時: 2022 年 11 月 2 日