សប្តាហ៍នេះ ខ្ញុំបានចងក្រងបញ្ជីពាក្យទូទៅមួយចំនួន ដើម្បីជួយសម្រួលដល់ការយល់ដឹងកាន់តែច្បាស់អំពីបច្ចេកវិទ្យាបូមធូលី។
1. សញ្ញាប័ត្រ Vacuum
កម្រិតនៃភាពស្តើងនៃឧស្ម័ននៅក្នុងកន្លែងទំនេរ ជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញដោយ "កន្លែងទំនេរខ្ពស់" និង "កន្លែងទំនេរទាប" ។កម្រិតបូមធូលីខ្ពស់មានន័យថា កម្រិតបូមធូលី "ល្អ" កម្រិតខ្វះចន្លោះទាបមានន័យថា កម្រិតខ្វះចន្លោះ "ក្រីក្រ"។
2. ម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ជាធម្មតាគេប្រើ Torr (Torr) ជាឯកតា ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ អន្តរជាតិប្រើ Pa (Pa) ជាឯកតា។
1 Torr = 1/760 atm = 1 mmHg 1 Torr = 133.322 Pa ឬ 1 Pa = 7.5 × 10-3Torr ។
3. មានន័យថាចម្ងាយដោយឥតគិតថ្លៃ
ចម្ងាយជាមធ្យមបានធ្វើដំណើរដោយការប៉ះទង្គិចគ្នាជាបន្តបន្ទាប់នៃភាគល្អិតឧស្ម័នក្នុងចលនាកម្ដៅមិនទៀងទាត់ ដែលបង្ហាញដោយនិមិត្តសញ្ញា “λ”
4. ម៉ាស៊ីនបូមធូលីចុងក្រោយ
បន្ទាប់ពីធុងបូមធូលីត្រូវបានបូមយ៉ាងពេញលេញ វាមានលំនឹងនៅកម្រិតទំនេរជាក់លាក់មួយ ដែលត្រូវបានគេហៅថា បូមធូលីចុងក្រោយ។ជាធម្មតា ធុងបូមធូលីត្រូវតែចម្រាញ់រយៈពេល 12 ម៉ោង បន្ទាប់មកបូមរយៈពេល 12 ម៉ោង ម៉ោងចុងក្រោយត្រូវបានវាស់រៀងរាល់ 10 នាទីម្តង ហើយតម្លៃមធ្យមនៃ 10 ដងគឺជាតម្លៃបូមធូលីចុងក្រោយ។
5. អត្រាលំហូរ
បរិមាណឧស្ម័នដែលហូរកាត់ផ្នែកបំពានក្នុងមួយឯកតានៃពេលវេលា ដែលតំណាងដោយ “Q” ជា Pa-L/s (Pa-L/s) ឬ Torr-L/s (Torr-L/s) ។
6. ចរន្តលំហូរ
បង្ហាញពីសមត្ថភាពនៃបំពង់បូមធូលីដើម្បីបញ្ជូនឧស្ម័ន។ឯកតាគឺលីត្រក្នុងមួយវិនាទី (L / s) ។នៅក្នុងស្ថានភាពស្ថិរភាពលំហូរនៃបំពង់មួយគឺស្មើនឹងលំហូរនៃបំពង់ដែលបែងចែកដោយភាពខុសគ្នានៃសម្ពាធរវាងចុងទាំងពីរនៃបំពង់។និមិត្តសញ្ញាសម្រាប់នេះគឺ "U" ។
U = Q/(P2- P1)
7. អត្រាបូម
នៅសម្ពាធ និងសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ឧស្ម័នដែលបូមចេញពីរន្ធបូមក្នុងឯកតានៃពេលវេលាត្រូវបានគេហៅថា អត្រាបូម ឬល្បឿនបូម។នោះគឺ Sp = Q / (P – P0)
8, អត្រាលំហូរត្រឡប់មកវិញ
នៅពេលដែលស្នប់ដំណើរការតាមលក្ខខណ្ឌដែលបានបញ្ជាក់ លំហូរដ៏ធំនៃអង្គធាតុរាវបូមតាមរយៈតំបន់បូមចូល និងពេលវេលាឯកតាក្នុងទិសដៅផ្ទុយនៃការបូម អង្គភាពរបស់វាគឺ g/(cm2-s)។
9. អន្ទាក់ត្រជាក់ (ប្រឡាក់ដោយទឹក)
ឧបករណ៍ដែលដាក់នៅចន្លោះធុងបូមធូលី និងស្នប់សម្រាប់ស្រូបឧស្ម័ន ឬចំហាយប្រេង។
10. សន្ទះបិទបើកឧស្ម័ន
រន្ធតូចមួយត្រូវបានបើកនៅក្នុងបន្ទប់បង្ហាប់នៃម៉ាស៊ីនបូមធូលីមេកានិចបិទជិតប្រេង ហើយសន្ទះនិយតកម្មត្រូវបានដំឡើង។នៅពេលដែលសន្ទះបិទបើក ហើយការទទួលទានខ្យល់ត្រូវបានកែសម្រួល rotor ប្រែទៅជាទីតាំងជាក់លាក់មួយ ហើយខ្យល់ត្រូវបានលាយចូលទៅក្នុងបន្ទប់បង្ហាប់តាមរយៈរន្ធនេះ ដើម្បីកាត់បន្ថយសមាមាត្របង្ហាប់ ដូច្នេះចំហាយភាគច្រើនមិន condense និងឧស្ម័នដែលលាយចូល។ ត្រូវបានដកចេញពីស្នប់រួមគ្នា។
11. ការសម្ងួតដោយសុញ្ញកាស
ការសម្ងួតដោយខ្វះចន្លោះ ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា ការសម្ងួត sublimation ។គោលការណ៍របស់វាគឺដើម្បីបង្កកសម្ភារៈដើម្បីឱ្យទឹកដែលមាននៅក្នុងវាប្រែទៅជាទឹកកកហើយបន្ទាប់មកធ្វើឱ្យទឹកកករលាយនៅក្រោមការខ្វះចន្លោះដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងស្ងួត។
12. ការសម្ងួតដោយសុញ្ញកាស
វិធីសាស្រ្តសម្ងួតទំនិញដោយប្រើលក្ខណៈនៃចំណុចរំពុះទាបនៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ។
13. ការទម្លាក់ចំហាយទឹក
នៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅ និងដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលហៅថា Vacuum vapor deposition ឬថ្នាំកូតបូមធូលី។
14. អត្រាលេចធ្លាយ
ម៉ាស់ ឬចំនួនម៉ូលេគុលនៃសារធាតុដែលហូរតាមរន្ធលេចធ្លាយក្នុងមួយឯកតានៃពេលវេលា។ឯកតាច្បាប់នៃអត្រាលេចធ្លាយរបស់យើងគឺ Pa·m3/s
15. ផ្ទៃខាងក្រោយ
កម្រិត ឬបរិមាណវិទ្យុសកម្ម ឬសំឡេងដែលមានស្ថេរភាពជាងមុន ដែលបង្កើតឡើងដោយបរិស្ថានដែលវាស្ថិតនៅ។
[ការរក្សាសិទ្ធិ]៖ ខ្លឹមសារនៃអត្ថបទគឺមកពីបណ្តាញ កម្មសិទ្ធិបញ្ញាជាកម្មសិទ្ធិរបស់អ្នកនិពន្ធដើម ប្រសិនបើមានការរំលោភបំពាន សូមទាក់ទងមកយើងខ្ញុំដើម្បីលុបចេញ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៣ ខែធ្នូ ឆ្នាំ២០២២