超高真空エアゲートバルブ CFフランジ
EVCCQシリーズ超高真空エアゲートバルブ
EVCCQ シリーズ超高真空プラグインバルブは、シリンダロッドの上下駆動によりバルブプレートを開閉します。
超高真空システムにおける空気の流れの遮断または接続に適したバルブです。合理的な構造設計、安定した動作、小型、信頼性の高い使用、優れたシール性能、長寿命という利点があります。
適切な作動媒体はクリーンエアおよび非腐食性ガスです。
EVCCQシリーズ超高真空空圧ゲートバルブの技術パラメータ
モデル | EVCCQ-63B(CF) | EVCCQ-80B(CF) | EVCCQ-100B(CF) | EVCCQ-160B(CF) | EVCCQ-200B(CF) | EVCCQ-250B(CF) | ||
圧力範囲 | Pa | 1.3x10-7~1.2x105 | ||||||
呼び内径 | mm | 63 | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 | |
リーク率 | Pa・L/s | 1.3x10-7 | ||||||
開く方向の圧力差 | Pa | 3000(任意) | ||||||
接続フランジ | — | CF、ISO-K、GB-LP、ISO-F | ||||||
最初のメンテナンスまでの耐用年数 | 回 | 10000 | ||||||
加熱温度(弁体) | ℃ | 閉じた状態≤120、開いた状態≤150 | ||||||
供給電圧 | V | 220±10 %(他の仕様もカスタマイズ可能) | ||||||
開店・閉店時間 | s | ≤ 6 | ||||||
圧縮空気 | MPa | 0.4~0.7 | 0.5~0.7 | |||||
バルブのポジションインジケーター | — | 磁気スイッチ | ||||||
設置方向 | — | どれでも | ||||||
周囲温度 | ℃ | 5~40 |
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