Beijing Super Q Technology Co., Ltd. компаниясында EV сериялы маймен майланған 600L, 1200L, 1600L құрама молекулалық сорғылар және 3600L турбиналық типті молекулалық сорғылар бар;маймен майланған 300L, 650L, 1300L, 2000L құрама молекулалық сорғылар.Бұл мақала EV-Z сериялы майлау қосылыстарының молекулалық сорғыларының сипаттамаларын, орнатуын, пайдалануын және техникалық қызмет көрсетуін түсіндіруге бағытталған.
Құрылымдық сипаттамалар
EV сериялы майдың молекулалық сорғы импортталған дәл керамикалық мойынтіректерді, динамикалық тепе-теңдік арқылы сорғы роторын, тұрақты және сенімді жұмысын, моторлы торлы үш фазалы қозғалтқышты, майлаумен майлау арқылы мойынтіректерді майлауды кез келген бағытта орнатуға болады.
орнату және пайдалану
I. Соңғы қысым туралы
Молекулярлық сорғының «Шыңғы қысымы» ISO халықаралық стандарты «Турбомолекулярлық сорғылардың өнімділігін сынау әдісі» негізінде, сорғы корпусы мен сынақ қақпағын толығымен пісіргеннен кейін (48 сағат кептіру және газсыздандыру), ең төменгі қысым сынақ қақпағының белгіленген орны.қысым мәні.Нақты пайдалану кезінде «шектік қысымның» мәні конфигурацияланған тірек сорғының жұмыс қысымы мен тиімді айдау жылдамдығына байланысты.Жоғарырақ вакуум алу және шығару уақытын азайту үшін өнімділігі жоғары қосалқы сорғыны таңдау өте тиімді.
Сонымен қатар, молекулярлық сорғыны шығару принципінің ерекшелігіне байланысты сорғының ауа кірісі мүмкіндігінше кең болуы керек, ал вакуумдық камерадан молекулалық сорғы портына дейінгі газ жолы мүмкіндігінше айналмау керек. молекулярлық сорғының ең жақсы тиімділігін және кепілдік берілген жоғары түпкілікті вакуумды қолдану үшін мүмкін.
II.Орнату
2.1 Пакетті ашыңыз
Орнату алдында молекулярлық сорғының тасымалдау кезінде зақымдалғанын тексеріңіз.
Әдіс келесідей: молекулярлық сорғының қуат көзінің нұсқауларын қараңыз, оны молекулалық сорғымен дұрыс қосыңыз, суды немесе вакуумды өткізудің қажеті жоқ, молекулалық сорғыны іске қосыңыз және оның жұмыс істеп тұрғанын және бар-жоғын тексеріңіз. қалыптан тыс дыбыс.Қандай да бір ауытқулар болса, сорғыны тоқтату үшін тоқтату қосқышын уақытында басыңыз.Ескертпе: Сынақ жұмысы кезінде қуат жиілігі 25 Гц жоғары болмауы керек
2.2 Жоғары вакуумды фланецті қосу
Молекулалық сорғының қосылымын жоғары вакуумдық фланец арқылы көтеруге немесе негізге бекітуге болады.Молекулярлық сорғының жоғары вакуумдық фланеці жүйеге металл сильфон арқылы қосылған кезде молекулярлық сорғыны бекіту керек.
(Фланецті тығыздау бетінде сызаттар жоқ және тығыздағыш сақинада ештеңе болмауы керек)
2.3 Алдыңғы вакуумдық қосылым
Механикалық сорғы өшірілгеннен кейін майды қайтарып алмас үшін алдыңғы сызықты сорғы мен молекулалық сорғы арасында оқшаулау және желдету клапаны орнатылуы керек.
2.4 Газды зарядтау құрылғысын қосу
Таза вакуумдық ортаға ие болу үшін молекулалық сорғы тоқтатылғаннан кейін вакуумдық жүйені азотпен немесе құрғақ ауамен толтыруға болады.Әдетте, желдеткіш клапан алдыңғы сатылы құбырға қосылуы мүмкін немесе жоғары вакуумдық ұштағы газды шығару үшін жоғары вакуумдық клапан пайдаланылуы мүмкін.
III.Салқындатуды қосу
Мойынтіректің жоғары жылдамдықты айналмалы үйкелісіне, сорғы корпусының қызуына және қозғалтқыштың температурасының жоғарылауына байланысты молекулярлық сорғы жұмыс істеген кезде мойынтіректі және қозғалтқышты салқындату керек.Әдетте ауамен салқындату қолданылады, ал суды салқындату қоршаған орта температурасы 38°C жоғары болғанда қолданылады.Сыртқы диаметрі 10 мм жұмсақ су құбыры молекулалық сорғының су кірісі мен шығысына тікелей қосылуы мүмкін.Таза суы бар айналмалы су жүйесі пайдаланылады, жауын-шашын мөлшері аз ағын суды да пайдалануға болады (су температурасы ≤28°C болуы керек).
Кездейсоқ судың тоқтауы немесе судың жоғары температурасы молекулалық сорғы корпусының температура сенсоры жұмыс істейді, ал қуат көзі бірден сигнал беріп, шығысты тоқтатады.
Күтпеген су тоқтағаннан кейін немесе судың температурасы тым жоғары болғаннан кейін молекулалық сорғы қызып кетуден дабыл қаққанша шамамен 15 минуттық аралық бар (нақты уақыт температура көтерілу жылдамдығына байланысты).
IV.Пісіру
Соңғы қысым сорғының ішкі бөлігінің тазалығына және вакуумдық камераны қоса, вакуум жолына байланысты.Ең қысқа уақыт ішінде соңғы қысымды алу үшін вакуумдық жүйе мен молекулалық сорғыны пісіру керек.Пісіруді молекулалық сорғы қалыпты жұмыс істеп тұрған кезде жүргізу керек.
Молекулярлық сорғыны пісіру температурасы 80°C төмен болуы керек, сорғы портына қосылған жоғары вакуумдық фланец 120°C жоғары болмауы керек және вакуумдық жүйенің пісіру температурасы әдетте 300°C төмен болуы керек.зақымданудан.
Пісіру уақыты жүйенің және молекулалық сорғының ластану дәрежесіне және күтілетін шекті жұмыс қысымына байланысты, бірақ ең аз уақыт 4 сағаттан кем болмауы керек.
10-4Па вакуумды алу үшін, негізінен, пісіру қажет емес;10-5Па вакуумды алу үшін вакуумдық жүйенің өзін ғана пісіру жеткілікті;өте жоғары вакуумды алу үшін вакуумдық жүйе мен молекулалық сорғыны әдетте бір уақытта пісіру керек.Өлшеу жүйесі толығымен пісірілген болуы керек, әйтпесе ол газдың шығуына байланысты өлшеу деректерінің дәлдігіне әсер етеді.
V.Операция
Алдын ала вакуумның 15Па-дан жақсы екенін растаңыз, молекулалық сорғыны іске қосу үшін RON пернесін басыңыз және қолданғаннан кейін тоқтату үшін ТОҚТАТУ түймесін басыңыз.Назар аударыңыз!Бағдарламалық іске қосу пернесін бірінші рет пайдалану немесе ұзақ уақыт бос тұрғаннан кейін қайта пайдалану үшін пайдалану керек.Жұмсақ іске қосу жұмысы келесідей: ағымдағы кезеңдегі вакуум 15Па-дан жақсы және жұмсақ бастау пернесі басылады.110 минуттан кейін молекулалық сорғы 550 Гц жұмыс жиілігіне жетеді (550 Гц EV300Z молекулалық сорғыға, 400 Гц EV650Z, 1300Z, 2000 молекулалық сорғыға сәйкес келеді,), содан кейін жұмсақ жұмысты тоқтату үшін жұмсақ іске қосу пернесін (перне жоғары) басыңыз. бастау.
（Молекулярлық сорғының қалыпты жұмысы кезінде оны тасымалдауға, жылжытуға немесе ауа толтыруға тыйым салынады.）
VI.Техникалық қызмет көрсету және жөндеу
6.1 Сорғыны тазалау
Вакуумдық жүйенің ауаның ағуы және десорбция жылдамдығы өзгермегенде және вакуум өнімділігі ұзақ уақыт пісіргеннен кейін де қалпына келтірілмейтін болса немесе қосалқы сорғы майды елеулі түрде қайтарып жатқанда, сорғыны тазалау керек.
（Егер сорғыны жөндеу және тазалау қажет болса, оны кәсіби техниктер бөлшектеуге тиіс.Егер ол жаттығусыз бөлшектелсе, оның салдары сіздің тәуекеліңізде болады.）
6.2 Мойынтіректерді ауыстыру
Сорғыны теңестіру қажет болғандықтан, мойынтіректі пайдаланушы ауыстыра алмайды.
6.3 Әсерден қорғау
Молекулярлық сорғы - жоғары жылдамдықты айналатын машина.Қозғалатын пластина мен статикалық пластина арасындағы алшақтық өте аз және ол шамадан тыс әсерге төтеп бере алмайды.Онымен байланыста қозғалатын тасымалдаушының жылдамдығы мен үдеуі шектелуі керек.Сонымен қатар, атмосфералық көлемнің кенеттен әсер етуі және молекулалық сорғы қалыпты жұмыс кезінде сыртқы қатты заттардың түсуі де молекулалық сорғыға елеулі зақым келтіреді.
6.4 Дірілді оқшаулау
Әдетте, молекулярлық сорғы қатаң сынақтан өтті, ал діріл өте аз және оны айдалатын жүйеге тікелей қосуға болады.Жоғары дәлдіктегі құралдарды қолдану үшін (мысалы, электронды микроскоптар және т.б.) дірілдің құралға әсерін азайту үшін діріл оқшаулағыштарын пайдалану ұсынылады.
6.5 Күшті магнит өрісінің қорғанысы
Айналмалы ротор магнит өрісінде құйынды ток тудырады, бұл ротордың қызуын тудырады.Жылу алюминий материалының беріктігін әлсірететіндіктен, молекулалық сорғыны магнит өрісінде қолдану белгілі бір дәрежеде шектеледі.
6.6 электромагниттік кедергі
Молекулярлық сорғылар және жиілікті түрлендіргіштер сияқты кейбір жоғары жиілікті құралдар қоршаған ортаға электромагниттік кедергі тудыруы мүмкін.Бірақ халықаралық стандарттарға сай болған жағдайда молекулалық сорғыларды қолдану шектелмейді.Егер талаптар орындалса, сәйкес сертификаттар бір уақытта берілуі керек.
6.7 Күшті радиоактивті шектеу
Көптеген материалдар күшті радиоактивті ортада, әсіресе органикалық материалдарда (мысалы, молекулалық сорғы майы, тығыздағыш сақиналар) және жартылай өткізгіш компоненттерде қасиеттерін өзгертеді.Молекулалық сорғы 105 рад сәулелену қарқындылығына төтеп бере алады.Антирадиоактивті материалдарды таңдау және мотормен басқарылатын қуат көзін пайдалану арқылы радиацияға қарсы күшті жақсартуға болады.Тритийді айдау кезінде тритий радиоактивті элементінің атмосфераға шығып кетуіне жол бермеу үшін молекулалық сорғыдағы барлық тығыздағыш сақиналар металл материалдардан жасалуы керек.
6.8 Алдыңғы сызықты сорғы
Молекулярлық сорғы өнімділігі қисығының жоғары қысымның соңында кіріс қысымы шамамен 200 Па-дан 10-1 Па-ға дейін ауытқиды, бұл үш магнитуданы қамтиды.Газ молекулаларының орташа еркін жолы кішірейеді және айдау әсері нашарлай бастайды.Демек, өтпелі аймақта тірек сорғы неғұрлым көп пайдаланылса, соғұрлым молекулалық сорғының айдау жылдамдығы жоғары болады.Алдыңғы сорғы ең аз дегенде 3 л/с кем болмауы керек.
Жалпы ақаулар және ақауларды жою
EV-Z сериялы маймен майланатын күрделі молекулалық сорғы - көп сатылы динамикалық және статикалық турбиналық қалақтардың салыстырмалы түрде жоғары жылдамдықпен айналуы арқылы ауаны шығаруды жүзеге асыратын механикалық вакуумдық сорғы.Турбомолекулярлық сорғы молекулалық ағын аймағында жоғары айдау жылдамдығы мен жоғары қысу коэффициентінің сипаттамаларына ие және диффузиялық сорғыға қарағанда энергияны үнемдейді және мұнай мен будың ластануы жоқ.EV сериялы маймен майланған күрделі молекулалық сорғы - Қытайдағы ең үлкен айдау жылдамдығы 100 калибрлі молекулалық сорғы.
Бұл молекулярлық сорғы айдалатын газға селективті және жады әсер етпейді.Үлкен молекулалық массасы бар газдың жоғары сығымдау коэффициентінің арқасында сорғы суық ұстағыштар мен май қалқаншалары жоқ таза жоғары вакуумды және ультра жоғары вакуумды ала алады..Ол электрониканың, металлургияның, химия өнеркәсібінің, ғылыми зерттеулердің және вакуумдық технологияның әртүрлі салаларында кеңінен қолданылады.
Жіберу уақыты: 01 шілде 2022 ж