Pompa sing umum digunakake ing sistem vakum ultra-dhuwur

I. Pompa mekanik
Fungsi utama pompa mekanik yaiku nyedhiyakake vakum pra-tataran sing dibutuhake kanggo wiwitan pompa turbomolekul.Pompa mekanik sing umum digunakake kalebu pompa garing vortex, pompa diafragma lan pompa mekanik sing disegel minyak.
Pompa diaphragm duwe kecepatan pompa sing sithik lan umume digunakake kanggo set pompa molekul cilik amarga ukurane cilik.
Pompa mekanik sing disegel minyak yaiku pompa mekanik sing paling akeh digunakake ing jaman kepungkur, ditondoi kanthi kecepatan pompa sing gedhe lan vakum sing apik, kekurangane yaiku anane umum bali minyak, ing sistem vakum ultra-dhuwur umume kudu dilengkapi tutup solenoid. (kanggo nyegah gagal daya sengaja disebabake bali lenga) lan sieve molekul (efek adsorpsi).
Ing taun-taun pungkasan, sing luwih akeh digunakake yaiku pompa gulung garing. Kauntungan kasebut gampang digunakake lan ora bali menyang lenga, mung kacepetan pompa lan vakum sing paling elek tinimbang pompa mekanik sing disegel minyak.
Pompa mekanik minangka sumber utama gangguan lan geter ing laboratorium lan luwih becik milih pompa swara sing sithik lan dilebokake ing antarane peralatan, nanging sing terakhir asring ora gampang digayuh amarga watesan jarak kerja.
II.Pompa turbomolekul
Pompa molekul turbo gumantung ing baling-baling puteran kanthi kacepetan dhuwur (biasane udakara 1000 putaran saben menit) kanggo entuk aliran gas arah.Rasio tekanan exhaust pompa menyang tekanan inlet diarani rasio kompresi.Rasio komprèsi ana hubungane karo jumlah tahapan pompa, kacepetan lan jinis gas, bobot molekul umum kompresi gas relatif dhuwur.Vakum pokok saka pump turbomolecular umume dianggep 10-9-10-10 mbar, lan ing taun anyar, karo kemajuan terus teknologi pump molekul, vakum pokok wis luwih apik.
Minangka kaluwihan saka pump turbomolecular mung temen maujud ing negara aliran molekul (negara aliran kang rata-rata free sawetara molekul gas luwih gedhe saka ukuran maksimum saka saluran salib-bagean), pump vakum pra-tataran. kanthi tekanan operasi 1 nganti 10-2 Pa dibutuhake.Amarga kacepetan rotasi dhuwur saka vanes, pump molekul bisa rusak utawa numpes dening obyek manca, jitter, impact, résonansi utawa kejut gas.Kanggo pamula, penyebab kerusakan sing paling umum yaiku kejut gas sing disebabake kesalahan operasi.Kerusakan pompa molekul uga bisa disebabake dening resonansi sing dipicu dening pompa mekanik.Kondisi iki relatif langka nanging mbutuhake perhatian khusus amarga luwih insidious lan ora gampang dideteksi.

III.Pompa ion sputtering
Prinsip kerja pompa ion sputtering yaiku nggunakake ion sing diasilake saka pelepasan Penning kanggo ngebom piring titanium katoda kanggo mbentuk film titanium seger, saéngga nyerep gas aktif lan duwe efek penguburan tartamtu ing gas inert. .Kauntungan saka pompa ion sputtering yaiku vakum pokok sing apik, ora ana geter, ora ana swara, ora ana polusi, proses sing diwasa lan stabil, ora ana pangopènan lan kanthi kecepatan pompa sing padha (kajaba kanggo gas inert), biaya luwih murah tinimbang pompa molekul, kang ndadekake wong arang banget digunakake ing sistem vakum Ultra-dhuwur.Biasane siklus operasi normal pompa ion sputtering luwih saka 10 taun.
Pumps Ion umume kudu ndhuwur 10-7 mbar kanggo bisa mlaku (makarya ing vakum elek Ngartekno nyuda umur) lan mila mbutuhake pump molekul nyetel kanggo nyedhiyani vakum pra-tataran apik.Praktek umum nggunakake pompa ion + TSP ing kamar utama lan pompa molekul cilik sing disetel ing kamar mlebu.Nalika manggang, bukak tutup insert sing disambungake lan supaya set pompa molekul cilik nyedhiyakake vakum ngarep.
Perlu dicathet yen pompa ion kurang bisa nyerep gas inert lan kecepatan pompa maksimal beda karo pompa molekul, saengga kanggo volume outgassing gedhe utawa jumlah gas inert sing akeh, pompa molekuler dibutuhake.Kajaba iku, pompa ion ngasilake medan elektromagnetik sajrone operasi, sing bisa ngganggu sistem sing sensitif.
IV.Pompa sublimasi titanium
Pompa sublimasi titanium dianggo kanthi ngandelake penguapan titanium metalik kanggo mbentuk film titanium ing tembok kamar kanggo chemisorption.Kauntungan saka pompa sublimasi titanium yaiku konstruksi sing gampang, biaya murah, perawatan gampang, ora ana radiasi lan ora ana swara geter.
Pompa sublimasi titanium biasane kasusun saka 3 filamen titanium (kanggo nyegah kobong) lan digunakake ing kombinasi karo pompa molekul utawa ion kanggo nyedhiyakake penghapusan hidrogen sing apik.Iki minangka pompa vakum sing paling penting ing kisaran 10-9-10-11 mbar lan dipasang ing kamar vakum sing paling dhuwur ing ngendi tingkat vakum sing dhuwur dibutuhake.
Kerugian pompa sublimasi titanium yaiku perlu kanggo sputtering titanium biasa, vakum deteriorate kira-kira 1-2 pesenan magnitudo nalika sputtering (ing sawetara menit), mulane kamar tartamtu kanthi kabutuhan khusus mbutuhake NEG.uga, kanggo sampel sensitif titanium / piranti, care kudu dijupuk supaya lokasi pump sublimation titanium.
V. Pompa cryogenic
Pumps cryogenic utamané gumantung ing adsorption fisik suhu kurang kanggo njupuk vakum, karo kaluwihan saka kacepetan pumping dhuwur, ora polusi lan vakum pokok dhuwur.Faktor utama sing mengaruhi kacepetan pompa kriogenik yaiku suhu lan area permukaan pompa.Ing sistem epitaksi balok molekul gedhe, pompa cryogenic digunakake kanthi akeh amarga syarat vakum paling dhuwur.
Kerugian pompa cryogenic yaiku konsumsi nitrogen cair sing dhuwur lan biaya operasi sing dhuwur.Sistem karo chillers recirculating bisa digunakake tanpa nggunakake nitrogen Cairan, nanging iki ndadekke karo masalah konsumsi energi, geter lan gangguan.Mulane, pompa cryogenic kurang umum digunakake ing peralatan laboratorium konvensional.
VI.Pompa Aspirator (NEG)
Pompa agen nyedhot minangka salah sawijining pompa vakum sing luwih akeh digunakake ing taun-taun pungkasan, kauntungan kasebut yaiku panggunaan lengkap adsorpsi kimia, ora ana plating uap lan polusi elektromagnetik, asring digunakake bebarengan karo pompa molekul kanggo ngganti pompa sublimasi titanium lan ion sputtering. pumps, kerugian punika biaya dhuwur lan nomer winates saka regenerasi, biasane digunakake ing sistem karo syarat dhuwur kanggo stabilitas vakum utawa Highly sensitif kanggo kothak elektromagnetik.
Kajaba iku, minangka pump aspirator ora mbutuhake sambungan sumber daya tambahan ngluwihi aktifitas dhisikan, iku uga asring digunakake ing sistem gedhe minangka pump tambahan kanggo nambah kacepetan pumping lan nambah tingkat vakum, kang bisa èfèktif menakake sistem.

Gambar: Tekanan kerja kanggo macem-macem jinis pompa.Panah coklat nuduhake kisaran tekanan operasi maksimum sing diidini lan bagean ijo sing kandel nuduhake kisaran tekanan kerja sing umum.