I. Pambuka katup
Katup vakum minangka komponen sistem vakum sing digunakake kanggo ngganti arah aliran udara, nyetel ukuran aliran gas, motong utawa nyambungake pipa ing sistem vakum.Bagian nutup tutup vakum disegel dening segel karet utawa segel logam.
II.Aplikasi katup vakum umum.
klep vakum
Digunakake ing peralatan sistem vakum dhuwur utawa Ultra-dhuwur nalika vakum kudu maintained ing sistem nangani vakum tertutup.Klep vakum digunakake kanggo ngontrol aliran udara menyang kamar vakum, isolasi, ventilasi, nyedhiyakake pengurangan tekanan utawa konduksi kontrol.Klep gerbang, klep Inline lan klep sudut minangka jinis klep vakum sing paling umum digunakake kanggo aplikasi vakum sing dhuwur utawa dhuwur.Jinis katup tambahan kalebu katup kupu-kupu, katup transfer, katup bal, katup pendulum, katup kabeh logam, katup vakum, katup sudut aluminium, katup vakum sing dilapisi Teflon lan katup lurus.
Klep kupu
iku klep mbukak cepet sing kasusun saka cakram logam utawa vanes sing poros ing ngarepke tengen menyang arah aliran ing pipo lan nalika diputer ing sumbu sing, tutup tutup jog ing awak tutup.
Katup transfer (katup gerbang persegi panjang)
Katup pemisahan sing cocog kanggo digunakake ing antarane ruang vakum sing dikunci lan kamar transfer, lan ing antarane kamar transfer lan kamar pangolahan ing peralatan manufaktur semikonduktor.
Katup Bola Vakum
yaiku klep aliran seprapat giliran kanthi papan tutup bunder kanthi kursi bunder sing cocog kanggo stres sealing seragam.
Klep pendulum
yaiku katup throttle gedhe sing dipasang ing antarane ruang vakum proses lan inlet pompa turbomolekul.Katup pendulum vakum iki biasane dirancang minangka katup gerbang utawa pendulum kanggo aplikasi kalebu sistem manufaktur industri OLED, FPD lan PV.
klep kabeh-logam
Dirancang kanggo digunakake ing lingkungan vakum ultra-dhuwur ing ngendi suhu dhuwur ora ngidini nggunakake elastomer lan logam gasket cryogenic.Klep kabeh-logam sing bisa dibakar nyedhiyakake sealing suhu dhuwur sing dipercaya saka tekanan atmosfer nganti ngisor 10-11 mbar.
klep vakum
Makarya kanthi andal ing sistem produksi semikonduktor lan ing aplikasi kanthi kontaminasi kimia lan partikel.Bisa digunakake ing vakum kasar, vakum dhuwur utawa lingkungan vakum ultra-dhuwur.
Katup sudut aluminium
Inlet lan outlet katup kasebut ana ing sudut sing tepat.Klep sudut iki digawe saka aluminium A6061-T6 lan digunakake ing manufaktur semikonduktor lan instrumentasi, R&D lan sistem vakum industri kanggo aplikasi vakum sing atos nganti dhuwur.
Katup vakum sing dilapisi Teflon minangka piranti komponen vakum stainless steel sing direkayasa kanthi lapisan tahan lama lan tahan kimia.
III.Karakteristik katup vakum.
Tekanan ing ngisor tekanan atmosfer lan penurunan tekanan ing tutup tutup ora bisa ngluwihi 1 kg gaya / cm.Suhu kerja medium gumantung saka proses piranti sing digunakake.Suhu umume ora ngluwihi kisaran -70 ~ 150 ° C.Requirements paling dhasar kanggo klep kuwi kanggo mesthekake tingkat dhuwur saka tightness sambungan lan Kapadhetan saka struktur lan materi gasket.
Miturut klep vakum tekanan medium bisa dipérang dadi papat klompok.
1) Katup vakum rendah: tekanan medium p=760~1 mmHg.
2) Katup vakum medium: p=1×10-3 mmHg.
3) Katup vakum dhuwur: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Katup vakum ultra-dhuwur: p≤1×10-8 mmHg.
Minangka tutup sirkuit tertutup kanthi diameter kurang saka 250 mm, batang sing akeh digunakake yaiku tutup tutup vakum kanthi gerakan linear.Gate klep, Nanging, luwih diwatesi, nanging iki utamané kanggo diameteripun gedhe.Kasedhiya uga klep plug bundher (klep bal), klep plunger lan klep kupu.Katup plug kanggo katup vakum durung dipromosekake amarga mbutuhake pelumasan lenga, saéngga uap lenga bisa mlebu ing sistem vakum, sing ora diidini.Katup vakum bisa dikontrol kanthi manual lan adoh ing lapangan, uga kanthi listrik, elektromagnetik (katup solenoid), pneumatik lan hidrolik.
Wektu kirim: Aug-11-2022