ZJ Series Roots вакуумдық сорғы
ZJ сериялы Roots вакуумдық сорғы
Roots типті вакуумдық сорғылардың бұл сериясын жалғыз пайдалану мүмкін емес.Қысым 1,3×103~1,3×10-1 Па төмен болған кезде, алдын ала вакуумдық сорғының айдау жылдамдығын арттыру үшін оны алдын ала вакуумдық сорғымен қатар пайдалану қажет. Құрылым екі 8 дан тұрады. -пішінді ротор секциялары және ротор корпусы және екі ротор бір-бірімен жанаспайды және бір-бірімен синхрондау кезінде қарама-қарсы бағытта айналады.
ZJ сериялы Roots вакуумдық сорғылары негізінен мыналарға қолданылады:
PVD жабыны, магнетронды шашырату, ионды жабу, оптикалық жабын және т.б.;
монокристалды пеш, поликристалды пеш, агломерациялық пеш, күйдіру пеші, сөндіру пеші және т.б.;
Вакуумда кептіру, мұздату, ағып кетуді анықтау жүйесі, газды қалпына келтіру жүйесі, сұйық кристалды айдау және т.б.;
Тоңазытқыштар, тұрмыстық кондиционерлер, орталық кондиционерлер, артқы жарықтарды автоматты эвакуациялау желілері және сору жабдықтары сияқты вакуумдық өнеркәсіп.
| Үлгі | ZJ-30 | ZJ-70 | ZJ-150 | ZJ-300 | ||
| Айдау жылдамдығы3/сағ(л/мин) | 50Гц | 100(1667) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) | |
| 60Гц | 120(2000) | 330(5500) | 600(1000) | 1200(20000) | ||
| Макс.кіріс қысымы (үздіксіз жұмыс кезінде) | 50Гц | 1,2X103 | 1,3X103 | |||
| 60Гц | 9,3X102 | 1,1X103 | ||||
| Максималды рұқсат етілген қысым айырмашылығы (Па) | 50Гц | 4X103 | 7,3X103 | |||
| 60Гц | 3,3X103 | 6X103 | ||||
| Соңғы қысым (Па) | 1X10-1 | |||||
| Стандартты өрескел сорғы м3/h | 16 | 40, 60 | 90, 150 | 150, 240 | ||
| Мотор (2 полюс)КВт | 0.4 | 0,75 | 2.2 | 3.7 | ||
| Майлау майының сипаттамасы | Вакуумдық сорғыМұнай | |||||
| Мұнай сыйымдылығы L | 0.4 | 0,8 | 1.6 | 2.0 | ||
| Салқындатқыш су | Ағым L/мин | / | 2*1 | 2 | 3 | |
| Қысым айырмашылығы МПа | / | 0.1 | ||||
| Су температурасы0C | / | 5-30*2 | ||||
| Салмағы кг | 30 | 51 | 79.5 | 115 | ||
| Кіріс диаметрі.мм | 50 | 80 | 80 | 100 | ||
| OutletDia.mm | 50 | 80 | 80 | 80 | ||
