ZJシリーズ ルーツ真空ポンプ

ZJシリーズ ルーツ真空ポンプ

このルーツ式真空ポンプシリーズは単独では使用できません。1.3×103～1.3×10-1 Pa以下の圧力の場合、前段真空ポンプの排気量を上げるために前段真空ポンプと直列に使用する必要があります。形状のロータ部とロータケーシングから構成されており、２つのロータは互いに接触することなく同期して逆方向に回転します。

ZJ シリーズ ルーツ真空ポンプは主に次の用途に適用されます。

PVDコーティング、マグネトロンスパッタリング、イオンプレーティング、光学コーティングなど。

単結晶炉、多結晶炉、焼結炉、焼鈍炉、焼入れ炉など;

真空乾燥、凍結乾燥、漏れ検知システム、ガス回収システム、液晶注入等。

冷蔵庫、家庭用エアコン、セントラルエアコン、バックライト自動排気ライン、排気装置などの真空産業。