高真空用手動アングルバルブ DN16~DN50
EVCDシリーズ 超高真空手動アングルバルブ DN6~DN50
モデル | EVGD-J(6~10)B(KF)S | EVGD-J16B(KF)S | EVGD-J25B(KF)S | EVGD-J40B(KF)S | EVGD-J50B(KF)S | |
圧力範囲 | Pa | 1x10-6Pa~1.2x105Pa(ベローズシール) | ||||
呼び内径 | mm | 6~10 | 16 | 25 | 40 | 50 |
リーク率 | Pa・L/s | ≤1.3x10-7 | ||||
最初のメンテナンスまでの耐用年数 | 時間 | 1000 000(ベローズシール)600 000(バイトンOリングシール) | ||||
加熱温度(弁体) | ℃ | ≤120 | ||||
開店・閉店時間 | s | 手動操作時間 | ||||
バルブの位置インジケーター | — | 機械的な指示 | ||||
設置方向 | — | どれでも | ||||
周囲温度 | ℃ | 5~40 |
EVGDシリーズ 高真空手動アングルバルブ DN63~DN160
モデル | EVGD-J63B(ISO-K)S | EVGD-J80B(ISO-K)S | EVGD-J100B(ISO-K)S | EVGD-J160B(ISO-K)S | |
圧力範囲 | Pa | 1x10-6Pa~1.2x105Pa(ベローズシール) 1x10-5Pa~1.2x105Pa(バイトンOリングシール) | |||
呼び内径 | mm | 63 | 80 | 100 | 150 |
リーク率 | Pa・L/s | ≤1.3x10-7 | |||
最初のメンテナンスまでの耐用年数 | 時間 | 200000 | |||
加熱温度(弁体) | ℃ | ≤120 | |||
開店・閉店時間 | s | 手動操作時間 | |||
バルブの位置インジケーター | — | 機械的な指示 | |||
設置方向 | — | どれでも | |||
周囲温度 | ℃ | 5~40 |
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