水冷油拡散ポンプ
KT高真空油拡散真空ポンプは主に高真空状態(10^-2~10^-5Pa)を得るために使用される装置です。ポンプ、バルブ、水冷バッフル、パイプ、機械式真空ポンプで真空ユニットを構成し、10^-2~10^-4の真空度が得られます。液体窒素などの冷却装置を使用できれば、ベーキングと同時に超高真空(10^-6pa)にすることができます。
ポンプ容量が大きく、ポンプ速度は480L/sから13000L/sの範囲で変更でき、観察窓、油入口と出口、およびポンプ油温度測定装置が追加されています。KTは延伸プロセスを採用し、溶接亀裂とガス発生を低減します。強度が増します。ヒーターは電熱線と電熱板の2種類からお選びいただけます。
アプリケーション
真空コーティングのハイテク分野(マルチアークイオンコーティング機、マグネトロンスパッタリングコーティング機、抵抗蒸着コーティング機、電子ビーム蒸着光学コーティング機、ローリング真空コーティング、連続真空コーティング機生産ラインなど)に広く使用されています。ラインコーティング生産ラインなど)、真空炉(真空はんだ付け/ろう付け炉、真空焼鈍炉、真空焼戻し炉、真空焼結炉、真空浸炭炉など)、電子、化学工業、冶金、航空、航空宇宙、材料、生物医学、原子力、宇宙探査機など
KTシリーズ高真空油拡散ポンプ主要技術性能パラメータ表
パラメータモデル | K-160T | K-200T | K-250T | K-300T | K-400T | K-500T | K-600T | K-800T | K-1000T | K-1200T |
到達真空度(Pa) | 5×10-5 | |||||||||
排気速度(1.3×10)-3~6.6×10-5Pa内対空)(L/S) | 800 | 1750年 | 2800 | 3500 | 7500 | 9000 | 16000 | 29000 | 46000 | 50000 |
加熱電力(KW) | 0.9~1.0 | 1.2~1.8 | 2 | 2~3 | 3~4 | 7.5 | 6~7 | 11~13 | 18~19 | 24 |
オイルマス(L) | 0.4~0.6 | 0.5~0.8 | 1.2 | 1.2~1.6 | 3~4 | 7 | 6~7 | 12~14 | 18~19 | 22 |
水使用量(L/h) | 200 | 300 | 350 | 400 | 600 | 700 | 800 | 1200 | 1500 | 2600 |
最大臨界圧力(Pa) | 40 | |||||||||
推奨背圧排気速度(L/S) | 8 | 15 | 20 | 30 | 60 | 70 | 120 | 240 | 350 | 350 |
入口径(mm) | Φ160 | Φ200 | Φ250 | Φ300 | Φ400 | Φ500 | Φ600 | Φ800 | Φ1000 | Φ1200 |
出口径(mm) | Φ50 | Φ65 | Φ65 | Φ80 | Φ100 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ200 | Φ300 |
KTシリーズ高真空油拡散ポンプ接続サイズ表
モデルサイズ | D | D1 | D2 | d | d1 | d2 | n1-ɸ1 | N2-ɸ2 | A | L | H |
K-160T | 160 | 200 | 225 | 50 | 90 | 110 | 8-ɸ12 | 4-ɸ9 | 220 | 185 | 420 |
K-200T | 200 | 250 | 275 | 65 | 105 | 125 | 8-ɸ12 | 4-ɸ9 | 250 | 200 | 640 |
K-250T | 250 | 300 | 330 | 65 | 105 | 125 | 8-ɸ14 | 4-ɸ9 | 280 | 250 | 650 |
K-300T | 300 | 350 | 380 | 80 | 125 | 145 | 8-ɸ14 | 4-ɸ9 | 330 | 280 | 720 |
K-400T | 400 | 465 | 500 | 100 | 145 | 170 | 8-ɸ18 | 4-ɸ12 | 440 | 380 | 1050 |
K-500T | 500 | 565 | 600 | 100 | 145 | 170 | 12-ɸ18 | 4-ɸ12 | 500 | 400 | 1000 |
K-600T | 600 | 670 | 710 | 150 | 195 | 220 | 12-ɸ21 | 8-ɸ12 | 660 | 600 | 1475年 |
K-800T | 800 | 880 | 920 | 200 | 250 | 275 | 20-ɸ21 | 8-ɸ12 | 880 | 820 | 1815年 |
K-1000T | 1000 | 1090 | 1140 | 250 | 300 | 330 | 24-ɸ23 | 8-ɸ14 | 1120 | 1195 | 2220 |
K-1200T | 1200 | 1310 | 1360 | 300 | 350 | 380 | 28-ɸ25 | 8-ɸ14 | 1120 | 1500 | 2764 |
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