Масса ағынының реттегіші Масс ағынының өлшегіші CS200
Ерекше өзгешеліктері
1. Жоғары дәлдік және жылдам жауап беру
CS200 MFC дәлдігі SP ±1,0% дейін жақсартылды және ең озық үлгілерде жауап беру уақыты 0,8 секундтан аз қысқартылды.
2. Төменгі нөлдік дрейф және температура коэффициенті
Жаңа сенсорлық технологияның өнертабысы CS200 MFC тұрақтылығын сақтауға және температура ауытқуларына төтеп беруге мүмкіндік береді.Автоматты нөлдік күшейткішсіз күтілетін нөлдік дрейф жылына 0,6% FS-тен аз, ал температура коэффициенті 0,02%FS/℃(нөл)，0,05%FS/ ℃ (аралық) төмен.
3. Металл тығыздалған үлгілер және жоғары тазалық мүмкіндігі
CS200 MFC желісіндегі суланған ағын жолы беті пассивтелген баспайтын болаттан жасалған.Барлық CS200 MFC құрылғылары SEMI және ISO 9001 стандарттарына сәйкес Sevenstar компаниясының ультра таза 100-сыныптағы таза бөлмелерінде жиналады.
4. Үйлесімді интерфейстер
CS200 MFC тұтынушы таңдай алатын келесі интерфейстермен үйлесімді:±8V-±16V екі жақты қуат көзі және +14V-+28V бір жақты қуат көзі;цифрлық немесе аналогтық сигналды енгізу және шығару;SEMI стандартты механикалық өлшемдер;және RS-485 немесе DeviceNet байланыс модулі.
5. Әртүрлі функциялар
Тұтынушының қуатты бағдарламалық құралы әр модельде стандартты түрде жеткізіледі, сонымен қатар көп газ, көп диапазон, автоматты нөл, дабыл, жұмсақ іске қосу және кешіктіру сияқты қосымша функциялар тұтынушы таңдауы ретінде қол жетімді.
Техникалық сипаттама
| CS200 | |||||||
| Түр | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Толық масштаб ауқымы (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Дәлдік | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Сызықтық | ±0,5% FS | ||||||
| Қайталану мүмкіндігі | ±0,2% FS | ||||||
| Жауап беру уақыты | ≤1сек | ≤0,8 сек (SEMI E17-0600) | |||||
| Клапанның демалыс орны | Әдетте жабық немесе | Клапан жоқ | Әдетте жабық немесе | Клапан жоқ | Әдетте жабық немесе | Клапан жоқ | |
| Әдетте ашық（100 sccm≤FS≤5 slm） | Әдетте ашық（100 sccm≤FS≤5 slm） | Әдетте ашық（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Дифференциалды қысым | 0,05～0,35МПа （Ағын≤10см） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10см） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10см） | ＜0,02 МПа | |
| 0,1～0,35МПа（10slm＜Flow≤30slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10см） | (0,1～0,35) МПа（＞10см） | |||||
| 0,2～0,45МПа （Ағын＞30см） | |||||||
| Максималды жұмыс қысымы | 0,45 МПа | |||||
| Температура | Нөл:≤±0,05% FS/℃; | Нөл:≤±0,02% FS/℃;Кеңістік: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коэффицент | Кеңістік: ≤±0,1% FS/℃（Ағын≤30см） | |||||
| Кеңістік: ≤±0,2% FS/℃（Ағын>30см） | ||||||
| Дәлелдеу қысымы | 3МПа (435писг) | |||||
| Zero Drift | ＜Автонөлсіз жылына 0,6% FS | |||||
| Ағып кету тұтастығы | 1×10-9 атм·cc/сек Ол | 1×10-10atm·cc / сек Ол | ||||
| Суланған материалдар | Витон; | Металл? (Тот баспайтын болат V/V, 5Ra) | Металл | |||
| Беттік химия | —— | Cr/Fe қатынасы ＞2,0;CrO қалыңдығы ＞20 Ангстром | ||||
| Беткі әрлеу | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Жұмыс температурасы | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Кіріс сигналы | Сандық: RS485 немесе ProfiBus | Жоқ | Сандық: RS485 немесе ProfiBus немесе DeviceNetTM | Жоқ | Сандық: RS485 немесе ProfiBus немесе DeviceNetTM | Жоқ |
| немесе DeviceNetTM | Аналогты:(0～5)VDC немесе (4～20)мА немесе (0～20)мА | Аналогты:(0～5)VDC немесе (4～20)мА?немесе (0～20)мА | |||||
| Аналогты:(0～5)VDC немесе (4～20)мА немесе (0～20)мА | |||||||
| Шығыс сигналы | Сандық: RS485 немесе DeviceNetTM немесе ProfiBus Analog:(0～5)VDC немесе (4～20)мА немесе (0～20)мА | ||||||
| Нәр беруші | ±8 ~ ±16 VDC немесе +14 ~ +28 VDC (400мА) | ||||||
| Электрондық қосқыш | 9 істікшелі ер sub-D ， 15 істікшелі ер қосалқы D ， DeviceNetTM，ProfiBus ，Аналогтық | ||||||
| Фитингтер | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Сығымдаушы фитингΦ10;Сығымдаушы фитингΦ6； | Компрессиялық фитингΦ6, | ||||||
| Компрессиялық фитинг 3/8”;Компрессиялық фитинг1/4”； | Компрессиялық фитингΦ3, | ||||||
| Компрессиялық фитинг1/8»;Компрессиялық фитингΦ3； | Компрессиялық фитинг 1/4 ”， | ||||||
| Ф6(ішкі)×1шланг;ф5(ішкі)×1,5шланг;ф4(ішкі)×1шланг; | W-мөр, | ||||||
| A-sael; | C-мөр | ||||||
| Салмағы | 1 кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1 кг | 1,2 кг | 1 кг | |
