Gedhe pumping kacepetan awet Low noise DRV rotary vane pump vakum pump
Pompa vakum seri DRV yaiku pompa vakum sing disegel minyak vane kaping pindho sing cocog kanggo aplikasi vakum sing kurang lan medium, utamane digunakake kanggo mbusak hawa lan gas garing liyane.Iku salah siji saka peralatan utama kanggo vakum kurang lan medium, bisa digunakake piyambak utawa minangka ngarep
pompa vakum liyane.
Pompa vakum nduweni karakteristik kinerja mlaku sing dipercaya, komponen sing kurang nganggo, getaran sing sithik, swara sing sithik lan efisiensi sing dhuwur.
Pompa vakum seri SV diimpor saka teknologi canggih manca, lan komponen utama yaiku komponen sing diimpor utawa diimpor.
bahan.Pompa vakum seri DRV bisa ngganti produk manca sing padha.
Brosur kanggo Produk Pompa Molekul EVFB Series
Model:
EVFB-100/301 Pompa molekul terintegrasi senyawa
EVFB-160/401 Pompa molekul terintegrasi senyawa
EVFB-160/450D Pompa molekul anti-getaran
Pompa molekuler terpadu EVFB-160/701
EVFB-200/1401 Pompa molekul terintegrasi senyawa
EVFB-250/2201 Pompa molekul terintegrasi senyawa
EVFB-160/701 Pompa molekuler senyawa
EVFB-200/1401 Pompa molekul senyawa
EVFB-250/2201 Pompa molekul senyawa
EVFB-400/3600 Turbo molekul pump
Pompa molekul EVFB-400/4500 Turbo
Ringkesan produk
Pompa molekuler minangka jinis pompa vakum transfer momentum puteran kacepetan dhuwur, sawetara tekanan kerja umume 10-1Pa ~ 10-7Pa, iku salah siji saka peralatan disualekno vakum penting kanggo entuk vakum dhuwur lan vakum Ultra-dhuwur.Pompa molekul duwe kaluwihan saka kacepetan wiwitan sing cepet, sawetara kerja sing amba, konsumsi daya sing sithik, kebersihan sing dhuwur lan pangopènan sing gampang.
Produk pompa molekuler sing diterangake ing buku sampel iki minangka produk generasi kapindho
mentas dibukak dening perusahaan, kang utamané dirancang lan optimized kanggo vakum industri lan lapangan riset ilmiah, kalebu seri pisanan produk pump molekul vakum industri karo pengontrol terpadu lan skenario aplikasi fleksibel.Miturut kaliber, ana utamané DN100, DN160, DN200, DN250 lan DN400 lan produk liyane.
Grease lubricated pompa molekul integral
Fitur utama saka seri produk iki:
（1） Pengontrol terintegrasi: Desain pengontrol terintegrasi，Nggampangake integrasi sistem，Sawijining stopkontak utama；
（2） Bantalan presisi: Bantalan bal keramik presisi pelumasan pelumas, Dipasang ing sembarang Sudut;
（3） linuwih dhuwur: rotor sakabèhé, teknologi nyopir BLDC;
（4） Keragaman fungsional: Aksesoris lengkap，Solusi khusus kasedhiya;
（5） Nyedhiyakake fungsi kacepetan sing bisa diatur，Kanggo nyukupi syarat macem-macem kecepatan pompa;
Seri produk iki utamané cocok kanggo PVD, CVD, piring kristal Cairan lan lapisan industri liyane;Spektrometri massa, fisika energi dhuwur, deteksi kebocoran vakum, obat lan teknik biologi lan bidang riset ilmiah liyane.
Spesifikasi Teknis Pompa Molekul
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(digawe khusus） | ||||
| ☑Ing vakum paramèter | |||||||
| Pompa kacepetan (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Pamungkas tekanan | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompresi rasio | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Tekanan Foreline Maksimum | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforelinepressuretolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑fisik paramèter | |||||||
| mlebu flange | DN100 ISO-K (LF) utawa CF | DN160 ISO-K (LF) utawa CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF utawa DN40KF (Opsional) | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Bobot | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Getaran | ≤0,05 μm | ||||||
| rame | ≤55 dB (pendingin udara standar) | ||||||
| bantalan | Lubricated bantalan werni keramik | ||||||
| operasi posisi | Sembarang | ||||||
| Oper.ambient Magnetik lapangan | ≤3 mT (Paling gedhe 10mT, kudu ngatur) | ||||||
| Oper.ambie nt | Aircooling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Watercooling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Keperluan banyu adhem | Suhu banyu: 15-30 ℃ ； tekanan: 0.15Mpa ； PH6 ~ 8 ， cetha, Bebas lenga ； aliran: ≥1L/min | ||||||
| Dianjurake pompa ngarep | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Pengontrol paramèter | |||||||
| Pengontrol | EVFB-II | ||||||
| Puteran kacepetan | 48000rp | 36000 rpm | |||||
| kurang kacepetan | 33600rp | 25200 rpm | |||||
| wiwitan wektu | ≤5min | ||||||
| Tegangan | 48VAC±2% | ||||||
| Komunikasi modus | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Ing vakum paramèter | |||||||
| Pamungkas tekanan (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pompa kacepetan (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompresi rasio | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Tekanan Foreline Maksimum (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress toleransi (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑fisik paramèter | |||||||
| mlebu flange | DN160 ISO-K (LF) utawa CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) utawa | ||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF utawa KF40 (Opsional) | DN40 ISO-KF utawa KF50 (Opsional) | |||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Dianjurake pompa ngarep (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Bobot(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Getaran | ≤ | ||||||
| Noise (dB) | ≤ | ||||||
| bantalan | Lubricated bantalan werni keramik | ||||||
| operasi posisi | Sembarang | ||||||
| Magnetik lapangan intensitas (mT) | ≤3（10mT paling gedhe，Perlu ngatur） | ||||||
| Oper.ambient suhu | hawa pendinginan | 5~35 ℃ | |||||
| banyu pendinginan | 5~40 ℃ | ||||||
| adhem banyu syarat | Suhu banyu: 15-25 ℃; tekanan: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, cetha, Bebas lenga aliran: ≥1.5L/min | ||||||
| ☑Pengontrol paramèter | |||||||
| Pengontrol | EVFB-III-A | ||||||
| Komunikasi modus | RS-485 | ||||||
| Tegangan(V） | 220 V AC ± 10% | ||||||
| Frekuensi(Hz） | 50/60±5% | ||||||
| maksimal mlebu daya(W） | 100 | ||||||
| Mulai / mandheg kontrol modus | Tombol controller kontrol miwiti lan mungkasi / RS485 controller miwiti lan mungkasi / DB15 Control miwiti lan mungkasi | ||||||
| Pangreksan | Kontrol overcurrent, overvoltage, undervoltage, proteksi overheating, overcurrent pompa molekuler, kakehan, proteksi overheating, lsp | ||||||
| Puteran kacepetan (r/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| kurang kacepetan (r/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| saiki(A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| pangayoman sekring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Wektu wiwitan(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Sakabèhé Dimensi
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
pesenan Informasi
| Nomer | produk model | produk kode | Aksesoris | dhawuhnomer | Nerangke |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standar pompa molekuler | A3123 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3123-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3123-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | A3123-C | Pompa standar + aksesoris tutup Purge (aliran cilik) + Komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing digawe adhem udara) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standar pompa molekuler | A3124 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3124-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3124-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | A3124-C | Pompa standar + aksesoris tutup Purge (aliran cilik) + Komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing digawe adhem udara) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standar pompa molekuler | A3127 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3127-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3127-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | A3127-C | Pompa standar + aksesoris tutup Purge (aliran cilik) + Komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing digawe adhem udara) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standar pompa molekuler | A3128 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3128-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3128-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup | A3128-C | Pompa standar + Purge valve |
| (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | aksesoris（aliran cilik）+ Komponen pendinginan banyu(Gantikomponen hawa adhem) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standar pompa molekuler | A3129 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3129-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3129-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | A3129-C | Pompa standar + aksesoris tutup Purge (aliran cilik) + Komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing digawe adhem udara) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standar pompa molekuler | A3130 | Pompa standar (pendingin udara minangka standar standar) |
| Purge aksesoris katup(aliran cilik) | A3130-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge (aliran cilik) | |||
| Komponen banyu-cooling | A3130-B | Pompa standar + komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing adhem hawa) | |||
| Purge aksesoris katup (aliran cilik), komponen pendinginan banyu | A3130-C | Pompa standar + aksesoris tutup Purge (aliran cilik) + Komponen pendinginan banyu (Ganti komponen sing digawe adhem udara) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standar pompa molekuler | A3139 | Pompa standar (Water coolingiku standar standar) |
| Purge aksesoris katup | A3139-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3139-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Aksesori katup resik,Komponen penggemar | A3139-C | Pompa standar + Purge valveaksesoris + komponen Fan | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standar pompa molekuler | A3140 | Pompa standar (Water coolingiku standar standar) |
| Purge aksesoris katup | A3140-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3140-B | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup resik,Komponen penggemar | A3140-C | Pompa standar + Purge valveaksesoris + komponen Fan | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standar pompa molekuler | A3135 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3135-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3135-B | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup resik, | A3135-C | Pompa standar + Purge valve |
| Komponen penggemar | aksesoris + komponen Fan | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standar pompa molekuler | A3136 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3136-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3136-B | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Purge aksesoris katup、 | A3136-C | Pompa standar + Purge valveaksesoris + komponen Fan | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standar pompa molekuler | A3141 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3141-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3141-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Purge aksesoris katup、Komponèn Fan | A3141-C | Pompa standar + Purge valveaksesoris + komponen Fan | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standar pompa molekuler | A3142 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3142-A | Pompa standar + Purge valveaksesoris | |||
| Komponen penggemar | A3142-B | Pompa standar + Kipas angin | |||
| Purge aksesoris katup、 | A3142-C | Pompa standar + Purge valveaksesoris + komponen Fan | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Kontrol pompa molekuler (Cocok kanggo pompa molekuler kayata EVFB- 100/301, EVFB- 160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Kontrol pompa molekuler（ Cocog kanggo pompa molekuler kayata EVFB- 160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201) |
Pompa molekul senyawa sing dipisahake
Fitur utama saka seri produk iki:
（1） Kontroler sing dipisahake: sumber daya AC220V, tombol wiwitan-mandeg;
（2） Reliabilitas dhuwur: rotor sakabèhé, teknologi nyopir BLDC;
（3） bantalan presisi: bantalan bal keramik presisi，Dipasang ing sembarang Sudut（Model sing dilumasi mung grease）；
（4） Keragaman fungsional: Aksesoris lengkap，Solusi khusus kasedhiya;
（5） Nyedhiyakake fungsi kacepetan sing bisa diatur，Kanggo nyukupi syarat macem-macem kecepatan pompa; Seri produk iki utamane ditrapake kanggo PVD, CVD, piring kristal cair lan liya-liyane.
lapisan industri, riset ilmiah lan lapangan liyane.
Parameter teknis pompa molekuler
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Ing vakum paramèter | ||||||||||
| Tekanan Ultimate (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pompa kacepetan (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Rasio kompresi | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | > 1x108 | > 6x102 | > 1x108 | > 8x103 |
| maksimal terus-terusan mlebutekanan (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| maksimalterus-terusan Foreline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑fisik paramèter | ||||||||||
| mlebu flange | DN160 ISO-K (LF) utawa CF | DN200 ISO-K (LF) utawa CF | DN250 ISO-K (LF) utawa CF | DN400 ISO-K (LF) utawa CF | DN400 ISO-K (LF) utawa CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF,KF40 (Opsional) | DN40 ISO-KF, KF50 (Opsional) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)orKF50 (Opsional) | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Dianjurake | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Bobot(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Getaran | ≤ 0,05 | ≤ 0.3 | ||||
| rame (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| bantalan | Lubricated bantalan werni keramik | Bantalan werni keramik | ||||
| operasi posisi | Sembarang | Vertikal ± 5° | ||||
| Oper.Ambient Medan magnet | ≤ 3mT (Paling gedhe 10mT, kudu ngatur) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.sekitar suhu | hawa pendinginan | 5~35oC | / | / | ||
| Watercooling | 5~40oC | |||||
| adhem banyu syarat | Suhu banyu: 15-25 ℃; pra-pasti: 0.15Mpa; aliran: ≥1.5L/min | aliran: ≥ 3L / min | ||||
| ☑Pengontrol paramèter | ||||||
| Pisahan pengontrol | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| remot kontrol | Kontrol ultra-jarak （mangga takon karo insinyur kita） | |||||
| Komunikasi modus | RS-485 | |||||
| Tegangan(V） | Saka 100 nganti 240VAC (± | 220VAC (± 10%) | ||||
| Frekuensi(Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Daya maksimal(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Mulai / mandheg kontrol modus | Tombol controller kontrol miwiti lan mungkasi / RS485 controller miwiti lan mungkasi / DB15 Control miwiti lan mungkasi | |||||
| Pangreksan | Kontrol overcurrent, overvoltage, undervoltage, proteksi overheating, overcurrent pompa molekuler,kakehan, pangayoman overheating, etc | |||||
| Puteran kacepetan (r/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| kurang kacepetan (r/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| saiki(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| pangayoman sekring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| wiwitan wektu(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. sekitar kahanan | Ora ana gas korosif lan partikel bledug sing jelas ； suhu lingkungan: -10 ℃ ~ 50 ℃ ； lingkunganKelembapan: ≤ 90%, intensitas geter: ≤ 0,5g | |||||
0 Ukuran Umum
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 Turbomolecular pump dimensi
EVFB-400/4500 Turbomolecular pump dimensi
Katon saka controller kapisah
EVFB-III-B (2U) pengontrol sing dipisahake
EVFB-VI (4U) pengontrol sing dipisahake
dhawuh Informasi
| nomer | produk model | produk kode | Aksesoris | dhawuh nomer | Nerangke |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Pompa molekul standar | A3139-F | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3139-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3139-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup purge, komponen kipas | A3139-FC | Pompa standar + aksesoris tutup Purge + Komponen kipas | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standar pompa molekuler | A3140-F | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3140-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3140-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup purge, komponen kipas | A3140-FC | Pompa standar + aksesoris tutup Purge + Komponen kipas | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standar pompa molekuler | A3135-F | Pompa standar (Water cooling yaiku standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3135-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3135-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup purge, komponen kipas | A3135-FC | Pompa standar + aksesoris tutup Purge + Komponen kipas | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standar pompa molekuler | A3136-F | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3136-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3136-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup purge, komponen kipas | A3136-FC | Pompa standar + aksesoris tutup Purge + Komponen kipas | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standar pompa molekuler | A3141-F | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3141-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3141-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Aksesori katup purge, komponen kipas | A3141-FC | Pompa standar + aksesoris tutup Purge + Komponen kipas | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standar pompa molekuler | A3142-F | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3142-FA | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
| Komponen penggemar | A3142-FB | Komponen pompa + Fan standar | |||
| Purge aksesoris katup | A3142-FC | Pompa standar + Purge valve |
| Komponen penggemar | aksesoris + komponen Fan | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standar pompa molekuler | A3187 | Pompa standar (Water cooling iku standar standar) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standar pompa molekuler | A3188 | Pompa standar (Water cooling iku standar standar) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standar pompa molekuler | A3185 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3185-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standar pompa molekuler | A3186 | Pompa standar (Water cooling standar kanthi standar) |
| Purge aksesoris katup | A3186-A | Pompa standar + aksesoris katup Purge | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Panel sing dioperasikake tangan |
A3261-1 | Pelanggan opsional, Cocog kanggo pompa molekuler kayata EVFB- 160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Kontrol kapisah (4U) | A3270 | Cocog kanggo pompa molekul Turbo kayata EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Kontrol kapisah (2U) | A3264 | Cocog kanggo pompa molekuler kayata EVFB-160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201 (jinis kapisah) |
