Білім – вакуумдық клапандар

I. Клапанның енгізілуі
Вакуумдық клапан - ауа ағынының бағытын өзгертуге, газ ағынының мөлшерін реттеуге, вакуум жүйесіндегі құбырды кесуге немесе қосуға арналған вакуумдық жүйе құрамдас бөлігі.Вакуумдық клапанның жабылатын бөліктері резеңке тығыздағышпен немесе металл тығыздағышпен тығыздалған.

II.Вакуумдық клапанның жалпы қолданбалары.
Вакуумдық клапандар
Вакуумды жабық вакуумды өңдеу жүйесінде ұстау қажет болған кезде жоғары немесе өте жоғары вакуумдық жүйе жабдығында қолданылады.Вакуумдық клапандар вакуумдық камераға ауа ағынын бақылау, оқшаулау, желдету, қысымның төмендеуін қамтамасыз ету немесе өткізуді басқару үшін қолданылады.Қақпа клапандары, кірістірілген клапандар және бұрыштық клапандар - жоғары немесе өте жоғары вакуумды қолдану үшін қолданылатын вакуумдық клапандардың ең көп таралған түрлері.Қосымша клапан түрлеріне көбелек клапандары, тасымалдау клапандары, шарикті клапандар, маятникті клапандар, толық металдан жасалған клапандар, вакуумдық клапандар, алюминий бұрыштық клапандар, тефлонмен қапталған вакуумдық клапандар және тікелей клапандар жатады.

Көбелек клапандар
құбырдағы ағынның бағытына тік бұрышта айналатын және олардың осі бойынша айналу кезінде клапан клапан корпусындағы орынды нығыздайтын металл дискілерден немесе қалақшалардан тұратын жылдам ашылатын клапандар болып табылады.

Тасымалдау клапандары (тік бұрышты қақпақ клапандары)
Жартылай өткізгішті өндіру жабдығында жүкті құлыпталатын вакуумдық камералар мен тасымалдау камералары арасында, сондай-ақ тасымалдау камералары мен өңдеу камералары арасында пайдалануға жарамды бөлу клапандары.

Вакуумды шар клапандары
біркелкі тығыздау кернеуі үшін сәйкес айналмалы орындықтары бар дөңгелек жабылатын жинағы бар ширек айналымды түзу ағынды клапандар.

Маятникті клапандар
технологиялық вакуумдық камера мен турбомолекулярлық сорғы кірісі арасында орнатылған үлкен дроссельдік клапан.Бұл вакуумдық маятникті клапандар әдетте OLED, FPD және PV өнеркәсіптік өндіріс жүйелерін қоса алғанда, қолданбаларға арналған қақпа немесе маятникті клапандар ретінде жасалған.

Толық металл клапандар
Жоғары температура эластомерлер мен криогенді тығыздағыш металдарды қолдануға мүмкіндік бермейтін ультра жоғары вакуумды орталарда пайдалануға арналған.Пісіруге болатын толық металдан жасалған клапандар атмосфералық қысымнан 10-11 мбар төменге дейін сенімді жоғары температуралық тығыздауды қамтамасыз етеді.

Вакуумдық клапандар
Жартылай өткізгіштерді өндіру жүйелерінде және химиялық және бөлшектермен ластанған қолданбаларда сенімді жұмыс жасаңыз.Оларды өрескел вакуумда, жоғары вакуумда немесе ультра жоғары вакуумда қолдануға болады.

Алюминий бұрыштық клапандар
Бұл клапандардың кірісі мен шығысы бір-біріне тік бұрышта орналасқан.Бұл бұрыштық клапандар A6061-T6 алюминийінен жасалған және жартылай өткізгіштер мен аспаптар өндірісінде, ҒЗТКЖ және дөрекі және жоғары вакуумды қолдану үшін өнеркәсіптік вакуум жүйелерінде қолданылады.

Тефлонмен қапталған вакуумдық клапан - берік және химиялық төзімділігі жоғары жабыны бар толықтай жасалған тот баспайтын болаттан жасалған вакуумдық құрамдас құрылғы.

III.Вакуумдық клапандардың сипаттамалары.
Қысым атмосфералық қысымнан төмен және клапан клапанындағы қысымның төмендеуі 1 кг күш/см-ден аспауы керек.Ортаның жұмыс температурасы қолданылатын құрылғының процесіне байланысты.Температура әдетте -70 ~ 150°C диапазонынан аспайды.Мұндай клапандарға қойылатын ең негізгі талап қосылыстың жоғары тығыздығын және құрылым мен тығыздағыш материалының тығыздығын қамтамасыз ету болып табылады.

Орташа қысымға сәйкес вакуумдық клапандарды төрт топқа бөлуге болады.
1) Төмен вакуумдық клапандар: орташа қысым p=760~1 мм рт.ст.
2）Орташа вакуумдық клапандар: p=1×10-3 мм рт.ст.
3）Жоғары вакуумдық клапандар: p=1×10-4 ~1×10-7 мм рт.ст.
4）Ультра жоғары вакуумдық клапан: p≤1×10-8 мм сын.бағ.

Өткізу диаметрі 250 мм-ден аз жабық контурлы клапан ретінде кеңінен қолданылатын өзек сызықты қозғалысы бар вакуумдық сильфонды өшіру клапаны болып табылады.Дегенмен, қақпа клапандары шектеулі, бірақ бұл негізінен үлкен диаметрлерге арналған.Сондай-ақ, сфералық тығынды клапандар (шарлы клапандар), плунжерлі клапандар және көбелек клапандар бар.Вакуумдық клапандарға арналған тығынды клапандар алға тартылмады, себебі олар маймен майлауды қажет етеді, бұл май буының вакуумдық жүйеге енуіне мүмкіндік береді, бұл рұқсат етілмейді.Вакуумдық клапандарды далада қолмен және қашықтан басқаруға болады, сонымен қатар электрлік, электромагниттік (соленоидтық клапандар), пневматикалық және гидравликалық түрде басқаруға болады.