მასის ნაკადის კონტროლერები (MFC) უზრუნველყოფს გაზების მასის ნაკადის ზუსტ გაზომვას და კონტროლს.
I. რა განსხვავებაა MFC-სა და MFM-ს შორის?
მასის ნაკადის მრიცხველი (MFM) არის ერთგვარი ინსტრუმენტი, რომელიც ზუსტად ზომავს გაზის ნაკადს და მისი გაზომვის მნიშვნელობა არ არის არასწორი ტემპერატურის ან წნევის რყევების გამო და არ საჭიროებს ტემპერატურისა და წნევის კომპენსაციას. მასის ნაკადის კონტროლერი (MFC) არა მხოლოდ აქვს მასობრივი ნაკადის მრიცხველის ფუნქცია, მაგრამ რაც მთავარია, მას შეუძლია ავტომატურად აკონტროლოს გაზის ნაკადი, ანუ მომხმარებელს შეუძლია დააყენოს ნაკადი მათი საჭიროებების შესაბამისად, ხოლო MFC ავტომატურად ინარჩუნებს ნაკადს დადგენილ მნიშვნელობაზე, მაშინაც კი, თუ სისტემის წნევა გარემოს ტემპერატურის მერყეობა ან ცვლილება არ გამოიწვევს მის დაყენებული მნიშვნელობიდან გადახვევას.მასის ნაკადის კონტროლერი არის სტაბილური ნაკადის მოწყობილობა, რომელიც არის გაზის მუდმივი ნაკადის მოწყობილობა, რომელიც შეიძლება ხელით დაყენდეს ან ავტომატურად კონტროლდებოდეს კომპიუტერთან კავშირით.მასობრივი ნაკადის მრიცხველები მხოლოდ ზომავენ, მაგრამ არ აკონტროლებენ.მასის ნაკადის კონტროლერს აქვს საკონტროლო სარქველი, რომელსაც შეუძლია გაზომოს და გააკონტროლოს გაზის ნაკადი.
II.როგორია სტრუქტურა დაოპერაციის პრინციპი?
1, სტრუქტურა
2, ოპერაციის პრინციპი
როდესაც ნაკადი შედის მიმღების მილში, ნაკადის უმეტესი ნაწილი გადის დივერტერის არხში, რომლის მცირე ნაწილი შედის კაპილარულ მილში სენსორის შიგნით.განსაკუთრებული სტრუქტურის გამო
გადამყვანის არხი, გაზის ნაკადის ორი ნაწილი შეიძლება იყოს პირდაპირპროპორციული.სენსორი წინასწარ თბება და თბება, ხოლო შიგნით ტემპერატურა უფრო მაღალია, ვიდრე შესასვლელი ჰაერის ტემპერატურა.ამ დროს გაზის მცირე ნაწილის მასობრივი ნაკადი იზომება კაპილარული მილით სითბოს გადაცემის პრინციპით და ტემპერატურის სხვაობის კალორიმეტრიით.ამ გზით გაზომილი გაზის ნაკადი შეიძლება იგნორირება გაუკეთოს ტემპერატურისა და წნევის გავლენას.სენსორის მიერ აღმოჩენილი ნაკადის საზომი სიგნალი შეყვანილია მიკროსქემის დაფაზე და გაძლიერებულია და გამოდის, და MFM-ის ფუნქცია დასრულებულია.მიკროსქემის დაფაზე PID დახურული მარყუჟის ავტომატური მართვის ფუნქციის დამატება, სენსორის მიერ გაზომილი ნაკადის გაზომვის სიგნალი შეადარეთ მომხმარებლის მიერ მითითებულ სიგნალს.ამის საფუძველზე საკონტროლო სარქველი კონტროლდება ისე, რომ ნაკადის გამოვლენის სიგნალი უტოლდება დაყენებულ სიგნალს, რითაც რეალიზდება MFC-ის ფუნქცია.
III.აპლიკაციები და მახასიათებლები.
MFC, რომელიც ფართოდ გამოიყენება ისეთ სფეროებში, როგორიცაა: ნახევარგამტარების და IC დამზადება, სპეციალური მასალების მეცნიერება, ქიმიური მრეწველობა, ნავთობის მრეწველობა, ფარმაცევტული ინდუსტრია, გარემოს დაცვა და ვაკუუმური სისტემების კვლევა და ა. , დაჟანგვა, ეპიტაქსია, CVD, პლაზმური ჭურვი, სპტერინგი, იონის იმპლანტაცია;ვაკუუმური დეპონირების მოწყობილობა, ოპტიკური ბოჭკოების დნობა, მიკრორეაქციის მოწყობილობა, შერევის და შესატყვისი გაზის სისტემა, კაპილარული ნაკადის კონტროლის სისტემა, გაზის ქრომატოგრაფი და სხვა ანალიტიკური ინსტრუმენტები.
MFC-ს აქვს მაღალი სიზუსტე, შესანიშნავი განმეორებადობა, სწრაფი რეაგირება, რბილი დაწყება, უკეთესი საიმედოობა, ოპერაციული წნევის ფართო დიაპაზონი (კარგი მუშაობა მაღალი წნევის და ვაკუუმის სიტუაციებში), მარტივი მოსახერხებელი ოპერაცია, მოქნილი ინსტალაცია, შესაძლებელია კომპიუტერთან დაკავშირება ავტომატური განხორციელებისთვის. მომხმარებლის სისტემის კონტროლი.
IV.როგორ განვსაზღვროთ და გავუმკლავდეთ ვილუზიები?
ჩვენს კომპანიას ჰყავს პროფესიონალი გაყიდვის შემდგომი ინჟინერი, რომელიც დაგეხმარებათ ინსტალაციისა და გამოყენების პრობლემების მოგვარებაში.
გამოქვეყნების დრო: ივლის-29-2022