თერმული გაზის მასის ნაკადის კონტროლერი (MFC)
Thermწყალმცენარეებიmტრაკიfდაბალიmeter(MFM) ისაkინდoფაკურაtemeასუremენტოფgasflow,the meასუredvalუესარეnოტკონტროlledbyfლუკtuatioნსინდროპერაtureorpressრა, არ სჭირდებაtჰეკompensationoftიმპეratურეandpressure.
მოდელი | SQC-100 |
დინების დიაპაზონი (N2) | 0, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 SLM | |
სიზუსტე | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
სარქვლის წამყვანი ტიპი | ნორმალური დახურულია |
წრფივობა | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
განმეორებადობა | ± 0.2% FS |
Რეაგირების დრო | ≤1წმ |
შემავალი/გამომავალი სიგნალი | 0~5 ვ |
ელექტრო ერთობლივი | DB15 პინი (ნემსი) |
ოპერაცია Tem. | 5-45℃ |
დიფერენციალური პრე. | 0.05-0.5MPa (MFC)); 0.03-3.0MPa (MFM) |
გაჟონვის მაჩვენებელი | 1×10-8SCCS (ის) |
მაქს.წნევა | 3 MPa |
საშუალო მასალა | 316L SS და დალუქვის მასალა |
დალუქვის მასალა | ვიტონი, სილიკონის რეზინი, NBR, ტეფლონი, ლითონის ბეჭედი. |
ერთობლივი ზომა | VCR 1/4"; Swagelok 1/8", 1/4"; φ3, φ6 მმ |
Ენერგიის წყარო | +15V,50mA;-15V,200mA |
მოდელი | SQC-200 |
დინების დიაპაზონი (N2) | MFC: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM |
MFM: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
სიზუსტე | ± 2%) FS |
სარქვლის წამყვანი ტიპი | ნორმალური დახურულია |
წრფივობა | ± 2%) FS |
განმეორებადობა | ± 0.2% FS |
Რეაგირების დრო | ≤5 წმ |
შემავალი/გამომავალი სიგნალი | 1~5V;4~20mA |
ელექტრო ერთობლივი | DB15 პინი (ნემსი) |
ოპერაცია Tem. | 5-45℃ |
დიფერენციალური პრე. | 0.1-0.3MPa (MFC)); 0.05-3.0MPa (MFM) |
გაჟონვის მაჩვენებელი | 1×10-8SCCS (ის) |
მაქს.წნევა | 3 MPa |
საშუალო მასალა | 316L SS და დალუქვის მასალა |
დალუქვის მასალა | ვიტონი, სილიკონის რეზინი, NBR, ERP, ტეფლონი |
ერთობლივი ზომა | Swagelok 3/8" , 1/2" ; φ8 , φ10 , φ 12 მმ |
Ენერგიის წყარო | 24V,0.5A |
დაწერეთ თქვენი მესიჯი აქ და გამოგვიგზავნეთ