მასის ნაკადის კონტროლერი მასის ნაკადის მრიცხველი CS200
მახასიათებლები
1. მაღალი სიზუსტე და სწრაფი რეაგირება
CS200 MFC-ის სიზუსტე გაუმჯობესებულია SP-ის ±1,0%-მდე და ყველაზე მოწინავე მოდელებს აქვთ შემცირებული რეაგირების დრო 0,8 წმ-ზე ნაკლები.
2. დაბალი ნულოვანი დრიფტი და ტემპერატურის კოეფიციენტი
ახალი სენსორული ტექნოლოგიის გამოგონება საშუალებას აძლევს CS200 MFC-ს შეინარჩუნოს სტაბილურობა და გაუძლოს ტემპერატურის რყევებს.ავტომატური ნულოვანი გამაძლიერებლის გარეშე, მოსალოდნელი ნულოვანი დრიფტი არის 0,6%FS/წელზე ნაკლები, ხოლო ტემპერატურის კოეფიციენტი ნაკლებია 0,02%FS/℃(ნულოვანი),0,05%FS/℃ (სპანი).
3. ლითონის დალუქული მოდელები და მაღალი სისუფთავის ფუნქცია
სველი ნაკადის ბილიკი CS200 MFC-ის ხაზით აგებულია ზედაპირზე პასივირებული უჟანგავი ფოლადისგან.ყველა CS200 MFC აწყობილია Sevenstar-ის ულტრა სუფთა 100 კლასის სუფთა ოთახებში, როგორც SEMI, ასევე ISO 9001 სტანდარტების შესაბამისად.
4. თავსებადი ინტერფეისები
CS200 MFC თავსებადია შემდეგ ინტერფეისებთან, რომლებიც შეიძლება შერჩეული იყოს მომხმარებლის მიერ: ±8V-±16V ორმაგი დენის წყარო და +14V-+28V ერთჯერადი დენის წყარო;ციფრული ან ანალოგური სიგნალის შეყვანა და გამომავალი;SEMI სტანდარტული მექანიკური ზომები;და RS-485 ან DeviceNet საკომუნიკაციო მოდული.
5. სხვადასხვა ფუნქციები
მომხმარებელთა მძლავრი პროგრამული უზრუნველყოფა სტანდარტად მოდის თითოეულ მოდელთან ერთად, ხოლო დამატებითი ფუნქციები, როგორიცაა მრავალგაზი, მრავალ დიაპაზონი, ავტომატური ნულოვანი, სიგნალიზაცია, რბილი დაწყება და დაყოვნება ხელმისაწვდომია მომხმარებლის შერჩევის სახით.
სპეციფიკაცია
| CS200 | |||||||
| ტიპი | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| სრული მასშტაბის დიაპაზონი (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| სიზუსტე | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| წრფივობა | ±0.5% FS | ||||||
| განმეორებადობა | ±0.2% FS | ||||||
| Რეაგირების დრო | ≤1წმ | ≤0,8 წმ (SEMI E17-0600) | |||||
| სარქვლის დასვენების პოზიცია | ჩვეულებრივ დახურულია ან | სარქველი არ არის | ჩვეულებრივ დახურულია ან | სარქველი არ არის | ჩვეულებრივ დახურულია ან | სარქველი არ არის | |
| ჩვეულებრივ ღია (100 sccm≤FS≤5 slm) | ჩვეულებრივ ღია (100 sccm≤FS≤5 slm) | ჩვეულებრივ ღია (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| დიფერენციალური წნევა | 0.05-0.35 MPa (ნაკადი≤10 slm) | ＜0.02 MPa | (0.05-0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02 MPa | (0.05-0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02 MPa | |
| 0.1-0.35MPa (10slm＜flow≤30slm) | (0.1-0.35) მპა ((10 slm) | (0.1-0.35) მპა ((10 slm) | |||||
| 0.2-0.45 MPa (ნაკადი) 30 slm) | |||||||
| მაქსიმალური საოპერაციო წნევა | 0.45 MPa | |||||
| ტემპერატურა | ნული:≤±0.05% FS/℃; | ნული:≤±0.02% FS/℃;დიაპაზონი:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| კოეფიციენტი | დიაპაზონი: ≤±0.1% FS/℃ (ნაკადი≤30 slm) | |||||
| დიაპაზონი: ≤±0.2% FS/℃ (ნაკადი> 30 slm) | ||||||
| მტკიცებულების წნევა | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| ნულოვანი დრიფტი | ＜0.6%FS წელიწადში ავტოზეროს გარეშე | |||||
| გაჟონვის მთლიანობა | 1×10-9 atm·cc / წმ He | 1×10-10atm·cc / წმ He | ||||
| დასველებული მასალები | ვიტონი; | მეტალი? (უჟანგავი ფოლადი V/V, 5Ra) | მეტალი | |||
| ზედაპირის ქიმია | --- | Cr/Fe თანაფარდობა ＞2.0;CrO სისქე - 20 ანგსტრომი | ||||
| ზედაპირის დასრულება | 25 რა | 10 რა | 25 რა | |||
| ოპერაციული ტემპერატურა | (5-45）℃ | (0,50）℃ | ||||
| შეყვანის სიგნალი | ციფრული: RS485 ან ProfiBus | N/A | ციფრული: RS485 ან ProfiBus ან DeviceNetTM | N/A | ციფრული: RS485 ან ProfiBus ან DeviceNetTM | N/A |
| ან DeviceNetTM | ანალოგი: (0-5)VDC ან (4-20)mA ან (0-20)mA | ანალოგი: (0-5)VDC ან (4-20)mA?ან (0-20)mA | |||||
| ანალოგი: (0-5)VDC ან (4-20)mA ან (0-20)mA | |||||||
| გამომავალი სიგნალი | ციფრული: RS485 ან DeviceNetTM ან ProfiBus ანალოგური: (0~5)VDC ან (4~20)mA ან (0~20)mA | ||||||
| Ენერგიის წყარო | ±8 ~ ± 16 VDC ან +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| ელექტრონული კონექტორი | 9 პინი მამრობითი sub-D, 15 პინი მამრობითი sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, ანალოგური | ||||||
| ფიტინგები | VCR1/4" M; VCO1/4" M； | VCR1/4" M; | |||||
| შეკუმშვის ფიტინგΦ10; შეკუმშვის ფიტინგΦ6； | შეკუმშვის ფიტინგ Φ6, | ||||||
| შეკუმშვის ფიტინგი 3/8”;შეკუმშვის ფიტინგი 1/4"; | შეკუმშვის ფიტინგΦ3, | ||||||
| შეკუმშვის ფიტინგი 1/8”;შეკუმშვის ფიტინგΦ3; | შეკუმშვის მორგება 1/4"; | ||||||
| Ф6(შიდა)×1შლანგი;ф5(შიდა)×1.5შლანგი;ф4(შიდა)×1შლანგი; | W-seal, | ||||||
| ა-საელი ; | C- ბეჭედი | ||||||
| წონა | 1 კგ | 0.8 კგ | 1.2 კგ | 1 კგ | 1.2 კგ | 1 კგ | |
