Массалық ағынды реттегіштер (MFC) газдардың массалық ағынын дәл өлшеуді және бақылауды қамтамасыз етеді.
I. MFC мен MFM арасындағы айырмашылық неде?
Масс ағын өлшегіш (MFM) - бұл газ шығынын дәл өлшейтін құралдың бір түрі және оның өлшем мәні температура немесе қысымның ауытқуына байланысты дәл емес және температура мен қысымның компенсациясын қажет етпейді. Масса ағынының реттегіші (MFC) тек қана емес. массалық шығын өлшегіш функциясы бар, бірақ одан да маңыздысы, ол газ шығынын автоматты түрде басқара алады, яғни пайдаланушы өз қажеттіліктеріне сәйкес ағынды орната алады, ал MFC автоматты түрде ағынды белгіленген мәнде, тіпті егер жүйе қысымы Қоршаған орта температурасының ауытқуы немесе өзгеруі оның белгіленген мәннен ауытқуына әкелмейді.Масса ағынының реттегіші - бұл тұрақты ағын құрылғысы, ол қолмен орнатылатын немесе компьютерге қосылу арқылы автоматты түрде басқарылатын газ тұрақты ағыны құрылғысы.Масс ағын өлшегіштері тек өлшейді, бірақ бақыламайды.Масса ағынының реттегішінде газ ағынын өлшейтін және басқара алатын реттеу клапаны бар.
II.Құрылымы қандай жәнежұмыс принципі?
1, Құрылымы
2、Жұмыс принципі
Ағын қабылдау құбырына түскенде, ағынның көп бөлігі бағыттаушы арна арқылы өтеді, оның аз бөлігі сенсордың ішіндегі капиллярлық түтікке түседі.Ерекше құрылымына байланысты
бағыттаушы арна, газ ағынының екі бөлігі тура пропорционалды болуы мүмкін.Датчик алдын ала қыздырылған және қыздырылған, ал ішіндегі температура кіріс ауа температурасынан жоғары.Бұл кезде газдың аз бөлігінің массалық шығыны капиллярлық түтік арқылы жылу беру принципі және температура айырмашылығының калориметрия принципі бойынша өлшенеді.Осылайша өлшенген газ ағыны температура мен қысымның әсерін елемеуі мүмкін.Датчикпен анықталған ағынды өлшеу сигналы схемалық платаға енгізіледі және күшейтіледі және шығарылады және MFM функциясы аяқталады.PID жабық контурлы автоматты басқару функциясын схемалық тақтаға қосу, сенсор өлшенген ағынды өлшеу сигналын пайдаланушы берген орнатылған сигналмен салыстырыңыз.Осының негізінде басқару клапаны ағынды анықтау сигналы орнатылған сигналға тең болатындай етіп басқарылады, осылайша MFC функциясын жүзеге асырады.
III.Қолданбалар мен мүмкіндіктер.
Жартылай өткізгіштер мен IC өндірісі, арнайы материалтану, химия өнеркәсібі, мұнай өнеркәсібі, фармацевтика өнеркәсібі, қоршаған ортаны қорғау және вакуумдық жүйені зерттеу және т.б. , тотығу, эпитаксия, CVD, плазмалық өрнектеу, шашырату, ионды имплантациялау;вакуумдық тұндыру жабдығы, талшықты оптикалық балқыту, микрореакциялық жабдық, араластыру және сәйкестендіру газ жүйесі, капиллярлық ағынды басқару жүйесі, газ хроматографы және басқа да аналитикалық құралдар.
MFC жоғары дәлдікті, тамаша қайталанымдылықты, жылдам әрекетті, жұмсақ іске қосуды, жақсырақ сенімділікті, жұмыс қысымының кең диапазонын (жоғары қысымды және вакуумдық жағдайларда жақсы жұмыс істеу), қарапайым ыңғайлы жұмысты, икемді орнатуды, автоматты түрде орындау үшін компьютерге қосылу мүмкіндігін береді. пайдаланушылар жүйесін басқару.
IV.Қалай анықтауға және онымен күресуге болады fаурулары?
Біздің компанияда сатудан кейінгі кәсіби инженер бар, орнату және пайдалану мәселелерін шешуге көмектеседі.
Жіберу уақыты: 29 шілде 2022 ж